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本公开是关于一种镜组件，其具有一个或多个运动轴线并包含可移动镜并且所述镜与正交于其运动轴线的平面形成锐角。所述镜组件可包含：第一反射镜表面，所述第一反射镜表面在入射光路上可移动并与正交于其运动轴线的平面形成锐角；以及第二反射镜表面，所述第二...
该专利属于热电科学仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过热电科学仪器有限公司授权不得商用。

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