【技术实现步骤摘要】
一种用于洁净室的精密温湿度空调系统
本技术涉及的是一种用于洁净室的精密温湿度空调系统,具体涉及一种用于高净化等级洁净室(要求温度波动范围在±0.05℃以内,湿度波动范围在±1%以内的百级洁净室)的单向流可调节精密温湿度控制系统,属于空调系统
技术介绍
精密温湿度空调系统是高精尖领域常用的环境控制手段,在产品加工周期温度湿度不波动的条件下,在不同温湿度环境下的性能或在特定温湿度条件下将材料加工为产品。用于测试产品材料检测,或产品加工。精密温湿度空调系统的控制精度和气流组织直接影响到洁净室温湿度的波动范围与均匀性,现有技术的精密温湿度空调系统主要采用以下两种形式:1、采用高效送风口非满布+普通照明灯具形式,新风与回风在机组内部混合,送风温湿度波动小,但气流为紊流,可能会导致洁净度不达标,且普通照明产生的二次负荷无法消除,不利于温度均匀性;2、采用风机过滤单元+普通照明灯具+DCC+MAU形式,气流为层流,但新风送入上静压箱后混风不充分,不利于温湿度均匀性;且风机过滤单元及普通照明灯具本身运行产生 ...
【技术保护点】
1.一种用于洁净室的精密温湿度空调系统,其特征包括精密新风空调系统、精密冷热负荷调节系统、低导热围护结构和微孔式气流分布系统,其中,/n所述的精密新风空调系统包括精密新风空调机组(6)、新风管(7)、新风定风量阀(8)、精密新风温湿度采集系统(9)和精密控制阀组(10),精密新风空调机组(6)通过新风管(7)连接洁净室(1)外侧的回风夹道(4),精密新风温湿度采集系统(9)设置在新风管(7)与回风夹道(4)连接处,新风定风量阀(8)设置在新风管(7)中部,精密控制阀组(10)设置在精密新风空调机组(6)进风管上,/n所述的精密冷热负荷调节系统包括高精度快速反应可变量负荷处理 ...
【技术特征摘要】
1.一种用于洁净室的精密温湿度空调系统,其特征包括精密新风空调系统、精密冷热负荷调节系统、低导热围护结构和微孔式气流分布系统,其中,
所述的精密新风空调系统包括精密新风空调机组(6)、新风管(7)、新风定风量阀(8)、精密新风温湿度采集系统(9)和精密控制阀组(10),精密新风空调机组(6)通过新风管(7)连接洁净室(1)外侧的回风夹道(4),精密新风温湿度采集系统(9)设置在新风管(7)与回风夹道(4)连接处,新风定风量阀(8)设置在新风管(7)中部,精密控制阀组(10)设置在精密新风空调机组(6)进风管上,
所述的精密冷热负荷调节系统包括高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)、变频压缩机(12)、冷媒管(13)、冷却水控制阀组(14)、送风静压箱(15)、送风管(16)、渗透型均流风管(17)、回风静压箱(18)、送风定风量阀(19)、电加热器(20)、高精度可变量加湿系统(21)、扩散管(22)、精密循环风温湿度控制系统(23),高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)设置在上静压箱(3)内、且内设冷盘管、并与回风静压箱(18)连接,回风静压箱(18)连接回风夹道(4),变频压缩机(12)设置在回风夹道(4)中、高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)同侧下方、且通过冷媒管(13)连接高精度快速反应可变量负荷处理单元(11),变频压缩机(12)通过冷却水控制阀组(14)与外部冷却水系统连接,送风静压箱(15)设置在高精度快速反应...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈荣华,赖联兴,王建成,仲飞,宋成龙,侯冠宇,董连东,唐沈峰,张柯,
申请(专利权)人:中国电子系统工程第二建设有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。