用于产品承载器的夹持装置、该产品承载器和具有该产品承载器的系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了夹持装置、具有夹持装置的产品承载器和具有产品承载器和布置在其中的产品的系统。用于产品承载器(2)的夹持装置(8)包括腔(9)。腔(9)的壁(10)至少部分地由可变形材料形成。夹持装置(8)安装在一个保持器(7)上。壁具有一个部分，通过将流体(11)进入腔，可使在该部分中的由可变形材料形成的所述壁与设置在产品承载器中的产品接触。产品承载器包括与所述夹持装置相对地设置的至少一个杆(5)，尤其是具有多个齿状突起部(6)的杆(5)。借助夹持装置，设置在产品承载器中的产品可以被夹持在杆和夹持装置(8)之间。特别地，产品是基片，特别是晶圆。

【技术实现步骤摘要】
用于产品承载器的夹持装置、该产品承载器和具有该产品承载器的系统
本技术涉及用于一种产品承载器的一种夹持装置和带有夹持装置的产品承载器。本技术还涉及一种具有产品承载器和设置在产品承载器中的产品的系统。
技术介绍
当输送和/或处理在一个产品承载器中的产品(诸如在基片承载器中的基片)时，产品会在产品承载器中移动，甚至可能脱离产品承载器。如果该产品被一种液体润湿，在某些情况下产品承载器中的滑的产品可能由于毛细作用力而粘在一起。为了减小产品在产品承载器中的移动，可以在产品承载器上设置机械止动器或压紧装置。这样做的缺点是，布置在产品承载器中的产品可能在某些情况下被止动器或压紧装置施加机械负荷和/或损坏。此外，止动器或压紧装置通常需要对布置在产品承载器中的产品提供一定量的游隙，使得即使在存在止动器或压紧装置的情况下，产品仍然可以在一定程度上进行运动。这可能导致上述一些问题持续存在，特别是在薄的产品的情况下。此外，止动器或压紧装置可能在产品移动期间造成产品的划伤，特别是在产品的边缘处。
技术实现思路
本技术的目的是在运输和/或处本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于产品承载器的夹持装置，包括一个腔(9)，该腔(9)的壁(10)至少部分地由可变形材料形成，其中所述产品承载器(2)是基片承载器。/n

【技术特征摘要】
20180307 DE 102018105296.0;20190201 DE 202019100601.用于产品承载器的夹持装置，包括一个腔(9)，该腔(9)的壁(10)至少部分地由可变形材料形成，其中所述产品承载器(2)是基片承载器。


2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：
流体(11)可被引入腔(9)中。


3.根据权利要求1或2所述的夹持装置，其特征在于：
可变形材料的形状可通过将流体(11)引入腔(9)中而被改变。


4.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：
可变形材料是可拉伸和/或弹性的。


5.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：
可变形材料是弹性体或含有弹性体。


6.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：
腔(9)的壁(10)的至少30％由可变形材料形成。


7.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：
腔(9)的壁(10)的至少50％由可变形材料形成。


8.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：
腔(9)的壁(10)的至少80％由可变形材料形成。


9.产品承载器，其特征在于包括根据前述权利要求之一所述的夹持装置(8)。


10.根据权利要求9所述的产品承载器，其特征在于：
夹持装置(8)安装在一个保持器(7)上。


11.根据权利要求9所述的产品承载器，其特征在于：
所述夹持装置(8)以其纵向方向(12)沿着产品承载器(2)的纵向方向的方式延伸。


12.根据权利要求9所述的产品承载器，其特征在于：
夹持装置(8)沿着产品承载器(2)的纵向方向上延伸超过产品承载器(2)的长度(L)的至少60％。


13.根据权利要求9所述的产品承载器，其特征在于：
夹持装置(8)沿着产品承载器(2)的纵向方向上延伸超过产品承载器(2)的长度(L)的至少80％。


14.根据权利要求9所述的产品承载器，其特征在于：
夹持装置(8)沿着产品承载器(2)的纵向方向上延伸等于产品承载器(2)的整个长度(L)。


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【专利技术属性】
技术研发人员：托比亚斯·斯拜思，
申请(专利权)人：雷纳技术有限责任公司，
类型：新型
国别省市：德国;DE