一种成像光谱测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种成像光谱测量装置，尤其是一种对空间目标进行探测的成像光谱测量装置。本实用新型专利技术的技术解决方案是：本实用新型专利技术为一种成像光谱测量装置，该装置包括光谱成像相机，还包括有与光谱成像相机连接的光路测量补偿装置，该光路测量补偿装置包括反射镜和可变形镜ＤＭ，可变形镜ＤＭ设置在光谱成像相机的入射光路上，反射镜设置在可变形镜ＤＭ的入射光路上。本实用新型专利技术的目的在于提供一种成像光谱测量装置，解决背景技术中大气抖动、大气散射等使测量结果误差大的技术问题。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种成像光谱测量装置，尤其是一种对空间目标进行探 测的成像光谱测量装置。
技术介绍
在对空间目标的探测和侦察中，需要用光谱成像相机测量目标的光谱信 息。然而将现有的光谱成像相机直接应用到空间目标时，由于大气抖动、大 气散射等作用使得光波的波阵面受到扭曲，测量得到的目标光谱信息中存在 较大的误差。并且在光谱成像相机的使用过程中，往往还忽视了相机本身由 于制造、装调等生产原因产生的测量误差。上述测量过程中形成的误差用现 在的计算模型很难进行模拟，而且也无法通过软件方法进行修复。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种成像光谱测量装置，其解决了
技术介绍
中大气抖动、大气散射等使测量结果误差大的技术问题。本技术的技术解决方案是本技术为一种成像光谱测量装置， 包括光谱成像相机，其特殊之处在于该装置还包括有与光谱成像相机连接 的光路测量补偿装置，该光路测量补偿装置包括反射镜和可变形镜DM，可变形镜DM设置在光谱成像相机的入射光路上，反射镜设置在可变形镜DM 的入射光路上。上述光路测量补偿装置还包括有DM驱动回路、波相差测量单元、窄带 滤光片和半透半反射镜，所述可变形镜DM通过DM驱动回路与波相差测量 单元连接，所述半透半反射镜设置在光谱成像相机的出射光路上，所述窄带 滤光片和波相差测量单元依次设置在半透半反射镜的反射光路上。上述光谱成像相机的出射光路上设置有光谱信息接收单元。上述反射镜的入射光路上设置有准直镜。上述光谱成像相机为色散型光谱相机或干涉型光谱成像相机或者其他 分光类型的光谱相机。上述可变形镜DM是可变形平面镜或双压电晶片镜或可变形的次镜、膜 镜或液晶镜。上述DM驱动回路为压电式DM驱动回路或电致伸縮式DM驱动回路 或磁致伸縮式DM驱动回路。上述波相差测量单元为干涉仪或传感器。上述干涉仪为点衍射干涉仪或迈克马则干涉仪或横向剪切干涉仪。上述传感器为波阵面传感器或棱锥波阵面传感器或标准波阵面传感器。本技术具有以下优点1、 光谱测量的精度高。本技术将光路补偿技术应用于现在的光谱 成像相机中，能够很好的解决大气抖动以及光路加工缺陷对测量目标光程 差的影响，从而消除测量目标光谱的误差，提高光谱测量的精度。2、 可进行波相差的测量。本技术的光谱成像相机中，使用了窄带 滤光片，能够从目标中获取准单色光，因此可进行波相差的测量。3、 可实时消除大气抖动等原因对测量结果造成的影响。本技术的 光谱成像相机的光路中采用了半透半反射镜，能够对光路进行分光，在测量 目标光谱信息的同时，还能够进行波相差的测量，实时的改变DM的形状， 从而能够对波相差进行实时的补偿，使得该相机能够实时消除大气抖动等原 因对测量结果造成的影响。4、 工作条件要求低。由于本技术可实时消除大气抖动等原因对测 量结果造成的影响，^ 以在保证较高测量精度的条件下，本技术使用的 工作环境的要求就大大降低了。附图说明图1是本技术的结构原理图。具体实施方式参见图l，本技术包括光谱成像相机5，与光谱成像相机5连接的 光路测量补偿装置，该光路测量补偿装置包括反射镜3和可变形镜DM2 (Deformable mirror),可变形镜DM2设置在光谱成像相机5的入射光路上， 反射镜3设置在可变形镜DM2的入射光路上，通过调整可变形镜DM2,即 可实现光路中光程差的补偿，从而消除测量目标光谱的误差，提高光谱测量的精度。