一种用于洁净室的精密温湿度空调系统技术方案

本实用新型专利技术是一种用于洁净室的精密温湿度空调系统，其结构包括精密新风空调系统、精密冷热负荷调节系统、低导热围护结构和微孔式气流分布系统。本实用新型专利技术的优点：1)采用高精度快速反应可变量负荷处理单元，对室内空气进行精密温湿度处理，极大地降低了温湿度的波动范围；2)采用渗透型风管，保证回风夹道中的送风与回风均匀充分混合，避免了混风不均匀带来的温度场不均匀；3)采用负荷可调整调节过滤单元、负荷可调节均匀辐射照明系统，可以根据房间温度控制要求调节发热量，避免二次负荷超限；4)采用冷媒盘管——压缩机——冷却水主系统的二次温控系统，提高了控制精度，降低了传感器信号延迟带来的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种用于洁净室的精密温湿度空调系统
本技术涉及的是一种用于洁净室的精密温湿度空调系统，具体涉及一种用于高净化等级洁净室(要求温度波动范围在±0.05℃以内，湿度波动范围在±1％以内的百级洁净室)的单向流可调节精密温湿度控制系统，属于空调系统

技术介绍
精密温湿度空调系统是高精尖领域常用的环境控制手段，在产品加工周期温度湿度不波动的条件下，在不同温湿度环境下的性能或在特定温湿度条件下将材料加工为产品。用于测试产品材料检测，或产品加工。精密温湿度空调系统的控制精度和气流组织直接影响到洁净室温湿度的波动范围与均匀性，现有技术的精密温湿度空调系统主要采用以下两种形式：1、采用高效送风口非满布+普通照明灯具形式，新风与回风在机组内部混合，送风温湿度波动小，但气流为紊流，可能会导致洁净度不达标，且普通照明产生的二次负荷无法消除，不利于温度均匀性；2、采用风机过滤单元+普通照明灯具+DCC+MAU形式，气流为层流，但新风送入上静压箱后混风不充分，不利于温湿度均匀性；且风机过滤单元及普通照明灯具本身运行产生的二次负荷无法消除，不利于温度均匀性。
技术实现思路
本技术提出的是一种用于洁净室的精密温湿度空调系统，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，保证高洁净等级，有利于洁净室温湿度场和气流组织的均匀分布，并消除二次负荷带来的影响，同时控制精度高，更适合要求比较高的洁净室。本技术的技术解决方案：一种用于洁净室的精密温湿度空调系统，其结构包括精密新风空调系统、精密冷热负荷调节系统、低导热围护结构和微孔式气流分布系统，其中，所述的精密新风空调系统包括精密新风空调机组、新风管、新风定风量阀、精密新风温湿度采集系统和精密控制阀组，精密新风空调机组通过新风管连接洁净室外侧的回风夹道，精密新风温湿度采集系统设置在新风管与回风夹道连接处，新风定风量阀设置在新风管中部，精密控制阀组设置在精密新风空调机组进风管上，所述的精密冷热负荷调节系统包括高精度快速反应可变量负荷处理单元、变频压缩机、冷媒管、冷却水控制阀组、送风静压箱、送风管、渗透型均流风管、回风静压箱、送风定风量阀、电加热器、高精度可变量加湿系统、扩散管、精密循环风温湿度控制系统，高精度快速反应可变量负荷处理单元设置在上静压箱内、且内设冷盘管、并与回风静压箱连接，回风静压箱连接回风夹道，变频压缩机设置在回风夹道中、高精度快速反应可变量负荷处理单元同侧下方、且通过冷媒管连接高精度快速反应可变量负荷处理单元，变频压缩机通过冷却水控制阀组与外部冷却水系统连接，送风静压箱设置在高精度快速反应可变量负荷处理单元出口，送风静压箱、送风管和渗透型均流风管依次连接，渗透型均流风管与回风夹道相通，送风管各支路风管上设送风定风量阀和电加热器，高精度可变量加湿系统通过扩散管连接送风静压箱，精密循环风温湿度控制系统设置在洁净室内墙上，所述的低导热围护结构包括第一低导热夹心彩钢板、第二低导热夹心彩钢板、低导热天棚维护结构、低导热地面维护结构，第一低导热夹心彩钢板设置在洁净室四周，第二低导热夹心彩钢板设置在回风夹道四周，第二低导热夹心彩钢板厚度大于第一低导热夹心彩钢板厚度，低导热天棚维护结构粘贴在上静压箱上方的楼板、混凝土梁、混凝土柱子表面，低导热地面维护结构粘贴在下静压箱下方的楼板表面；所述的微孔式气流分布系统包括负荷可调整调节过滤单元、均流天花孔板系统、均流高架地板系统、负荷可调节均匀辐射照明系统，负荷可调整调节过滤单元安装在洁净室上部并与上静压箱和均流层连通，均流天花孔板系统设置在洁净室与均流层之间，负荷可调节均匀辐射照明系统安装在均流天花孔板系统上并避开送风孔位置，均流高架地板系统设置在洁净室底部与下静压箱之间。