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本实用新型涉及一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，包括固定在机体上的定子轴、部分嵌入在定子轴内部的转子轴以及嵌入转子轴内部的绝热筒，其中：定子轴呈筒状，轴向外表面开设有两个气源通道接口、两个低温液体通道接口；转子轴呈筒状且底部为开口，转子轴开设...
该专利属于江苏鲁汶仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器有限公司授权不得商用。

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