工件的切断方法及线锯技术

本发明专利技术涉及一种工件的切断方法，其通过线锯(1)进行，通过将固定磨粒金属线(2)卷绕至多个带沟滚轮(3、3’)而形成金属线列(12)，并通过一边使所述固定磨粒金属线(2)在轴向上往复移动，一边将工件(W)向所述金属线列(12)切入进给，从而将所述工件(W)在轴向排列的多个位置同时切断，其中，所述工件(W)经由贴附于该工件(W)的接合部件而通过工件保持机构(15)进行保持，其特征在于，在所述工件(W)的切断结束后，且在从所述金属线列(12)拉出所述工件(W)前，将另外设置于所述工件(W)与所述工件保持机构(15)之间的金属制的金属线磨损部件(21)向所述金属线列(12)切入进给，从而使所述固定磨粒金属线(2)磨损。由此，提供一种工件的切断方法及线锯(1)，其在从金属线列(12)拉出切断后的工件(W)时，不会发生金属线卡住于工件(W)而产生锯痕或发生金属线断线的情况。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工件的切断方法及线锯
本专利技术涉及一种工件的切断方法及线锯。
技术介绍
过去，作为从例如硅铸块及化合物半导体铸块等切出晶圆的装置，已知线锯。在该线锯中，通过将多个切断用金属线卷绕于多个滚轮的周围而形成金属线列，使该切断用金属线沿轴向高速驱动，并且一边适当供给浆料一边使工件对该金属线列切入进给，从而该工件在各金属线的位置被同时切断(例如，参考专利文献1)。在此，图5显示现有的一般线锯的一例的概要。如图5所示，该线锯101主要由以下部件构成：用于将工件W切断的金属线102(高张力钢线)、卷绕有金属线102的带沟滚轮103、103’、将金属线102卷绕于多个带沟滚轮103、103’而形成的金属线列112、赋予金属线102的张力的机构104、104’、将进行切断的工件W向下方送出的工件进给机构105及在切断时供给浆料的机构106。金属线102从一个金属线卷盘107拉出，经由横臂(日语：トラバーサ)108、滑轮109及张力赋予机构104，于带沟滚轮103、103’卷绕约300～500周后，经过另一个张力赋予机构104’、滑轮109’及横本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工件的切断方法，其通过线锯进行，通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列，并通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边将工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，其中，所述工件经由贴附于该工件的接合部件而通过工件保持机构进行保持，其特征在于，/n在所述工件的切断结束后，且在从所述金属线列拉出所述工件前，将另外设置于所述工件与所述工件保持机构之间的金属制的金属线磨损部件向所述金属线列切入进给，从而使所述固定磨粒金属线磨损。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180125 JP 2018-0104781.一种工件的切断方法，其通过线锯进行，通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列，并通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边将工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，其中，所述工件经由贴附于该工件的接合部件而通过工件保持机构进行保持，其特征在于，
在所述工件的切断结束后，且在从所述金属线列拉出所述工件前，将另外设置于所述工件与所述工件保持机构之间的金属制的金属线磨损部件向所述金属线列切入进给，从而使所述固定磨粒金属线磨损。


2.根据权利要求1所述的工件的切断方法，其特征在于，使用维氏硬度(HV)为150以下的部件作为所述金属线磨损部件。


3.根据权利要求1或2所述的工件的切断方法，其特征在于，使用以碳含量为0.25质量％以下的钢为原料的部件作为所述金属线磨损部件。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的工件的切断方法，其特征在于，使用安装于所述接合部件的侧面的部件作为所述金属线磨损部件。


5.根据权利要求1至3中任一项所述的工件的切断方法，其特征在于，使用安装于所述工件保持机构的部件...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林健司，
申请(专利权)人：信越半导体株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP