【技术实现步骤摘要】
一种利用飞秒激光制备纳米带的方法
本专利技术涉及一种纳米器件的制备方法,特别涉及一种利用飞秒激光制备纳米带的方法。
技术介绍
一维纳米结构由于在电子学、光电子学、电化学等领域具有极大的应用前景而得到了广泛的关注。其中纳米线、纳米棒以及纳米管得到了较多的研究。近来纳米带—一种新的一维纳米结构引起了纳米科学界的极大兴趣。纳米带可以帮助人们拓展对于固体中结构—性能关系的理解而且可以利用纳米带制成相应的功能器件,如Hughes等(Appl.Phys.Lett.,82,2886(2003))用纳米带制备了原子力显微镜和扫描探针显微镜的微悬臂。纳米带的制备方法通常有汽相沉积(Science,291,1947(2001))、模版合成(Chem.Mater.,14,1445,(2002))、水热生长等。上述方法均涉及多步工艺流程,具有制备时间较长,制备成本高的不足。另外,上述方法制备的纳米带受制备过程中薄膜生长条件所限,纳米带形状比较单一,很难实现不同形状纳米带的制备,而在实际使用中,往往对纳米带的形状有特殊的要求,如扫描探针显微镜的微悬臂需要前端呈现箭头形状。飞秒(10-15秒)激光精密微细加工是当今世界激光、光电子行业中的一个极为引人注目的前沿研究方向。飞秒激光脉冲能在极短的时域,以极高的峰值功率与材料相互作用,可以极快地在激光照射部位注入能量,即使是热扩散较快的金属材料也能提高其加工精度。飞秒激光直写技术具有工艺简单,操作灵活等优势在微纳结构及器件制备领域得到广泛应用。但经专利技术人检索,目前还未有将飞秒激光用 ...
【技术保护点】
1.一种利用飞秒激光制备纳米带的方法,其特征在于,包括以下几个步骤:/n第一步,在基底上沉积一层待加工薄膜;/n第二步,将沉积有所述薄膜的基底放置在可移动的工作台上;/n第三步,将单束飞秒激光的能量调节到至所述薄膜材料的烧蚀阈值;/n第四步,将飞秒激光经物镜聚焦到所述薄膜表面,移动工作台,使飞秒激光根据预设参数扫描所述薄膜表面,使扫描的区域烧蚀掉,而未扫描的区域剥离而形成纳米带。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种利用飞秒激光制备纳米带的方法,其特征在于,包括以下几个步骤:
第一步,在基底上沉积一层待加工薄膜;
第二步,将沉积有所述薄膜的基底放置在可移动的工作台上;
第三步,将单束飞秒激光的能量调节到至所述薄膜材料的烧蚀阈值;
第四步,将飞秒激光经物镜聚焦到所述薄膜表面,移动工作台,使飞秒激光根据预设参数扫描所述薄膜表面,使扫描的区域烧蚀掉,而未扫描的区域剥离而形成纳米带。
2.根据权利要求1所述的利用飞秒激光制备纳米带的方法,其特征在于,所述未扫描的区域为预设形状或者宽度的纳米带。
技术研发人员:赵全忠,
申请(专利权)人:南京萃智激光应用技术研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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