光路测量补偿装置中还包括有DM驱动回路1、波相差测量单元6、 窄带滤光片4和半透半反射镜7，可变形镜DM2通过DM驱动回路1与波 相差测量单元6连接，半透半反射镜7设置在光谱成像相机5的出射光路上， 窄带滤光片4和波相差测量单元6依次设置在半透半反射镜7的反射光路上。 半透半反射镜7能够对光谱成像相机5出射光路进行分光，从光谱成像相机 5出射的光被分为两路， 一路通过半透半反射镜7透射进入光谱信息接收单 元8，另一通过半透半反射镜7反射通过窄带滤光片4进入波相差测量单元 6，通过波相差测量单元6，可以对大气等原因造成的波相差的大小进行测量， 根据波相差进行可变形镜DM2变形量的计算，然后由DM驱动回路1驱动 调整可变形镜DM2，即可实现实时补偿光程差。为了提高系统的调制传递 函数，在反射镜3的入射光路上还可以增加准直光路。其中光谱成像相机5可采用色散型光谱相机或干涉型光谱成像相机或者 其他分光形式的光谱成像相机。目标发出或是反射的光能量通过光谱成像相 机5，就可以的到目标的光谱信息。可变形镜DM2可以是薄的可变形平面镜、也可以是双压电晶片镜，还 可以采用可变形的次镜、膜镜以及液晶镜等。波相差测量单元6可采用干涉法或光传输的方法来测量波相差，如采用 干涉法，波相差测量单元6可采用点衍射干涉仪PDI (Point Diffiaction Interferometer);迈克马则干涉仪(Mach-Zehnder Interferometer);横向剪 切干涉仪(Lateral Shear Interferometer)等。如釆用光传输的方法，波相差 测量单元6可采用Shack-Hartmann波阵面传感器、棱锥波阵面传感器、标 准波阵面传感器等。可变形镜DM2的驱动方式主要可有压电式Piezoelectric (PZT)，电 致伸缩式Electrostrictive (PMN)，磁致伸縮式agnetostrictive (Terfenol-D) 等。光谱信息接收单元8可采用CCD探测器。权利要求1、一种成像光谱测量装置，包括光谱成像相机，其特征在于该装置还包括有与光谱成像相机连接的光路测量补偿装置，该光路测量补偿装置包括反射镜和可变形镜DM，所述可变形镜DM设置在光谱成像相机的入射光路上，所述反射镜设置在可变形镜DM的入射光路上。2、 根据权利要求1所述的一种成像光谱测量装置，其特征在于所述 光路测量补偿装置还包括有DM驱动回路、波相差测量单元、窄带滤光片和 半透半反射镜，所述可变形镜DM通过DM驱动回路与波相差测量单元连接， 所述半透半反射镜设置在光谱成像相机的出射光路上，所述窄带滤光片和波 相差测量单元依次设置在半透半反射镜的反射光路上。3、 根据权利要求1所述的一种成像光谱测量装置，其特征在于所述 光谱成像相机的出射光路上设置有光谱信息接收单元。4、 根据权利要求1所述的一种成像光谱测量装置，其特征在于所述 反射镜的入射光路上设置有准直镜。5、 根据权利要求1或2或3或4所述的一种成像光谱测量装置，其特 征在于所述光谱成像相机为色散型光谱相机或干涉型光谱成像相机。6、 根据权利要求1或2或3或4所述的一种成像光谱测量装置，其特 征在于所述可变形镜DM是可变形平面镜或双压电晶片镜或可变形的次 镜、膜镜或液晶镜。7、 根据权利要求2或3或4所述的一种成像光谱测量装置，其特征在 于所述DM驱动回路为压电式DM驱动回路或电致伸縮式DM驱动回路 或磁致伸缩式DM驱动回路。8、 根据权利要求2或3或4所述的一种成像光谱测量装置，其特征在 于所述波相差测量单元为干涉仪或传感器。9、 根据权利要求8所述的一种成像光谱测量装置，其特征在于所述 干涉仪为点衍射干涉仪或迈克马则干涉仪或横向剪切干涉仪。10、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成像光谱测量装置，包括光谱成像相机，其特征在于：该装置还包括有与光谱成像相机连接的光路测量补偿装置，该光路测量补偿装置包括反射镜和可变形镜ＤＭ，所述可变形镜ＤＭ设置在光谱成像相机的入射光路上，所述反射镜设置在可变形镜ＤＭ的入射光路上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：相里斌，李霞，赵建科，袁艳，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：87[中国|西安]