一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴制造技术

本实用新型专利技术涉及一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，包括固定在机体上的定子轴、部分嵌入在定子轴内部的转子轴以及嵌入转子轴内部的绝热筒，其中：定子轴呈筒状，轴向外表面开设有两个气源通道接口、两个低温液体通道接口；转子轴呈筒状且底部为开口，转子轴开设有与两个气源通道接口连通的两个气源通道、轴向分布的电力通道和氦气通道以及两个低温液体通道槽；绝热筒呈圆柱状，绝热筒开设有与两个低温液体通道，两个低温液体通道通过两个低温通道槽与两个低温液体通道接口连通；本实用新型专利技术将气、电、液介质直接集成在磁流体旋转轴内部，减少了设备占用空间，降低了成本，提高了效率，给维护也带来了极大的便利。

【技术实现步骤摘要】
一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴
本技术属于离子束刻蚀系统
，具体涉及一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴。
技术介绍
目前在离子束刻蚀系统中通常使用磁流体密封作为旋转轴的动密封。磁流体密封在旋转轴动密封方面具有低阻力、高转速、超高真空等突出的优点。离子束刻蚀旋转平台涉及气、电、液等系统的集成，现有技术中是将旋转接头连接在磁流体轴上，气、电、液等介质通过旋转接头传递，即为需要将气、电、液各介质传递装置一个个轴向连接在一起，导致整个设备体积庞大，维护麻烦。
技术实现思路
本技术提供一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，本技术将水、电、液等介质直接集成到磁流体旋转轴内部，减少了设备占用空间，降低了成本，提高了效率，给维护也带来了极大的便利。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，包括固定在机体上的定子轴、部分嵌入在定子轴内部的转子轴以及嵌入转子轴内部的绝热筒，其中：所述定子轴呈筒状，轴向表面开设有两个气源通道接口、两个低温液体通道接口；所述转子轴呈筒状且底部为开口，所述转子轴开设有与两本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，其特征在于：包括固定在机体上的定子轴(104)、部分嵌入在定子轴(104)内部的转子轴(102)以及嵌入转子轴(102)内部的绝热筒(106)，其中：/n所述定子轴(104)呈筒状，轴向外表面开设有两个气源通道接口(2021)、两个低温液体通道接口(2041)；/n所述转子轴(102)呈筒状且底部为开口，所述转子轴(102)开设有与两个所述气源通道接口(2021)连通的两个气源通道(202)、轴向分布的电力通道(206)和氦气通道(208)以及两个低温液体通道槽(2042)；/n所述绝热筒(106)呈圆柱状，所述绝热筒(106)开设有与两个低温液体通道(20...

【技术特征摘要】
1.一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，其特征在于：包括固定在机体上的定子轴(104)、部分嵌入在定子轴(104)内部的转子轴(102)以及嵌入转子轴(102)内部的绝热筒(106)，其中：
所述定子轴(104)呈筒状，轴向外表面开设有两个气源通道接口(2021)、两个低温液体通道接口(2041)；
所述转子轴(102)呈筒状且底部为开口，所述转子轴(102)开设有与两个所述气源通道接口(2021)连通的两个气源通道(202)、轴向分布的电力通道(206)和氦气通道(208)以及两个低温液体通道槽(2042)；
所述绝热筒(106)呈圆柱状，所述绝热筒(106)开设有与两个低温液体通道(204)，两个所述低温液体通道(204)通过两个所述低温液体通道槽(2042)与两个所述低温液体通道接口(2041)连通。


2.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：程实然，王铖熠，郭颂，陈兆超，李娜，胡冬冬，许开东，
申请(专利权)人：江苏鲁汶仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32