【技术实现步骤摘要】
带抽真空通道的磁流体密封传动装置
本技术涉及磁流体密封
，尤其是一种带抽真空通道的磁流体密封传动装置。
技术介绍
磁流体密封技术由于其结构和性能上的优越性，在刻蚀机，单晶硅炉、真空钎焊炉、真空熔炼炉、化学气相沉积、离子镀膜、液晶再生等真空设备上得到了广泛应用；中国专利公开号为CN102864437A的专利技术专利，公开了一种用于MOCVD设备的旋转装置，其旋转主轴通过磁流体密封装置与马达连接；传统的装有磁流体密封装置的真空设备另设有抽真空通道，存在真空设备结构不够紧凑的不足，因此设计一种使真空设备结构紧凑的带抽真空通道的磁流体密封传动装置，成为亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服目前的装有磁流体密封装置的真空设备另设有抽真空通道，存在真空设备结构不够紧凑的不足，提供一种使真空设备结构紧凑的带抽真空通道的磁流体密封传动装置。本技术的具体技术方案是：一种带抽真空通道的磁流体密封传动装置，包括：无框力矩电机，下端设有安装盘的内轴，套在内轴外的外轴，与外轴枢接且下端与安装盘连接...
【技术保护点】
1.一种带抽真空通道的磁流体密封传动装置，包括：无框力矩电机，其特征是，所述的带抽真空通道的磁流体密封传动装置还包括：下端设有安装盘的内轴，套在内轴外的外轴，与外轴枢接且下端与安装盘连接的下壳体，下端设有电机腔且与外轴枢接的上壳体，两个一一对应设于上壳体内侧围和下壳体内侧围且设有永磁体的磁极片，两个一一对应设于两个磁极片和外轴外侧围之间的磁流体，套在外轴外且与电机腔顶面连接的电机隔环；无框力矩电机位于电机腔中，无框力矩电机的转子与转轴连接，无框力矩电机的定子与电机隔环下端连接；内轴与外轴之间的空隙构成抽真空通道。/n
【技术特征摘要】
1.一种带抽真空通道的磁流体密封传动装置，包括：无框力矩电机，其特征是，所述的带抽真空通道的磁流体密封传动装置还包括：下端设有安装盘的内轴，套在内轴外的外轴，与外轴枢接且下端与安装盘连接的下壳体，下端设有电机腔且与外轴枢接的上壳体，两个一一对应设于上壳体内侧围和下壳体内侧围且设有永磁体的磁极片，两个一一对应设于两个磁极片和外轴外侧围之间的磁流体，套在外轴外且与电机腔顶面连接的电机隔环；无框力矩电机位于电机腔中，无框力矩电机的转子与转轴连接，无框力矩电机的定子与电机隔环下端连接；内轴与外轴之间的空隙构成抽真空通道。
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【专利技术属性】
技术研发人员：刘黎明，张楚楠，周永君，
申请(专利权)人：杭州慧翔电液技术开发有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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