本实用新型专利技术涉及一种光刻胶生产用多阶过滤装置，包括一级过滤釜和二级过滤罐，其技术要点是：一级过滤釜内下部设有水平过滤网Ⅰ，所述水平过滤网Ⅰ上方设有同心的环形过滤筒，环形过滤筒内悬设有搅拌机构，一级过滤釜顶部设有固液混合物投口、超纯水入口和溶剂入口，一级过滤釜底部设有三通接头并利用三通接头连接有废水输送管路和再过滤输送管路，再过滤输送管路末端设有提升泵，二级过滤罐底面中心支撑有纳滤装置，纳滤装置的顶部支撑有过滤斗，过滤斗底部设有水平过滤网Ⅱ。本实用新型专利技术从根本上解决了现有过滤装置过滤效果差的问题，保证感光树脂的再利用指标符合生产要求，节约资源。
【技术实现步骤摘要】
光刻胶生产用多阶过滤装置
本技术涉及光刻胶生产设备，具体是一种光刻胶生产用多阶过滤装置，适用于光刻胶中感光树脂的回收利用。
技术介绍
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，其是由溶剂、感光树脂、光引发剂和添加剂四种成分组成的对光敏感的混合液体。在紫外光、深紫外光、电子束、离子束等光照或辐射下，进行光化学反应，经曝光、显影等过程，将所需要的微细图形从掩模版转移至待加工的衬底上，然后进行蚀刻等工艺加工，最终得到所需图像。其中，溶剂使光刻胶具有流动性，易挥发，对于光刻胶的化学性质几乎没有影响。感光树脂是惰性的聚合物，用于把光刻胶中的不同材料聚在一起的粘合剂，给予光刻胶其机械和化学性质。光引发剂是光刻胶中的光敏成分，对光能发生光化学反应。添加剂是控制光刻胶材料特殊方面的化学物质，用来控制和改变光刻胶材料的特定化学性质或响应特性。在光刻工艺中，一般步骤为匀胶—干燥—前烘--曝光—显影—后烘—蚀刻—剥离。因此很大一部分光刻胶在显影过程中溶于废液。光刻胶价格昂贵，如不对废液中的光刻胶回收利用，会造成较大的资源浪费。因此一般会对这部分光刻胶中的感光树脂进行收集，之后继续用于生产。在上述回收行为应用的生产设备中，过滤装置非常重要，直接影响在后产品的品质。但现有的过滤装置存在如下问题：功能单一，过滤后树脂内仍存在杂质，过滤效果差。
技术实现思路
本技术的目的是为了提供一种结构设置更为合理、使用方便可靠的光刻胶生产用多阶过滤装置，从根本上解决现有过滤装置过滤效果差的问题，保证感光树脂的再利用指标符合生产要求，节约资源。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种光刻胶生产用多阶过滤装置，包括一级过滤釜和二级过滤罐，其技术要点是：所述一级过滤釜内下部设有水平过滤网Ⅰ，所述水平过滤网Ⅰ上方设有同心的环形过滤筒，所述环形过滤筒内悬设有搅拌机构，所述一级过滤釜顶部设有固液混合物投口、超纯水入口和溶剂入口，一级过滤釜底部设有三通接头并利用三通接头连接有废水输送管路和再过滤输送管路，所述再过滤输送管路末端设有提升泵，所述二级过滤罐底面中心支撑有纳滤装置，所述纳滤装置的顶部支撑有过滤斗，所述过滤斗底部设有水平过滤网Ⅱ，所述提升泵的出口管路末端插入过滤斗上部并安装有分液器，所述纳滤装置外壁和二级过滤罐内壁之间形成过滤腔，所述二级过滤罐底面对应纳滤装置中心的位置开设有去往浓缩设备的出料口，所述过滤腔的底部开设有废水输出口。上述的光刻胶生产用多阶过滤装置，所述一级过滤釜由球状顶、球状底和位于两者之间的锥状侧壁组成，所述球状顶的尺寸小于球状底的尺寸，所述锥状侧壁和环形过滤筒之间形成水洗快速泄流区，以加快对感光树脂的水洗效率。