【技术实现步骤摘要】
静电吸盘及处理装置
本专利技术的形态涉及一种静电吸盘及处理装置。
技术介绍
在氧化铝等的陶瓷电介体基板之间夹住电极并进行烧成而制作的陶瓷制的静电吸盘是在内置的电极上外加静电吸附用电力,并通过静电力来吸附硅晶片等的基板。在这样的静电吸盘中,在陶瓷电介体基板的表面与吸附对象物即基板的背面之间流入氦(He)等惰性气体,对吸附对象物即基板的温度进行控制。例如,在化学汽相沉积(CVD(ChemicalVaporDeposition))装置、溅射(sputtering)装置、离子注入装置、蚀刻(etching)装置等对基板进行处理的装置中,存在处理中会带来基板的温度上升的装置。在用于这样的装置的静电吸盘中,在陶瓷电介体基板与吸附对象物即基板之间流入He等惰性气体,通过使惰性气体接触基板来抑制基板的温度上升。在通过He等惰性气体来对基板温度进行控制的静电吸盘中,将用于导入He等惰性气体的孔(气体导入路)设置于陶瓷电介体基板及支撑陶瓷电介体基板的基座板。另外,在陶瓷电介体基板上设置连通于基座板的气体导入路的穿通孔。由此,从基座板的气体导入路导入的惰性气体,通过陶瓷电介体基板的穿通孔而被引导至基板的背面。在此,在装置内对基板进行处理时,有时会发生从装置内的等离子体朝向金属制的基座板的放电(电弧放电)。基座板的气体导入路及陶瓷电介体基板的穿通孔有可能容易成为放电的路径。于是,存在如下技术,通过在基座板的气体导入路及陶瓷电介体基板的穿通孔中设置多孔质部,从而提高对电弧放电的抗性(绝缘强度等)。例如,在专利文献1中公 ...
【技术保护点】
1.一种静电吸盘,具备:陶瓷电介体基板,具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面;/n基座板,支撑所述陶瓷电介体基板且具有气体导入路;/n第1多孔质部,设置于所述陶瓷电介体基板且与所述气体导入路相对;/n及第2多孔质部,设置于所述基座板且与所述气体导入路相对,其特征为,/n所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1主面与所述第1多孔质部之间的第1孔部,/n所述第1多孔质部具有:第1多孔区域,具有多个孔;及第1致密区域,比所述第1多孔区域更致密,所述第1多孔区域还具有至少1个第1致密部,/n所述第2多孔质部具有:第2多孔区域,具有多个孔;及第2致密区域,比所述第2多孔区域更致密,所述第2多孔区域还具有至少1个第2致密部,/n当向垂直于从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的第1方向的平面进行投影时,构成为所述第1致密部与所述第1孔部发生重叠,所述第2致密部的至少一部分与所述第1致密部的至少一部分发生重叠,或者所述第2致密部的至少一部分与所述第1致密部的至少一部分接触。/n
【技术特征摘要】
20190305 JP 2019-039863;20200130 JP 2020-0136171.一种静电吸盘,具备:陶瓷电介体基板,具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面;
基座板,支撑所述陶瓷电介体基板且具有气体导入路;
第1多孔质部,设置于所述陶瓷电介体基板且与所述气体导入路相对;
及第2多孔质部,设置于所述基座板且与所述气体导入路相对,其特征为,
所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1主面与所述第1多孔质部之间的第1孔部,
所述第1多孔质部具有:第1多孔区域,具有多个孔;及第1致密区域,比所述第1多孔区域更致密,所述第1多孔区域还具有至少1个第1致密部,
所述第2多孔质部具有:第2多孔区域,具有多个孔;及第2致密区域,比所述第2多孔区域更致密,所述第2多孔区域还具有至少1个第2致密部,
当向垂直于从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的第1方向的平面进行投影时,构成为所述第1致密部与所述第1孔部发生重叠,所述第2致密部的至少一部分与所述第1致密部的至少一部分发生重叠,或者所述第2致密部的至少一部分与所述第1致密部的至少一部分接触。
2.根据权利要求1所述的静电吸盘,其特征为,当向垂直于所述第1方向的平面进行投影时,所述第1致密部的尺寸与所述第1孔部的尺寸相同,或者所述第1致密部的尺寸大于所述第1孔部的尺寸。
3.根据权利要求1或2所述的静电吸盘,其特征为,当向垂直于所述第1方向的平面进行投影时,所述第2致密部与所述第1致密区域发生重叠,或者所述第2致密部与所述第1致密区域接触。
4.根据权利要求1~3中任意一项所述的静电吸盘,其特征为,
所述第1多孔区域具有多个第1疏松部分、第1紧密部分,
所述第1疏松部分具有所述多个孔,
所述第1紧密部分具有比所述第1疏松部分的密度更高的密度,在所述第2方向上的尺寸小于在所述第2方向上的所述第1致密区域的尺寸,
所述多个第1疏松部分分别在所述第1方向上延伸,
所述第1紧密部分位于所述多个第1疏松部分的彼此之间,
所述第1疏松部分具有位于所述多个孔的彼此之间的第1壁部,
在与所述第1方向大致正交的第2方向上,所述第1壁部的尺寸的最小值小于所述第1紧密部分的尺寸的最小值。
5.根据权利要求1~4中任意一项所述的静电吸盘,其特征为,在所述第2方向上,分别设置于所述多个第1疏松部分的所述多个孔的尺寸,比所述第1紧密部分的尺寸更小,及/或在所述第2方向上,分别设置于所述多个第2疏松部分的所述多个孔的尺寸,比所述第2紧密部分的尺寸更小。
6.根据权利要求1~5中...
【专利技术属性】
技术研发人员:白石纯,西愿修一郎,森达哉,渡边仁弘,佐佐木雄基,
申请(专利权)人:TOTO株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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