【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及压力测量装置,更具体地说,涉及使用半导体压力传感器的压力测量装置。
技术介绍
传统地,人们已知半导体压力传感器具有由于载流输出变化的特性。借助于图8至10描述该特性。首先,描述传统的压力测量装置的结构。图8是传统的压力测量装置2的电路原理图。在图8中,传统的压力测量装置2由传感器驱动部分21、压力传感器部分22以及电压表23构成。传感器驱动部分21为压力传感器部分22的两端施加电压来驱动压力传感器部分22。压力传感器部分22是由四个阻抗构成的惠斯通桥阻抗桥电路。电压表23测量阻抗桥电路的两个桥臂的中点之间的电位差并且输出并显示作为传感器输出的测量值。接下来,借助于图9和10描述传统的压力测量装置的操作。图9描绘了在传统的压力测量装置2中由传感器驱动部分21输出的用于驱动压力传感器部分22的驱动波形和表示以电压表23中的测量电压为时限的测量抽样的示图。如图9所示,从传感器驱动部分21输出的驱动波形是阶跃波形,且通过预定时间间隔(时限)测量压力传感器部分22的两个桥臂的中点之间的电位差。图10描绘了传统的压力测量装置2中的压力传感器部分22的传感器输 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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