上述的光刻胶生产用多阶过滤装置，所述分液器由喇叭状分液口、设于喇叭状分液口端部的支架、设于支架上的锥形分液体，所述锥形分液体的尖端朝向提升泵的出口管路末端端口，所述锥形分液体和喇叭状分液口之间形成环形锥状分液通道。以均匀的将物料投入过滤斗内。上述的光刻胶生产用多阶过滤装置，所述水平过滤网Ⅱ的孔径小于水平过滤网Ⅰ的孔径。上述的光刻胶生产用多阶过滤装置，所述纳滤装置由上支撑环、下支撑环、连接于上、下支撑环之间的纳滤膜筒组成，所述过滤斗的底部边缘设有与上支撑环配合的凹槽，且凹槽底面与上支撑环上表面之间设有密封垫，所述二级过滤罐底面上设有与下支撑环配合的定位槽，所述定位槽内沿设有对应下支撑环的环形密封压圈。上述的光刻胶生产用多阶过滤装置，所述过滤斗顶部边沿设有翻边且翻边挂于二级过滤罐上沿，所述二级过滤罐顶部设有与所述翻边扣合的压盖。上述的光刻胶生产用多阶过滤装置，所述搅拌机构由搅拌电机、搅拌杆、设于搅拌杆上的搅拌桨组成。上述的光刻胶生产用多阶过滤装置，所述废水输送管路设有电磁阀Ⅰ，所述再过滤输送管路上设有与电磁阀Ⅰ不同时开启的电磁阀Ⅱ。本技术的有益效果是：使用时，先将沉淀剂处理后的固液混合废液（感光树脂为沉淀物即固体）投入到一级过滤釜中，注入超纯水搅拌水洗多次，实现固液分离和去除金属离子，液体由废水输送管路送出，感光树脂被水平过滤网Ⅰ和环形过滤筒拦截，这是第一阶过滤；然后向一级过滤釜中注入溶剂，溶解感光树脂，最终搅拌成均匀溶液，该溶液由再过滤输送管路和提升泵送往二级过滤罐，首先进入过滤斗中，水平过滤网Ⅱ将溶液中的未溶解物质拦截，这是第二阶过滤；完全溶解的溶液落至纳滤装置中，小分子杂质由纳滤膜内侧游移到其外侧，最终净化感光树脂溶液，这是第三阶过滤，净化后的感光树脂溶液位于纳滤装置中，待排出后经过浓缩即可得到感光树脂，即光刻胶树脂，这部分过滤回收的光刻胶树脂可根据检测指标另行配制得到光刻胶。本技术从根本上解决了现有过滤装置过滤效果差的问题，保证感光树脂的再利用指标符合生产要求，节约了资源。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是图1中分液器的仰视图；图3是图1中纳滤装置的放大图。具体实施方式如图1-图3所示，该光刻胶生产用多阶过滤装置，包括一级过滤釜2和二级过滤罐18。其中，所述一级过滤釜2内下部设有水平过滤网Ⅰ3，所述水平过滤网Ⅰ3上方设有同心的环形过滤筒4，所述环形过滤筒4内悬设有搅拌机构5。所述一级过滤釜2顶部设有固液混合物投口7、超纯水入口6和溶剂入口8，一级过滤釜2底部设有三通接头11并利用三通接头11连接有废水输送管路1和再过滤输送管路23，所述再过滤输送管路23末端设有提升泵12。所述二级过滤罐18底面中心支撑有纳滤装置19，所述纳滤装置19的顶部支撑有过滤斗15，所述过滤斗15底部设有水平过滤网Ⅱ17，所述提升泵12的出口管路末端插入过滤斗15上部并安装有分液器16。所述纳滤装置19外壁和二级过滤罐18内壁之间形成过滤腔22，所述二级过滤罐18底面对应纳滤装置19中心的位置开设有去往浓缩设备的出料口21，所述过滤腔22的底部开设有废水输出口20。本实施例中，所述一级过滤釜2由球状顶、球状底和位于两者之间的锥状侧壁组成，所述球状顶的尺寸小于球状底的尺寸，所述锥状侧壁和环形过滤筒4之间形成水洗快速泄流区，以加快对感光树脂的水洗效率。