下载一种高精度恒压强闭环控制仪的技术资料

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本实用新型公开了一种高精度恒压强闭环控制仪,包括闭环控制仪本体和真空电控系统,闭环控制仪本体包括支架、设置在支架上的真空屏蔽箱、真空屏蔽箱内设置有用于放置芯片的内屏蔽盒;真空电控系统包括与真空屏蔽箱相连的真空泵、设置在真空屏蔽箱内的真空计、...
该专利属于湖南菲尔姆真空设备有限公司;湖南天羿领航科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南菲尔姆真空设备有限公司;湖南天羿领航科技有限公司授权不得商用。

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