流体控制装置、流体控制系统、诊断方法和程序记录介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供流体控制装置，能够以短时间对两个阀准确判断有无阀座泄漏，其包括：流体阻力件(R)，设置于流道；第一阀(V1)，设置于所述流体阻力件(R)的上游侧；第一压力传感器(P1)，测量所述流道中位于所述第一阀(V1)与所述流体阻力件(R)之间的第一容积(VL1)内的压力；第二阀(V2)，设置于所述流体阻力件(R)的下游侧；第二压力传感器(P2)，测量所述流道中位于所述流体阻力件(R)与所述第二阀(V2)之间的第二容积(VL2)的压力；阀控制器(4)，控制所述第一阀(V1)或所述第二阀(V2)；以及阀座泄漏判断部(52)，在所述阀控制器(4)使所述第一阀(V1)和所述第二阀(V2)完全关闭的状态下，基于所述第一压力传感器(P1)和所述第二压力传感器(P2)的各测量压力，判断所述第一阀(V1)和所述第二阀(V2)有无阀座泄漏。

【技术实现步骤摘要】
流体控制装置、流体控制系统、诊断方法和程序记录介质
本专利技术涉及一种在流体阻力件的上游侧和下游侧分别设置有阀的流体控制装置。
技术介绍
例如在对一层原子进行成膜的ALD工艺那样的半导体制造工艺中，以极短的循环反复向腔室进行气体的供给和停止(参照专利文献1)。在这种用途中，为了使气体的流量以短时间追随设定流量，有时使用包括两个阀并分别独立地控制气体的压力和流量的流体控制装置。并且，所述流体控制装置还要求在阀关闭的状态下可靠地使气体不向下游侧流动。因此，需要对两个阀分别定期诊断阀座泄漏。现有技术文献专利文献1：日本专利公开公报特开2012-99765号
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种能够以短时间对两个阀准确判断有无阀座泄漏的流体控制装置。即，本专利技术提供一种流体控制装置，其特征在于包括：流体阻力件，设置于流道；第一阀，设置于所述流体阻力件的上游侧；第一压力传感器，测量所述流道中位于所述第一阀与所述流体阻力件之间的第一容积内的压力；第二阀，设置于所述流体阻力件的下游侧；第二压力传感器，测量所述流道中位于所述流体阻力件与所述第二阀之间的第二容积的压力；阀控制器，控制所述第一阀或所述第二阀；以及阀座泄漏判断部，在所述阀控制器使所述第一阀和所述第二阀完全关闭的状态下，基于所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的各测量压力，判断所述第一阀和所述第二阀有无阀座泄漏。按照这种结构，在所述第一阀或所述第二阀发生了阀座泄漏的情况下，能够利用所述第一压力传感器或所述第二压力传感器，作为因流体向所述第一容积的流入或流体从所述第二容积的流出引起的压力变化来检测阀座泄漏。此外，由于不需要为了检测所述第一阀或所述第二阀的阀座泄漏而分别单独进行诊断用的动作，所以能够以短时间结束诊断。为了能够判断在所述第一阀或所述第二阀的哪一个中发生了阀座泄漏，可以是所述阀座泄漏判断部基于所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的测量压力大致一致以后的所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的测量压力的变化倾向，判断所述第一阀和所述第二阀有无阀座泄漏。此外，由于基于变化倾向来判断有无阀座泄漏，所以即使假设在所述第一压力传感器和所述第二压力传感器所示的测量压力中包含零点漂移等误差，也能够不对判断结果产生影响。作为用于检测所述第一阀的阀座泄漏的具体的结构例，可以列举的是在所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的测量压力上升的情况下，所述阀座泄漏判断部判断为在所述第一阀中发生了阀座泄漏。按照这种结构，能够检测在所述第一阀中发生阀座泄漏而流体从上游侧流入所述第一容积。作为用于检测所述第二阀的阀座泄漏的具体的结构例，可以列举的是在所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的测量压力下降的情况下，所述阀座泄漏判断部判断为在所述第二阀中发生了阀座泄漏。按照这种结构，能够检测在所述第二阀中发生阀座泄漏而流体从所述第二容积向下游侧流出。为了能够诊断在所述第二压力传感器中例如测量压力是否产生误差，可以是还包括诊断部，所述诊断部在所述阀控制器使所述第一阀完全关闭并使所述第二阀打开的状态下，基于所述第二压力传感器的测量压力及其时间变化率对所述第二压力传感器进行诊断。作为用于诊断所述第二压力传感器的具体的结构例，可以列举的是在所述第二压力传感器的测量压力的时间变化率大致为零且测量压力保持为规定值的情况下，所述诊断部诊断为在所述第二压力传感器中未发生零点漂移。