所述分液器16由喇叭状分液口1601、设于喇叭状分液口1601端部的支架1602、设于支架1602上的锥形分液体1603，所述锥形分液体1603的尖端朝向提升泵的出口管路末端端口，所述锥形分液体1603和喇叭状分液口1601之间形成环形锥状分液通道。以均匀的将物料投入过滤斗15内。所述水平过滤网Ⅱ17的孔径小于水平过滤网Ⅰ3的孔径。所述纳滤装置19由上支撑环1901、下支撑环1902、连接于上、下支撑环1901、1902之间的纳滤膜筒1903组成，所述过滤斗15的底部边缘设有与上支撑环1901配合的凹槽27，且凹槽27底面与上支撑环1901上表面之间设有密封垫24，所述二级过滤罐18底面上设有与下支撑环1902配合的定位槽26，所述定位槽26内沿设有对应下支撑环1902的环形密封压圈25。所述过本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种光刻胶生产用多阶过滤装置，包括一级过滤釜和二级过滤罐，其特征在于：所述一级过滤釜内下部设有水平过滤网Ⅰ，所述水平过滤网Ⅰ上方设有同心的环形过滤筒，所述环形过滤筒内悬设有搅拌机构，所述一级过滤釜顶部设有固液混合物投口、超纯水入口和溶剂入口，一级过滤釜底部设有三通接头并利用三通接头连接有废水输送管路和再过滤输送管路，所述再过滤输送管路末端设有提升泵，所述二级过滤罐底面中心支撑有纳滤装置，所述纳滤装置的顶部支撑有过滤斗，所述过滤斗底部设有水平过滤网Ⅱ，所述提升泵的出口管路末端插入过滤斗上部并安装有分液器，所述纳滤装置外壁和二级过滤罐内壁之间形成过滤腔，所述二级过滤罐底面对应纳滤装置中心的位置开设有去往浓缩设备的出料口，所述过滤腔的底部开设有废水输出口。/n
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶生产用多阶过滤装置，包括一级过滤釜和二级过滤罐，其特征在于：所述一级过滤釜内下部设有水平过滤网Ⅰ，所述水平过滤网Ⅰ上方设有同心的环形过滤筒，所述环形过滤筒内悬设有搅拌机构，所述一级过滤釜顶部设有固液混合物投口、超纯水入口和溶剂入口，一级过滤釜底部设有三通接头并利用三通接头连接有废水输送管路和再过滤输送管路，所述再过滤输送管路末端设有提升泵，所述二级过滤罐底面中心支撑有纳滤装置，所述纳滤装置的顶部支撑有过滤斗，所述过滤斗底部设有水平过滤网Ⅱ，所述提升泵的出口管路末端插入过滤斗上部并安装有分液器，所述纳滤装置外壁和二级过滤罐内壁之间形成过滤腔，所述二级过滤罐底面对应纳滤装置中心的位置开设有去往浓缩设备的出料口，所述过滤腔的底部开设有废水输出口。
2.根据权利要求1所述的光刻胶生产用多阶过滤装置，其特征在于：所述一级过滤釜由球状顶、球状底和位于两者之间的锥状侧壁组成，所述球状顶的尺寸小于球状底的尺寸，所述锥状侧壁和环形过滤筒之间形成水洗快速泄流区。
3.根据权利要求1所述的光刻胶生产用多阶过滤装置，其特征在于：所述分液器由喇叭状分液口、设于喇叭状分液口端部的支架、设于支架上的锥形分液体，所述锥形分...
【专利技术属性】
技术研发人员：王鸿岩，孙浩，
申请(专利权)人：辽宁靖帆新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21
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