本技术的优点：1)采用高精度快速反应可变量负荷处理单元，对室内空气进行精密温湿度处理，极大地降低了温湿度的波动范围；2)采用渗透型风管，保证回风夹道中的送风与回风均匀充分混合，避免了混风不均匀带来的温度场不均匀；3)采用负荷可调整调节过滤单元、负荷可调节均匀辐射照明系统，可以根据房间温度控制要求调节发热量，避免二次负荷超限；4)采用冷媒盘管——压缩机——冷却水主系统的二次温控系统，提高了控制精度，降低了传感器信号延迟带来的影响。附图说明图1是本技术用于洁净室的精密温湿度空调系统所在洁净室的区域示意图。图2是本技术用于洁净室的精密温湿度空调系统的结构示意图。图3是图2的侧视图。图中的1是洁净室、2是均流层、3是上静压箱、4是回风夹道、5是下静压箱；6是精密新风空调机组、7是新风管、8是新风定风量阀、9是精密新风温湿度采集系统、10是精密控制阀组、11是高精度快速反应可变量负荷处理单元、12是变频压缩机、13是冷媒管、14是冷却水控制阀组、15是送风静压箱、16是送风管、17是渗透型均流风管、18是回风静压箱、19是送风定风量阀、20是电加热器、21是高精度可变量加湿系统、22是加湿器扩散管、23是精密循环风温湿度控制系统、24是第一低导热夹心彩钢板、25是第二低导热夹心彩钢板、26是低导热天棚维护结构、27是低导热地面维护结构、28是负荷可调整调节过滤单元、29是均流天花孔板系统、30是均流高架地板系统、31是负荷可调节均匀辐射照明系统。具体实施方式下面结合实施例和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。如图1所示，洁净室1所在区域的气流方向为上静压箱3→均流层2→洁净室1→下静压箱5→回风夹道4→上静压箱3，形成气流循环。如图2、3所示，一种用于洁净室的精密温湿度空调系统，其结构包括精密新风空调系统、精密冷热负荷调节系统、低导热围护结构和微孔式气流分布系统，其中，所述的精密新风空调系统包括精密新风空调机组6、新风管7、新风定风量阀8、精密新风温湿度采集系统9和精密控制阀组10，精密新风空调机组6通过新风管7连接洁净室1外侧的回风夹道4，精密新风温湿度采集系统9设置在新风管7与回风夹道4连接处，新风定风量阀8设置在新风管7中部，精密控制阀组10设置在精密新风空调机组6进风管上，工作时，从室外吸入空气并处理到室内温湿度状态点后，经低导热的新风管7送入洁净室回风夹道4内，并通过新风定风量阀8保持洁净室稳定正压；并通过实时接收精密新风温湿度采集系统9的新风温湿度信号以及同步调节精密控制阀组10，保证送入洁净室内的空气对洁净室温湿度的影响在可控范围内；所述的精密冷热负荷调节系统包括高精度快速反应可变量负荷处理单元11、变频压缩机12、冷媒管13、冷却水控制阀组14、送风静压箱15、送风管16、渗透型均流风管17、回风静压箱18、送风定风量阀19、电加热器20、高精度可变量加湿系统21、扩散管22、精密循环风温湿度控制系统23，高精度快速反应可变量负荷处理单元11设置在上静压箱3内、且内设冷盘管、并与回风静压箱18连接，回风静压箱18连接回风夹道4，变频压缩机12设置在回风夹道4中、高精本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于洁净室的精密温湿度空调系统，其特征包括精密新风空调系统、精密冷热负荷调节系统、低导热围护结构和微孔式气流分布系统，其中，/n所述的精密新风空调系统包括精密新风空调机组(6)、新风管(7)、新风定风量阀(8)、精密新风温湿度采集系统(9)和精密控制阀组(10)，精密新风空调机组(6)通过新风管(7)连接洁净室(1)外侧的回风夹道(4)，精密新风温湿度采集系统(9)设置在新风管(7)与回风夹道(4)连接处，新风定风量阀(8)设置在新风管(7)中部，精密控制阀组(10)设置在精密新风空调机组(6)进风管上，/n所述的精密冷热负荷调节系统包括高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)、变频压缩机(12)、冷媒管(13)、冷却水控制阀组(14)、送风静压箱(15)、送风管(16)、渗透型均流风管(17)、回风静压箱(18)、送风定风量阀(19)、电加热器(20)、高精度可变量加湿系统(21)、扩散管(22)、精密循环风温湿度控制系统(23)，高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