【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学仪器中的镜对准交叉引用部分本申请要求于2017年12月28日提交的题为“光学仪器中的镜对准”的美国临时申请序列第62/610,999号的优先权，该申请的全部内容通过引用并入本文。
本公开内容总体上涉及光学仪器的
更具体地，本公开内容涉及用于光学仪器(如迈克尔逊干涉仪或显微镜)的镜对准系统。
技术介绍
傅里叶变换红外(FTIR)干涉光谱仪广泛用于化合物的分析中。通过测量未知样品在红外光谱中各种波长下对红外辐射的吸收并将结果与已知标准进行比较，这些仪器相对于未知样品的化学组成生成有用信息。在典型的FTIR光谱仪中，来自红外发射源的红外辐射被收集，穿过干涉仪，穿过待分析的样品，并且被聚焦在红外探测器上。干涉仪系统与样品结合，调制入射在探测器上的红外辐射的强度，从而形成时变强度信号。探测器的功能是将此时变强度信号转换为对应的时变电流。电流又被转换为随时间变化的电压，所述电压被提供给模数转换器，然后被存储为一系列数字，以便在与光谱仪相关联的处理器中进行处理。FTIR光谱仪的一个重要特征是移动镜元件，...
【技术保护点】
1.一种用于精确控制光束的镜组件，其包括：/n第一支架，其包含第一旋转轴线；/n第一镜，其联接到所述第一支架，所述第一镜包含反射表面，所述反射表面具有几乎垂直于所述第一旋转轴线的平面的表面平面；和/n光源，其被配置为将光束瞄准所述反射表面，其中所述第一支架的旋转将所述光束在目标表面上平移第一能控距离。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171228 US 62/610,9991.一种用于精确控制光束的镜组件，其包括：
第一支架，其包含第一旋转轴线；
第一镜，其联接到所述第一支架，所述第一镜包含反射表面，所述反射表面具有几乎垂直于所述第一旋转轴线的平面的表面平面；和
光源，其被配置为将光束瞄准所述反射表面，其中所述第一支架的旋转将所述光束在目标表面上平移第一能控距离。
2.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述能控距离由反射光束的倾斜量提供。
3.根据权利要求2所述的镜组件，其中：
所述反射光束的倾斜量包括大约0.001到大约5度的倾斜范围。
4.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述反射表面基本上为平面的。
5.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述能控距离包括所述光束在所述目标表面上沿X轴或Y轴的移动。
6.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述能控距离包括所述光束在所述目标表面上从大约0.1mm到大约50mm的距离上移动，且所述目标表面距第一镜表面大约300mm的目标距离。
7.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述第一支架的所述旋转包括大约1到大约20度的旋转。
8.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述第一支架的所述旋转被限制为大约20度或更小旋转角度。
9.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述第一支架的所述旋转被限制为大约5度或更小。
10.根据权利要求9所述的镜组件，其中：
大约5度或更小的所述支架的所述旋转使所述光束在所述目标表面上的所述移动的曲率误差最小化。
11.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述光源包括在所述目标表面上产生光斑的激光。
12.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述表面平面与垂直于所述旋转轴线的平面成大约1到大约4度。
13.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述表面平面与垂直于所述旋转轴线的平面成小于一度。
14.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述旋转轴线偏移所述第一镜的中心。
15.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述旋转轴线与所述第一镜的中心同轴。
16.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述支架联接到挠曲轴承。
17.根据权利要求16所述的镜组件，其中：
所述挠曲轴承包括一个或多个叶片挠曲件。
18.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述支架联接到第一轴承和第二轴承。
19.根据权利要求18所述的镜组件，其中：
所述第一轴承和所述第二轴承包括彼此有大约4度的偏移角。
20.根据权利要求18所述的镜组件，其中：
所述第一轴承和所述第二轴承各自包括旋转控制系统。
21.根据权利要求20所述的镜组件，其中：
所述旋转控制系统包括手动螺杆、电动马达、步进马达或线性马达。
22.根据权利要求1所述的镜组件，其中：
所述第一支架联接到马达。
23.根据权利要求1所述的镜组件，其还包括：
第二支架，其包括旋转轴线；
第二镜，其联接到所述第二支架，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：J·M·考菲，
申请(专利权)人：热电科学仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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