为了能够诊断在所述第一压力传感器中例如测量压力是否产生误差，可以是在所述阀控制器使所述第一阀打开并使所述第二阀完全关闭的状态下，所述诊断部基于所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的各测量压力对所述第一压力传感器进行诊断。作为用于诊断所述第一压力传感器的具体的结构例，可以列举的是在所述第一压力传感器与所述第二压力传感器的各测量压力大致相等的情况下，所述诊断部诊断为在所述第一压力传感器中未发生零点漂移。为了在保证了在所述第一阀或所述第二阀中未发生阀座泄漏的状态下，进行第一压力传感器或所述第二压力传感器的诊断来提高诊断的可靠性，可以是还包括诊断触发部，所述诊断触发部仅在所述阀座泄漏判断部判断为在所述第一阀和所述第二阀中未发生阀座泄漏的情况下，使所述诊断部执行所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的诊断。为了能够对多个压力传感器同时诊断是否分别发生了零点漂移，可以是还包括测量所述第一阀的上游侧的压力的供给压力传感器，在所述阀控制器至少使所述第一阀和所述第二阀打开且设置于所述供给压力传感器的上游侧的前级阀完全关闭的状态下，在所述供给压力传感器、所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的各测量压力大致相等的情况下，所述诊断部诊断为所述供给压力传感器、所述第一压力传感器和所述第二压力传感器分别未发生零点漂移。为了确保第一阀有无阀座泄漏的判断结果的可靠性，可以是在所述阀控制器至少使所述第一阀和所述第二阀完全关闭且所述前级阀打开的状态下，在所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的测量压力上升的情况下，所述阀座泄漏判断部判断为所述第一阀发生了阀座泄漏。按照这种结构，能够在所述第一阀的前后产生用于判断有无阀座泄漏的压差，并且能够在所述第二阀的前后使压力大致一致。因此，即使在第二阀中具有阀座泄漏，也能够使从所述第一阀与所述第二阀之间的容积内经由所述第二阀流出的流体的量非常微小，能够忽略对所述第一阀的阀座泄漏的判断结果的影响。此外，通过预先进行与所述各压力传感器的零点漂移相关的诊断，也能够保证成为基础的各压力传感器的错误不会对所述第一阀的阀座泄漏的判断结果产生影响。例如为了能够利用所述第一阀未发生阀座泄漏来提高与所述第二阀中有无阀座泄漏的判断结果相关的可靠性，可以是在所述阀控制器使所述第一阀打开、使所述第二阀完全关闭的状态下经过规定时间后使所述第一阀和所述第二阀完全关闭的状态下，在所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的测量压力下降的情况下，所述阀座泄漏判断部判断为所述第二阀发生了阀座泄漏。此外，按照这种结构，能够在所述第二阀的前后产生用于判断有无阀座泄漏的压差，并且能够在所述第一阀的前后使压力大致一致。因此，即使在所述第一阀中具有阀座泄漏、或者在所述第一阀中具有未被判断为发生阀座泄漏的程度的阈值以下的流出的情况下，也能够使从上游侧流入所述第一阀与所述第二阀之间的容积内的流体的量非常微小，能够忽略对所述第二阀的判断结果的影响。例如为了利用进行了各压力传感器的诊断和在各阀中有无阀座泄漏的判断后的流体控制装置内的压力，进行流体装置内的流量的检测，可以列举的是还包括阻力流量计算部，所述阻力流量计算部基于所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的各测量压力，计算阻力流量，所述阻力流量是流过所述流体阻力件的流体的流量，在所述阀控制器使所述第一阀完全关闭、使所述第二阀打开的状态下，基于所述第一压力传感器的测量压力的变化，检测由所述阻力流量计算部计算出的阻力流量。例如为了不仅能够显示有无阀座泄漏这样的有无异常，而且即使本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体控制装置，其特征在于包括：/n流体阻力件，设置于流道；/n第一阀，设置于所述流体阻力件的上游侧；/n第一压力传感器，测量所述流道中位于所述第一阀与所述流体阻力件之间的第一容积内的压力；/n第二阀，设置于所述流体阻力件的下游侧；/n第二压力传感器，测量所述流道中位于所述流体阻力件与所述第二阀之间的第二容积的压力；/n阀控制器，控制所述第一阀或所述第二阀；以及/n阀座泄漏判断部，在所述阀控制器使所述第一阀和所述第二阀完全关闭的状态下，基于所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的各测量压力，判断所述第一阀和所述第二阀有无阀座泄漏。/n

