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本实用新型公开了一种平衡式磁控靶组件翻转机构，包括支架和导轨框，所述支架上设置有带座轴承，所述导轨框上设置有与所述带座轴承转动连接的铰接轴；所述导轨框的两侧设置有导轨，所述导轨上滑动设置有滑块，所述滑块连接有锁定连接块，所述锁定连接块连接有...
该专利属于北京中科科美科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科科美科技股份有限公司授权不得商用。

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