【技术实现步骤摘要】
一种金刚石沉积装置
本技术涉及金刚石制备
,特别是涉及一种金刚石沉积装置。
技术介绍
金刚石具有优异的物理化学性能,在机械、电子、生物医疗等领域具有重要的应用价值,为了拓展这些应用,需要制备出大面积或复杂形状的金刚石薄膜。在现有的各种金刚石薄膜制备装置中,无法沉积复杂形状的大面积金刚石薄膜。鉴于上述技术问题,有必要提供一款新的金刚石沉积装置,以更好地解决上述技术问题。
技术实现思路
为解决上述问题,本技术提供一种金刚石沉积装置,其结构简单,设计合理,便于复杂形状的大面积金刚石薄膜的沉积。本技术采用的技术方案是:一种金刚石沉积装置,包括沉积腔、沉积台和等离子体单元,沉积台装设于沉积腔内,还包括位置控制装置,等离子体单元设有等离子体喷嘴,等离子体喷嘴设于沉积腔内,位置控制装置与等离子体喷嘴连接。对上述技术方案的进一步改进为,等离子体单元装有甲烷与氢气的混合工艺气体,等离子体喷嘴内设有石墨电极,混合工艺气体可经等离子体喷嘴作用于沉积台上的待沉积金刚石。对上述技术方案的进一步改进为,位置控制装置为三维驱动机构。对上述技术方案的进一步改进为,还包括压力控制单元,压力控制单元与沉积腔连接。对上述技术方案的进一步改进为,压力控制单元设有真空泵,真空泵通过管道与沉积腔连接。对上述技术方案的进一步改进为,还包括温度控制装置,温度控制装置设为热交换器,热交换器贴合沉积台底部设置。本技术的有益效果如下:本技术包括沉积腔、沉积台 ...
【技术保护点】
1.一种金刚石沉积装置,包括沉积腔、沉积台和等离子体单元,沉积台装设于沉积腔内,其特征在于,还包括位置控制装置,等离子体单元设有等离子体喷嘴,等离子体喷嘴设于沉积腔内,位置控制装置与等离子体喷嘴连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种金刚石沉积装置,包括沉积腔、沉积台和等离子体单元,沉积台装设于沉积腔内,其特征在于,还包括位置控制装置,等离子体单元设有等离子体喷嘴,等离子体喷嘴设于沉积腔内,位置控制装置与等离子体喷嘴连接。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石沉积装置,其特征在于,等离子体单元装有甲烷与氢气的混合工艺气体,等离子体喷嘴内设有石墨电极,混合工艺气体可经等离子体喷嘴作用于沉积台上的待沉积金刚石。
3.根据权利要求1所述的一种金刚...
【专利技术属性】
技术研发人员:王忠强,丁雄傑,王琦,张国义,
申请(专利权)人:北京大学东莞光电研究院,
类型:新型
国别省市:广东;44
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