【技术特征摘要】
20190312 JP 2019-045190;20190626 JP 2019-1189861.一种流体控制装置，其特征在于包括：
流体阻力件，设置于流道；
第一阀，设置于所述流体阻力件的上游侧；
第一压力传感器，测量所述流道中位于所述第一阀与所述流体阻力件之间的第一容积内的压力；
第二阀，设置于所述流体阻力件的下游侧；
第二压力传感器，测量所述流道中位于所述流体阻力件与所述第二阀之间的第二容积的压力；
阀控制器，控制所述第一阀或所述第二阀；以及
阀座泄漏判断部，在所述阀控制器使所述第一阀和所述第二阀完全关闭的状态下，基于所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的各测量压力，判断所述第一阀和所述第二阀有无阀座泄漏。


2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述阀座泄漏判断部基于所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的测量压力大致一致以后的所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的测量压力的变化倾向，判断所述第一阀和所述第二阀有无阀座泄漏。


3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于，在所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的测量压力上升的情况下，所述阀座泄漏判断部判断为在所述第一阀中发生了阀座泄漏。


4.根据权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于，在所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的测量压力下降的情况下，所述阀座泄漏判断部判断为在所述第二阀中发生了阀座泄漏。


5.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，还包括诊断部，所述诊断部在所述阀控制器使所述第一阀完全关闭并使所述第二阀打开的状态下，基于所述第二压力传感器的测量压力及其时间变化率对所述第二压力传感器进行诊断。


6.根据权利要求5所述的流体控制装置，其特征在于，在所述第二压力传感器的测量压力的时间变化率大致为零且测量压力保持为规定值的情况下，所述诊断部诊断为在所述第二压力传感器中未发生零点漂移。


7.根据权利要求5所述的流体控制装置，其特征在于，在所述阀控制器使所述第一阀打开并使所述第二阀完全关闭的状态下，所述诊断部基于所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的各测量压力对所述第一压力传感器进行诊断。


8.根据权利要求7所述的流体控制装置，其特征在于，在所述第一压力传感器与所述第二压力传感器的各测量压力大致相等的情况下，所述诊断部诊断为在所述第一压力传感器中未发生零点漂移。


9.根据权利要求5所述的流体控制装置，其特征在于，还包括诊断触发部，所述诊断触发部仅在所述阀座泄漏判断部判断为在所述第一阀和所述第二阀中未发生阀座泄漏的情况下，使所述诊断部执行所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的诊断。


10.根据权利要求5所述的流体控制装置，其特征在于，
还包括测量所述第一阀的上游侧的压力的供给压力传感器，
在所述阀控制器至少使所述第一阀和所述第二阀打开且设置于所述供给压力传感器的上游侧的前级阀完全关闭的状态下，
在所述供给压力传感器、所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的各测量压力大致相等的情况下，所述诊断部诊断为所述供给压力传感器、所述第一压力传感器和所述第二压力传感器分别未发生零点漂移。


11.根据权利要求10所述的流体控制装置，其特征在于，
在所述阀控制器至少使所述第一阀和所述第二阀完全关闭且所述前级阀打开的状态下，
在所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的测量压力上升的情况下，所述阀座泄漏判断部判断为所述第一阀发生了阀座泄漏。


12.根据权利要求11所述的流体控制装置，其特征在于，
在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本飒太，长井健太郎，今里裕子，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：日本;JP