一种平衡式磁控靶组件翻转机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种平衡式磁控靶组件翻转机构，包括支架和导轨框，所述支架上设置有带座轴承，所述导轨框上设置有与所述带座轴承转动连接的铰接轴；所述导轨框的两侧设置有导轨，所述导轨上滑动设置有滑块，所述滑块连接有锁定连接块，所述锁定连接块连接有靶门板，所述靶门板上设置有靶；所述导轨一端设置有对所述滑块进行限位的靶门平移挡块。本实用新型专利技术可以作为多靶磁控溅射镀膜设备中一个独立的机构，结构简单，装配、运输方便，便于对靶的更换、维修等，更换靶材时可单独拆离、更换等，不需要其他的起重或搬运辅助设备，有利于镀膜生产线的高效运行，适用于多种真空镀膜设备。

【技术实现步骤摘要】
一种平衡式磁控靶组件翻转机构
本技术涉及真空多靶磁控溅射镀膜领域，具体来说，涉及一种平衡式磁控靶组件翻转机构。
技术介绍
在真空多靶磁控溅射镀膜设备中，靶在镀膜过程中会有损耗，隔一段时间就需要更换，由于靶处于高真空溅射室中，在传统的结构中靶的更换方式非常麻烦，费时费力，已不适应现在生产需求，现在高节奏的多靶磁控溅射镀膜生产工艺对靶的更换提出了更高的要求，靶的更换应该简易、方便、省时、可单人操作、不能破坏真空溅射室的密封性，鉴于此，本专利提出了一种平衡式磁控靶组件翻转机构可以较好的解决多个靶的更换问题。
技术实现思路
针对相关技术中的上述技术问题，本技术提出一种平衡式磁控靶组件翻转机构，能够解决上述问题。为实现上述技术目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种平衡式磁控靶组件翻转机构，包括支架和导轨框，所述支架上设置有带座轴承，所述导轨框上设置有与所述带座轴承转动连接的铰接轴；所述导轨框的两侧设置有导轨，所述导轨上滑动设置有滑块，所述滑块连接有锁定连接块，所述锁定连接块连接有靶门板，所述靶门板上设置有靶；所述导轨一端本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平衡式磁控靶组件翻转机构，包括支架（1）和导轨框（2），其特征在于，所述支架（1）上设置有带座轴承（21），所述导轨框（2）上设置有与所述带座轴承（21）转动连接的铰接轴（15）；所述导轨框（2）的两侧设置有导轨（13），所述导轨（13）上滑动设置有滑块（14），所述滑块（14）连接有锁定连接块（7），所述锁定连接块（7）连接有靶门板（18），所述靶门板（18）上设置有靶（20）；所述导轨（13）一端设置有对所述滑块（14）进行限位的靶门平移挡块（19）。/n

【技术特征摘要】
1.一种平衡式磁控靶组件翻转机构，包括支架（1）和导轨框（2），其特征在于，所述支架（1）上设置有带座轴承（21），所述导轨框（2）上设置有与所述带座轴承（21）转动连接的铰接轴（15）；所述导轨框（2）的两侧设置有导轨（13），所述导轨（13）上滑动设置有滑块（14），所述滑块（14）连接有锁定连接块（7），所述锁定连接块（7）连接有靶门板（18），所述靶门板（18）上设置有靶（20）；所述导轨（13）一端设置有对所述滑块（14）进行限位的靶门平移挡块（19）。


2.根据权利要求1所述的平衡式磁控靶组件翻转机构，其特征在于，所述导轨框（2）上设置有锁紧顶块（22），所述支架（1）上设置有用于固定所述导轨框（2）于工作位置的第一锁定块（3）和第一定位螺钉（4），所述锁紧顶块（22）与所述第一锁定块（3）和所述第一定位螺钉（4）配合连接。


3.根据权利要求2所述的平衡式磁控靶组件翻转机构，其特征在于，所述支架（1）上设置有与所述导轨框（2）处于翻转位置时相接触的防撞胶垫（11）。


4.根据权利要求1所述的平衡式磁控靶...

【专利技术属性】
技术研发人员：高贵斌，韩应敏，
申请(专利权)人：北京中科科美科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11