【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板保持装置及基板检查装置
本专利技术涉及基板保持装置及基板检查装置。
技术介绍
在专利文献1中公开了一种如下那样形成的基板保持装置：在框架设置有对基板的侧边进行保持的多个带锁气缸，带锁气缸的前端相对于基板的边缘前后倾斜10度。在该基板保持装置中，由带锁气缸前端的斜面从斜前方按压基板的倒角部，以使基板的背面抵接于框架的表面(基准面)。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-147099号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题例如，在洁净室的顶棚设置有具备HEPA过滤器(HighEfficiencyParticulateAirFilter)、风扇的风扇过滤器单元，以用于输送洁净的空气。在该风扇过滤器单元中，例如有时设置有送风能力高的多叶片式风扇，但从多叶片式风扇产生20Hz左右的低频的压力振动，该振动传递至位于洁净室内的设备、基板。在专利文献1所记载的专利技术中，由于针对带锁气缸的推力(与基准面大致平行的朝向的力)的基准面方向的分力成分较小，因此存在将基板...
【技术保护点】
1.一种基板保持装置，其在大致铅垂方向上保持在周缘形成有平面或者曲面的倒角部的透明的大致板状的基板，其特征在于，/n所述基板保持装置具备：/n框架，其具有大致铅垂地延伸设置的大致棒状的第一纵框部及第二纵框部；以及/n多个夹持部，它们设置于所述第一纵框部及所述第二纵框部，/n所述夹持部能够在与所述基板抵接的抵接位置、和不与所述基板抵接的退避位置之间沿大致水平方向移动，/n所述第一纵框部及所述第二纵框部具有从与所述基板的表面大致正交的方向观察时与所述基板的周缘重叠的部分，该重叠的部分具有在所述夹持部位于所述抵接位置时与所述基板的背面抵接的基准面，/n所述夹持部具备：/n第一单元...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180125 JP 2018-0109981.一种基板保持装置，其在大致铅垂方向上保持在周缘形成有平面或者曲面的倒角部的透明的大致板状的基板，其特征在于，
所述基板保持装置具备：
框架，其具有大致铅垂地延伸设置的大致棒状的第一纵框部及第二纵框部；以及
多个夹持部，它们设置于所述第一纵框部及所述第二纵框部，
所述夹持部能够在与所述基板抵接的抵接位置、和不与所述基板抵接的退避位置之间沿大致水平方向移动，
所述第一纵框部及所述第二纵框部具有从与所述基板的表面大致正交的方向观察时与所述基板的周缘重叠的部分，该重叠的部分具有在所述夹持部位于所述抵接位置时与所述基板的背面抵接的基准面，
所述夹持部具备：
第一单元，其具有在所述抵接位置抵接于所述基板的侧面与所述倒角部的稜线的第一前端面；以及
第二单元，其设置为能够在所述第一单元与所述框架之间沿大致水平方向移动，
所述第一单元具有与所述第二单元抵接的第一后端面，
所述第二单元具有与所述第一后端面抵接的第二前端面，
所述第一前端面与大致正交于所述基准面的面所成的角度比大致45度小，
所述第一后端面以及所述第二前端面与大致正交于所述基准面的面所成的角度大于所述第一前端面与大致正交于所述基准面的面所成的角度，
当所述第二单元从所述退避位置朝向所述抵接位置移动时，所述第一前端面抵接于所述基板的侧面与所述倒角部的稜线，并且所述第一单元沿着所述第二前端面向所述基准面侧滑动。
2.根据权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，
所述第一前端面相对于与所述基准面大致正交的面倾斜大致10度，
所述第一后端面以及所述第二前端面相对于与所述基准面大致正交的面倾斜大致45度。
3.根据权利要求1或2所述的基板保持装置，其特征在于，
所述夹持部具有对所述第一单元施加远离所述基准面的方向的力的弹性构件。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板保持装置，其特征在于，
所述第一单元的从铅垂上方向或者铅垂下方向观察时的形状为大致梯形形状，且所述第一单元的远离所述基准面一侧的上底...
【专利技术属性】
技术研发人员：米泽良，岩田匡弘，
申请(专利权)人：株式会社V技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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