一种适用于多规格工件架的大盘制造技术

为了解决现有的生产过程中可能会使用到多种规格的工件架，从而引起的频换定制大盘导致生产成本的占地面积提高的问题，本实用新型专利技术提出一种适用于多规格工件架的大盘，其包括：底盘1、外圈齿轮2和外圈工件架3，底盘1的上表面上固定有多个外圈齿轮2，多个外圈齿轮2的中心距离底盘1的中心的距离相等，外圈工件架3的底部固定在外圈齿轮2的上表面，外圈齿轮2的中心与电机的电机轴连接，从而使得外圈齿轮2被电机带动旋转，其特征在于：还包括内圈齿轮5和内圈工件架6，内圈齿轮5固定在底盘1的上表面上，内圈工件架6固定在内圈齿轮5的上表面。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于多规格工件架的大盘
本技术属于表面处理
，较为具体的，涉及到一种适用于多规格工件架的大盘。
技术介绍
在PVD真空镀膜
，需要将待镀膜的加工件放置在工件架上，工件架固定在大盘上，大盘上的每一个工件架都能够发生自转，大盘的底部设有转轴，转轴可以插入真空镀膜机的底座，并在真空镀膜机的底座发生公转，大盘在整个PVD真空镀膜的过程中显得尤为重要，镀膜时涂层的均匀性跟大盘的公转和工件架的自转关联性极大。目前的大盘的尺寸固定，并且大盘上的工件架的中心位置也是固定的，这样就使得相邻的工件架之间的距离收到限制，这样就使得同一个大盘上能够适应的工件架的最大直径为相邻的两个工件架的中心位置之间的距离，如果有超出相邻的两个工件架的中心位置的距离的工件架想要放置在大盘上使用，则需要更换新的定制大盘。但是在实际生产过程中，如果每生产一种不同规格的工件，就需要去更换一种规格的大盘，而且不同规格的大盘在闲置时还需要单独的固定座去进行固定，这样不但生产成本会提高很多，同时占地面积也会提高。
技术实现思路
有鉴于此，为了解决现有的生产过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于多规格工件架的大盘，其包括：底盘(1)、外圈齿轮(2)和外圈工件架(3)，底盘(1)的上表面上固定有多个外圈齿轮(2)，多个外圈齿轮(2)的中心距离底盘(1)的中心的距离相等，外圈工件架(3)的底部固定在外圈齿轮(2)的上表面，外圈齿轮(2)的中心与电机的电机轴连接，从而使得外圈齿轮(2)被电机带动旋转，其特征在于：还包括内圈齿轮(5)和内圈工件架(6)，内圈齿轮(5)固定在底盘(1)的上表面上，内圈工件架(6)固定在内圈齿轮(5)的上表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于多规格工件架的大盘，其包括：底盘(1)、外圈齿轮(2)和外圈工件架(3)，底盘(1)的上表面上固定有多个外圈齿轮(2)，多个外圈齿轮(2)的中心距离底盘(1)的中心的距离相等，外圈工件架(3)的底部固定在外圈齿轮(2)的上表面，外圈齿轮(2)的中心与电机的电机轴连接，从而使得外圈齿轮(2)被电机带动旋转，其特征在于：还包括内圈齿轮(5)和内圈工件架(6)，内圈齿轮(5)固定在底盘(1)的上表面上，内圈工件架(6)固定在内圈齿轮(5)的上表面。


2.如权利要求1所述的适用于多规格工件架的大盘，其特征在于：多个外圈齿轮(2)的数量为4～8个。


3.如权利要求1所述的适用于多规格工件架的大盘，其特征在于：内圈齿轮(5)包括一组或多组内圈齿轮(5)。


4.如权利要求3所述的适用于多规格工件架的大盘，其特征在于：当内圈齿轮(5)为一组时，所述的一组内圈齿轮(5)的中心位于同一圆周上，当内圈齿轮(5)为多组时，则多组内圈齿轮(5)的中心位于不同的圆周上，且内部的内圈齿轮(5)可以与外圈齿轮(2)啮合，或者中心位于同一较小直径圆周的内圈齿轮与中心位于同一较大直径周圈的内圈齿轮啮合。

【专利技术属性】
技术研发人员：梁海洋，吴伟亮，冯刚，邓永琪，汪毅，李章雄，
申请(专利权)人：苏州星蓝纳米技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32