半导体设备的配置文件修改方法及装置制造方法及图纸

本公开实施例公开了一种半导体设备的配置文件修改方法及装置。其中，半导体设备的配置文件修改方法，包括：获取预先设置的配置文件，并将其转换为第一解析文件；从所述第一解析文件中获取标准配置项；响应于配置操作，对相应的标准配置项进行修改；设置关联标准配置项的状态为屏蔽状态，所述关联标准配置项为与修改的标准配置项互斥的标准配置项；基于所述修改的标准配置项得到修改后的配置文件；将所述修改后的配置文件，同步加载到指定设备端。根据用户的操作，对标准配置项进行修改，从而自动完成对配置文件的修改，提升修改效率，实现一次性修改设备端控制程序与用户界面程序两端的配置文件，提高了修改准确性。

【技术实现步骤摘要】
半导体设备的配置文件修改方法及装置
本公开属于半导体设备领域，更具体地，涉及一种半导体设备的配置文件修改方法及装置。
技术介绍
半导体生产设备的软件控制系统，首先需具备稳定、可靠的控制功能。设备的软件控制系统采用分布式的上下位机，以网络通信方式传输数据与控制命令。其中靠近用户的一端，称为用户界面或者界面控制程序。靠近设备的另一端，称为设备端控制程序。在软件系统的设计中，为支持设备多种模块的通用性以及设备的客户化，提供灵活的配置方式，以使应用程序实现最大程度的复用，会基于Xml格式文件存储全部可配置内容，这些Xml文件在应用程序启动或运行时被读取，由此使应用程序实现完整的设备模块构建和设备控制。用户通过修改配套的配置文件，就可以实现软件控制系统对设备的控制功能改变，由此实现对设备的不同控制要求。同时，随着设备的越来越集成化，对软件控制系统也要求更好的集成，相应地需要软件系统具有更好的兼容、配置和扩展性。此时，相比于单一类型设备的配置文件修改操作，集成化设备的软件控制系统的配置文件修改操作，成为一项更为重要和复杂的工作，不仅产生更大工作量，也随着为适应不同客户端配置变更频度增加而要求配置文件修改操作的准确性。而随着软件控制系统的集成，使配套的配置文件内容显著增多，对完全依赖于手动方式修改配置文件是个挑战。在实现本专利技术过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题：设备集成化后，由于兼容性需要，相应的集成化软件控制应用代码，包含了多种设备类型的控制方式。通过修改集成后的配置文件，就可以实现针对不同客户端进行具体设备类型配置。配置文件中，对应于集成化的控制应用代码，也包含多种设备类型的控制方式的配置内容。原来只需要分别在各自类型独立的应用代码范围内修改的配套的配置文件，现在面临全部需要在配置文件中完成修改。在对集成化的配置文件修改时，集成化的配置文件包含了同一类配置项中全部可选择控制方式的配置内容，修改指定配置项的配置值后，还需要对该一类配置项中其他相关配置值进行设置。例如，在Xml文档中需将与指定配置项互斥的配置值屏蔽，一种屏蔽方式是通过将XmlDocument对象的XmlNode类型由XmlElement转换为XmlComment来实现。任何修改之前，配置文件中包含了全部可选控制方式的配置内容，因此配置文件不一定是应用程序可以直接启用。因此，需要互斥处理。由于界面控制程序与设备端控制程序分布式部署，当修改完成一端的配置文件后，需要相应地修改另外一端的配置文件中对应配置项，相同的修改过程先后需要在两端总共执行两次，造成工作量增加了一倍，相应地修改过程中带来的错误也就增加。相当于将修改过程在工作量复制一倍而准确性相应地下降。两处的配置文件分别修改完成后，需要手动启动设备端控制程序，启动完成后手动启动界面控制程序。在启动界面控制程序的过程中，由于两端的修改过程均为手动修改，手动修改过程中可能导致两处修改存在了差异，而需要通过多次反复启动尝试发现匹配差异的位置，总体上降低了修改过程中一次性达到两端配置内容完全匹配的效率。综上所述现有技术手动修改存在以下问题：(1)修改效率低：修改的工作量增加一倍；(2)修改准确程度低：手动修改方式对于错误的引入随着修改针对的内容增多而上升；尤其是针对不同应用的各项配置项之间可能存在逻辑关联；同时这种分别修改的方式，不利于在一次修改过程中两处修改内容的匹配性保持；(3)维护性低：手动修改方式下需要软件专业人员操作，制约了不同客户端设备类型配置以及各客户端设备变更配置时所需的灵活性与及时性。
技术实现思路