)设置在上静压箱(3)内、且内设冷盘管、并与回风静压箱(18)连接，回风静压箱(18)连接回风夹道(4)，变频压缩机(12)设置在回风夹道(4)中、高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)同侧下方、且通过冷媒管(13)连接高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)，变频压缩机(12)通过冷却水控制阀组(14)与外部冷却水系统连接，送风静压箱(15)设置在高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)出口，送风静压箱(15)、送风管(16)和渗透型均流风管(17)依次连接，渗透型均流风管(17)与回风夹道(4)相通，送风管(16)各支路风管上设送风定风量阀(19)和电加热器(20)，高精度可变量加湿系统(21)通过扩散管(22)连接送风静压箱(15)，精密循环风温湿度控制系统(23)设置在洁净室(1)内墙上，/n所述的低导热围护结构包括第一低导热夹心彩钢板(24)、第二低导热夹心彩钢板(25)、低导热天棚维护结构(26)、低导热地面维护结构(27)，第一低导热夹心彩钢板(24)设置在洁净室(1)四周，第二低导热夹心彩钢板(25)设置在回风夹道(4)四周，第二低导热夹心彩钢板(25)厚度大于第一低导热夹心彩钢板(24)厚度，低导热天棚维护结构(26)粘贴在上静压箱(3)上方的楼板、混凝土梁、混凝土柱子表面，低导热地面维护结构(27)粘贴在下静压箱(5)下方的楼板表面；/n所述的微孔式气流分布系统包括负荷可调整调节过滤单元(28)、均流天花孔板系统(29)、均流高架地板系统(30)、负荷可调节均匀辐射照明系统(31)，负荷可调整调节过滤单元(28)安装在洁净室(1)上部并与上静压箱(3)和均流层(2)连通，均流天花孔板系统(29)设置在洁净室(1)与均流层(2)之间，负荷可调节均匀辐射照明系统(31)安装在均流天花孔板系统(29)上并避开送风孔位置，均流高架地板系统(30)设置在洁净室(1)底部与下静压箱(5)之间。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于洁净室的精密温湿度空调系统，其特征包括精密新风空调系统、精密冷热负荷调节系统、低导热围护结构和微孔式气流分布系统，其中，
所述的精密新风空调系统包括精密新风空调机组(6)、新风管(7)、新风定风量阀(8)、精密新风温湿度采集系统(9)和精密控制阀组(10)，精密新风空调机组(6)通过新风管(7)连接洁净室(1)外侧的回风夹道(4)，精密新风温湿度采集系统(9)设置在新风管(7)与回风夹道(4)连接处，新风定风量阀(8)设置在新风管(7)中部，精密控制阀组(10)设置在精密新风空调机组(6)进风管上，
所述的精密冷热负荷调节系统包括高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)、变频压缩机(12)、冷媒管(13)、冷却水控制阀组(14)、送风静压箱(15)、送风管(16)、渗透型均流风管(17)、回风静压箱(18)、送风定风量阀(19)、电加热器(20)、高精度可变量加湿系统(21)、扩散管(22)、精密循环风温湿度控制系统(23)，高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)设置在上静压箱(3)内、且内设冷盘管、并与回风静压箱(18)连接，回风静压箱(18)连接回风夹道(4)，变频压缩机(12)设置在回风夹道(4)中、高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)同侧下方、且通过冷媒管(13)连接高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)，变频压缩机(12)通过冷却水控制阀组(14)与外部冷却水系统连接，送风静压箱(15)设置在高精度快速反应...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈荣华，赖联兴，王建成，仲飞，宋成龙，侯冠宇，董连东，唐沈峰，张柯，
申请(专利权)人：中国电子系统工程第二建设有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32