一种耐高温局域表面等离子体纳米传感器件及其制备方法和应用技术

本发明专利技术提供了一种耐高温局域表面等离子体纳米传感器件及其制备方法和应用，属于局域表面等离子体传感器件技术领域。本发明专利技术提供的耐高温局域表面等离子体纳米传感器件，包括基底和层叠设置于所述基底表面的岛状纳米结构，所述岛状纳米结构由周期排列的二维纳米结构阵列组成；所述岛状纳米结构的材料为Au或Au合金。本发明专利技术提供的耐高温局域表面等离子体纳米传感器件中，纳米结构的材料为Au或Au合金，耐高温性能好，同时耐腐蚀，可用于高温液相或气相环境中低浓度待检物质的实时检测，以满足高温环境中对生物、化学物质的快速特异性检测需求。

【技术实现步骤摘要】
一种耐高温局域表面等离子体纳米传感器件及其制备方法和应用
本专利技术涉及局域表面等离子体传感器件
，尤其涉及一种耐高温局域表面等离子体纳米传感器件及其制备方法和应用。
技术介绍
表面增强拉曼散射光谱具有高特异性和高灵敏度，已广泛应用于基因检测、蛋白质识别、生物战剂探测、病毒和细菌的快速鉴定以及痕量爆炸物探测等领域。金属纳米粒子的局域表面等离子体共振效应可显著提高表面增强拉曼散射的增强因子(EF)及探测灵敏度。在已报道的文献中，表面增强拉曼光谱已达到单分子探测水平，金属纳米粒子产生的表面增强拉曼散射的增强因子可达1014～1015。然而，现有局域表面等离子体纳米传感器件仅适用于常温的液相或气相环境，未考虑高温高氧化性条件下的使用寿命，在高温环境下使用时易氧化、失效，难以完成高温、腐蚀性环境下的微量元素检测。因此，研发耐高温、耐腐蚀、高增强因子的局域表面等离子体纳米结构传感器件，在高温环境下得到高灵敏度的表面增强拉曼光谱，实现高温环境中对生物、化学物质的快速特异性检测需求，将具有极大的应用价值。r>
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种耐高温局域表面等离子体纳米传感器件，其特征在于，包括基底和层叠设置于所述基底表面的岛状纳米结构，所述岛状纳米结构由周期排列的二维纳米结构阵列组成；所述岛状纳米结构的材料为Au或Au合金。/n

【技术特征摘要】
1.一种耐高温局域表面等离子体纳米传感器件，其特征在于，包括基底和层叠设置于所述基底表面的岛状纳米结构，所述岛状纳米结构由周期排列的二维纳米结构阵列组成；所述岛状纳米结构的材料为Au或Au合金。


2.根据权利要求1所述的耐高温局域表面等离子体纳米传感器件，其特征在于，所述岛状纳米结构在平行于基底表面方向的形状包括三角形或菱形。


3.根据权利要求1或2所述的耐高温局域表面等离子体纳米传感器件，其特征在于，所述岛状纳米结构中，每个纳米结构单元的长度和宽度独立地为50～1000nm，厚度独立地为10～500nm。


4.根据权利要求1所述的耐高温局域表面等离子体纳米传感器件，其特征在于，所述周期排列的形式为正交排列或六方排列，所述周期排列的周期为200～2000nm。


5.根据权利要求1所述的耐高温局域表面等离子体纳米传感器件，其特征在于，所述基底包括石英片、玻璃片或蓝宝石基片。


6.权利要求1～5任一项所述耐高温局域表面等离子体纳米传感器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
在基底上溅射Au或Au合金，得到Au膜或Au合金膜；
在所述Au膜或Au合金膜上旋涂光刻胶，采...

【专利技术属性】
技术研发人员：张耀，李阳，
申请(专利权)人：江苏致微光电技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32