半导体封装方法技术

技术编号:25640612 阅读:39 留言:0更新日期:2020-09-15 21:32
本申请提供一种半导体封装方法。其中,该半导体封装方法包括:将多个待封装芯片贴装于载板上,使所述载板上形成贴装了所述多个待封装芯片的多个贴装区、以及围绕所述贴装区的空白区;将模框放置于所述载板上的所述空白区,所述模框为闭合结构,且所述模框内设有数个镂空区域,所述镂空区域与所述贴装区一一对应;形成包封层,所述包封层覆盖在所述载板上,且填充于所述模框的镂空区域内,所述包封层用于包封住所述多个待封装芯片。

【技术实现步骤摘要】
半导体封装方法
本申请涉及一种半导体
,尤其涉及一种半导体封装方法。
技术介绍
常见的半导体封装技术,比如芯片封装技术主要包含下述工艺过程:首先将裸片正面通过胶带粘接在载板上,进行热压塑封,然后将载板剥离,在裸片正面进行再布线工艺,形成再布线结构,并进行封装。如图1(a)-图1(c)所示,在热压塑封过程中,模塑树脂材料1在模压机的上压力板2的作用下,在模具型腔中做垂直和左右移动,从而使模塑树脂材料1均匀分布并压紧固化在载板3的表面形成包封层4,然而模塑树脂材料1的左右移动会对在载板3上按照预定位置排布的裸片5形成水平方向的作用力F,并且,热压塑封成型过程的压力很大,外加在高温环境下,胶带6的粘度降低,从而对裸片5的粘接定位能力下降,故而,裸片5很容易在模塑树脂材料1的压力作用下移动,偏离预定粘接位置。由于裸片5偏移现象的产生,使得后续的布线工艺中,难以定位裸片5在载板3中的精确位置,对布线工艺产生很大影响,甚至使得布线工艺难以进行。特别的,在大型载板中,由于载板3的尺寸较大,模塑树脂材料1受压移动的范围更广,所以裸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体封装方法,其特征在于,其包括:/n将多个待封装芯片贴装于载板上,使所述载板上形成贴装了所述多个待封装芯片的多个贴装区、以及围绕所述贴装区的空白区;/n将模框放置于所述载板上的所述空白区,所述模框为闭合结构,且所述模框内设有数个镂空区域,所述镂空区域与所述贴装区一一对应;/n形成包封层,所述包封层覆盖在所述载板上,且填充于所述模框的镂空区域内,所述包封层用于包封住所述多个待封装芯片。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体封装方法,其特征在于,其包括:
将多个待封装芯片贴装于载板上,使所述载板上形成贴装了所述多个待封装芯片的多个贴装区、以及围绕所述贴装区的空白区;
将模框放置于所述载板上的所述空白区,所述模框为闭合结构,且所述模框内设有数个镂空区域,所述镂空区域与所述贴装区一一对应;
形成包封层,所述包封层覆盖在所述载板上,且填充于所述模框的镂空区域内,所述包封层用于包封住所述多个待封装芯片。


2.如权利要求1所述的半导体封装方法,其特征在于,所述模框的材料与所述包封层的材料相同。


3.如权利要求1所述的半导体封装方法,其特征在于,所述包封层的高度小于或等于所述模框的高度。


4.如权利要求1所述的半导体封装方法,其特征在于,所述模框包括框体、以及设于所述框体内的连接梁,所述连接梁的两端均与所述框体连接,所述框体位于围绕多个所述贴装区的外周缘的所述空白区,所述连接梁位于相邻的所述贴装区之间的所述空白区;
所述包封层填充于所述框体与所述连接梁围绕的所述镂空区域内,或所述包封层填充于所述框体与所述连接梁、以及所述连接梁与所述连接梁围绕的所述镂空区域内。


5.如权利要求1所述的半导体封装方法,其特征在于,所述镂空区域的尺寸与大小...

【专利技术属性】
技术研发人员:周辉星
申请(专利权)人:矽磐微电子重庆有限公司
类型:发明
国别省市:重庆;50

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