【技术实现步骤摘要】
分体壳体磁流体传动装置
本技术涉及磁流体密封
,尤其是一种分体壳体磁流体传动装置。
技术介绍
磁流体密封技术由于其结构和性能上的优越性,在刻蚀机,单晶硅炉、真空钎焊炉、真空熔炼炉、化学气相沉积、离子镀膜、液晶再生等真空设备上得到了广泛应用;中国专利公开号为CN102864437A的专利技术专利,公开了一种用于MOCVD设备的旋转装置,其旋转主轴通过磁流体密封装置与马达连接;传统的磁流体密封装置只是一个带转轴的旋转密封装置,置于旋转密封装置外的驱动电机通过传动构件与转轴的一端连接,存在占用空间较大,磁流体密封装置的转轴旋转精度较低的不足,因此设计一种占用空间较小,磁流体密封装置的转轴旋转精度较高的分体壳体磁流体传动装置,成为亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服目前的磁流体密封装置只是一个带转轴的旋转密封装置,置于旋转密封装置外的驱动电机通过传动构件与转轴的一端连接,存在占用空间较大,磁流体密封装置的转轴旋转精度较低的不足,提供一种占用空间较小,磁流体密封装置的转轴旋转精度较高的分体壳体磁
【技术保护点】
1.一种分体壳体磁流体传动装置,包括:转轴,其特征是,所述的分体壳体磁流体传动装置还包括:与转轴枢接的下壳体,与下壳体连接且与转轴枢接的上壳体,两个一一对应设于下壳体内侧围和上壳体内侧围的磁极腔,两个一一对应装于两个磁极腔中的磁极片,两个一一对应设于转轴外侧围与两个磁极片之间的磁流体,设于上壳体下端的电机腔,套在转轴外且与电机腔顶面连接的电机隔环,设于电机腔中的无框力矩电机;无框力矩电机的转子与转轴连接,无框力矩电机的定子与电机隔环下端连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种分体壳体磁流体传动装置,包括:转轴,其特征是,所述的分体壳体磁流体传动装置还包括:与转轴枢接的下壳体,与下壳体连接且与转轴枢接的上壳体,两个一一对应设于下壳体内侧围和上壳体内侧围的磁极腔,两个一一对应装于两个磁极腔中的磁极片,两个一一对应设于转轴外侧围与两个磁极片之间的磁流体,设于上壳体下端的电机腔,套在转轴外且与电机腔顶面连接的电机隔环,设于电机腔中的无框力矩电机;无框力矩电机的转子与转轴连接,无框力矩电机的定子与电机隔环下端连接。
2.根据权利要求1所述的分体壳体磁流体传动装置,其...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘黎明,张楚楠,周永君,
申请(专利权)人:杭州慧翔电液技术开发有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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