【技术实现步骤摘要】
一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构
本技术属于真空镀膜机
,具体涉及一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构。
技术介绍
溅射式真空镀膜机是常见的真空镀膜设备之一,传统的溅射式真空镀膜机均是立式结构,在实际操作过程中通常需要在镀膜机的一侧搭建高台,以便于在真空镀膜室内的转台架上移出料后工人装卸工件。工人高台操作存在安全隐患,不利于安全生产的进行。并且立式镀膜机本身高度较高,且在镀膜机上方还需预留转台架上移的空间,对生产车间的高度要求较高,间接提高生产成本。将镀膜机改为卧式结构即可解决上述问题,但是工件在镀膜过程中需要进行公转和自转,传统的立式镀膜机中的转台架无法直接横置应用到卧式结构中,因此需要一种适用于卧式真空镀膜机的工件安装机构。
技术实现思路
为了解决上述问题,本技术提供一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构,其设置有安装架和转台架,所述转台架可绕水平轴转动地安装于所述安装架上,且所述转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构,所述工件安装结构与所述转台架联动,从而在所述转台架转动时随之转动。< ...
【技术保护点】
1.一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构,其特征在于,设置有安装架和转台架,所述转台架可绕水平轴转动地安装于所述安装架上,且所述转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构,所述工件安装结构与所述转台架联动,从而在所述转台架转动时随之转动,所述转台架设置有两个转盘组件和若干连杆,两个所述转盘组件之间对称设置于所述连杆的两端,从而于两个所述转盘组件之间形成工件装载空间,所述转盘组件包括固定齿圈、公转齿圈、传动组件和自转座组件,所述固定齿圈和公转齿圈的内圈均设置有轮齿,所述固定齿圈固定安装于所述安装架上,所述自转座组件设置有多个并同圆周地分布于所述公转齿圈上,且所述自转座组件设置有 ...
【技术特征摘要】
1.一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构,其特征在于,设置有安装架和转台架,所述转台架可绕水平轴转动地安装于所述安装架上,且所述转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构,所述工件安装结构与所述转台架联动,从而在所述转台架转动时随之转动,所述转台架设置有两个转盘组件和若干连杆,两个所述转盘组件之间对称设置于所述连杆的两端,从而于两个所述转盘组件之间形成工件装载空间,所述转盘组件包括固定齿圈、公转齿圈、传动组件和自转座组件,所述固定齿圈和公转齿圈的内圈均设置有轮齿,所述固定齿圈固定安装于所述安装架上,所述自转座组件设置有多个并同圆周地分布于所述公转齿圈上,且所述自转座组件设置有啮合所述固定齿圈的传动齿轮,所述公转齿圈通过多个所述传动齿轮与所述固定齿圈的配合而配装于所述固定齿圈上,所述传动组件设置有啮合所述公转齿圈的驱动齿轮,通过两个所述转盘组件上的所述自转座组件形成所述工件安装结构,所述安装架包括一水平设置的底板和竖直设置于所述底板的两端的侧板,所述转台架设置于两侧板之间。
2.如权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构,其特征在于,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:华冬辉,郑启发,李纲,罗立珍,
申请(专利权)人:湖南菲尔姆真空设备有限公司,
类型:新型
国别省市:湖南;43
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