一种高精度恒压强闭环控制仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精度恒压强闭环控制仪，包括闭环控制仪本体和真空电控系统，闭环控制仪本体包括支架、设置在支架上的真空屏蔽箱、真空屏蔽箱内设置有用于放置芯片的内屏蔽盒；真空电控系统包括与真空屏蔽箱相连的真空泵、设置在真空屏蔽箱内的真空计、流量计，以及与真空泵、真空计、流量计电性连接的控制模块。本设计通过真空屏蔽箱和内屏蔽盒的双层设计，并且在内屏蔽盒外侧和真空屏蔽箱内侧都覆盖有电磁屏蔽层，能够有效屏蔽电磁干扰；控制模块通过监测数据实时控制真空泵的进气量来实现真空屏蔽箱内部压强的闭环控制，能够提供稳定的真空环境，保证了芯片的测试结果的可靠性。

A High Precision Closed Loop Controller with Constant Pressure

The utility model discloses a high-precision constant pressure closed-loop controller, which comprises a closed-loop controller body and a vacuum electronic control system. The closed-loop controller body includes a bracket, a vacuum shield box arranged on the bracket, and an internal shield box for placing chips in the vacuum shield box. The vacuum electronic control system includes a vacuum pump connected with the vacuum shield box and a vacuum shield box arranged in the vacuum shield box. Vacuum meters, flowmeters, and control modules electrically connected with vacuum pumps, vacuum meters and flowmeters. This design is based on the double-layer design of the vacuum shielding box and the inner shielding box, and the outer and inner sides of the inner shielding box are covered with electromagnetic shielding layer, which can effectively shield electromagnetic interference. The control module realizes the closed-loop control of the internal pressure of the vacuum shielding box by real-time controlling the intake of the vacuum pump through monitoring data, which can provide a stable vacuum environment and ensure the chip's performance. Reliability of test results.

【技术实现步骤摘要】
一种高精度恒压强闭环控制仪
本技术涉及真空测试设备控制领域，具体的涉及一种高精度恒压强闭环控制仪。
技术介绍
陀螺仪或者航空设备上的芯片在使用前需要在真空测试设备中进行测试，要求真空测试设备提供稳定的真空环境并且屏蔽掉外界的电磁干扰，然而现有的真空测试设备防电磁干扰能力不佳，并且不能实现对内部压强的闭环控制，无法提供稳定的真空环境，因此会对芯片的测试结果造成影响。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术的目的是提供一种防电磁干扰能力强、能够实现对内部压强的闭环控制，提供稳定的真空环境的高精度恒压强闭环控制仪。本技术采用的技术方案是：一种高精度恒压强闭环控制仪，包括：闭环控制仪本体和真空电控系统，所述闭环控制仪本体包括支架、设置在支架上的真空屏蔽箱，所述真空屏蔽箱内设置有用于放置芯片的内屏蔽盒，所述内屏蔽盒外侧和真空屏蔽箱内侧皆覆盖有一层电磁屏蔽层；所述真空电控系统包括与真空屏蔽箱相连的真空泵、设置在真空屏蔽箱内的真空计、流量计，以及与真空泵、真空计、流量计电性连接的控制模块。进一步的，所述电磁屏蔽层包括铝板、以及覆盖在铝板外侧的铜镍复合膜。进一步的，所述控制模块包括微处理器、模拟运放单元、数本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于，包括：闭环控制仪本体(1)和真空电控系统，所述闭环控制仪本体(1)包括支架(11)、设置在支架(11)上的真空屏蔽箱(12)，所述真空屏蔽箱(12)内设置有用于放置芯片的内屏蔽盒(13)，所述内屏蔽盒(13)外侧和真空屏蔽箱(12)内侧皆覆盖有一层电磁屏蔽层；所述真空电控系统包括与真空屏蔽箱(12)相连的真空泵(2)、设置在真空屏蔽箱(12)内的真空计、流量计，以及与真空泵(2)、真空计、流量计电性连接的控制模块(3)。

【技术特征摘要】
1.一种高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于，包括：闭环控制仪本体(1)和真空电控系统，所述闭环控制仪本体(1)包括支架(11)、设置在支架(11)上的真空屏蔽箱(12)，所述真空屏蔽箱(12)内设置有用于放置芯片的内屏蔽盒(13)，所述内屏蔽盒(13)外侧和真空屏蔽箱(12)内侧皆覆盖有一层电磁屏蔽层；所述真空电控系统包括与真空屏蔽箱(12)相连的真空泵(2)、设置在真空屏蔽箱(12)内的真空计、流量计，以及与真空泵(2)、真空计、流量计电性连接的控制模块(3)。2.根据权利要求1所述的高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于：所述电磁屏蔽层包括铝板、以及覆盖在铝板外侧的铜镍复合膜。3.根据权利要求1所述的高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于：所述控制模块(3)包括微处理器、模拟运放单元、数字转换单元、用于控制真空泵(2)开关的阀控单元，所述真空计、流量计皆通过模拟运放单元和数字转换单元与微处理器电性连接，所述微处理器与阀控单元电性连接。4.根据权利要求3所述的高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于：所述数字转换单元包括运算放大器U3B、运算放大器U3C、若干稳压二极管、若干电阻和电容；所述真空计的输入端ADIN2通过电阻R48与运算放大器U3C的输入端IN+相连，所述运算放大器U3C的输出端OUT3通过电阻R68与微处理器的AD2端相连，所述微处理器的AD2端通过并联的电容C41和稳压二极管D12接地；所述流量计的输入端ADIN1与真空计的输入端ADIN2相连，流量计的输入端ADIN1通过电阻R49与运算放大器U3B的输入端IN+相连，所述运算放大器U3B的输出端OUT2通过电阻R69与微处理器的AD1端相连，所述微处理器的AD1端通过并联的电容C...

【专利技术属性】
技术研发人员：李纲，张旭，杨靖，罗立珍，
申请(专利权)人：湖南菲尔姆真空设备有限公司，湖南天羿领航科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南,43