有鉴于此，本公开实施例提供了一种半导体设备的配置文件修改方法及装置，至少解决现有技术中修改效率低、准确程度低且维护性低的问题。第一方面，本公开实施例提供了一种半导体设备的配置文件修改方法，包括：获取预先设置的配置文件，并将其转换为第一解析文件；从所述第一解析文件中获取标准配置项；响应于配置操作，对相应的标准配置项进行修改；设置关联标准配置项的状态为屏蔽状态，所述关联标准配置项为与修改的标准配置项互斥的标准配置项；基于所述修改的标准配置项得到修改后的配置文件；将所述修改后的配置文件，同步加载到指定设备端。可选的，所述基于所述修改的标准配置项得到修改后的配置文件，包括：基于所述修改的标准配置项得到第二解析文件；将所述第二解析文件转换为修改后的配置文件。可选的，所述响应于配置操作，包括：获取用户界面的配置操作信息，所述配置操作信息包括修改信息、禁用信息或启动信息；基于所述配置操作信息生成相应配置操作指令。可选的，所述从所述第一解析文件中获取标准配置项的步骤之后，包括：提取标准配置项的配置信息；将所述配置信息映射到图形化的用户界面。可选的，所述对相应的标准配置项进行修改，包括：响应于配置操作，查找相应标准配置项中的配置项及配置值；对所述配置项及配置值进行修改。可选的，所述从所述第一解析文件中获取标准配置项为：基于标准配置项的标识符，从所述第一解析文件中获取标准配置项的全部内容或者部分内容。可选的，所述标识符：包括第一标识符和第二标识符；所述第一标识符，用于标识一个标准配置项的全部内容；所述第二标识符，用于标识一个标准配置项中能查询的节点对象。可选的，基于所述第一标识符获取标准配置项的操作对象为区块：所述区块包括相同名称的一组连续起止标志符之间的内容；和/或基于所述第二标识符获取标准配置项的操作对象为：相同查询路径的全部节点对象集合为一个对象。可选的，所述指定设备端至少包括：设备控制端和用户终端。第二方面，本公开实施例还提供了一种半导体设备的配置文件修改装置，所述装置包括：转换模块：用于获取预先设置的配置文件，并将其转换为第一解析文件；获取模块：用于从所述第一解析文件中获取标准配置项；修改模块：用于响应于配置操作，对相应的标准配置项进行修改；屏蔽模块：用于设置关联标准配置项的状态为屏蔽状态，所述关联标准配置项为与修改的标准配置项互斥的标准配置项；配置文件模块：用于基于所述修改的标准配置项得到修改后的配置文件；加载模块：用于将所述修改后的配置文件，同步加载到指定设备端。本公开通过将配置文件转换为解析文件，并在解析文件中获取标准配置项，并根据用户的操作，对标准配置项进行修改，从而自动完成对配置文件的修改，提升修改效率，实现一次性修改设备端控制程序与用户界面程序两端的配置文件，提高了修改准确性。通过用户界面的操作，使得修改配置工作简单化，不需要复杂的人为操作，提升了维护性。本公开的其它特征和优点将在随后具体实施方式部分予以详细说明。附图说明通过结合附图对本公开示例性实施方式进行更详细的描述，本公开的上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体设备的配置文件修改方法，其特征在于，包括：/n获取预先设置的配置文件，并将其转换为第一解析文件；/n从所述第一解析文件中获取标准配置项；/n响应于配置操作，对相应的标准配置项进行修改；/n设置关联标准配置项的状态为屏蔽状态，所述关联标准配置项为与修改的标准配置项互斥的标准配置项；/n基于所述修改的标准配置项得到修改后的配置文件；/n将所述修改后的配置文件，同步加载到指定设备端。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备的配置文件修改方法，其特征在于，包括：
获取预先设置的配置文件，并将其转换为第一解析文件；
从所述第一解析文件中获取标准配置项；
响应于配置操作，对相应的标准配置项进行修改；
设置关联标准配置项的状态为屏蔽状态，所述关联标准配置项为与修改的标准配置项互斥的标准配置项；
基于所述修改的标准配置项得到修改后的配置文件；
将所述修改后的配置文件，同步加载到指定设备端。


2.根据权利要求1所述的半导体设备的配置文件修改方法，其特征在于，所述基于所述修改的标准配置项得到修改后的配置文件，包括：
基于所述修改的标准配置项得到第二解析文件；
将所述第二解析文件转换为修改后的配置文件。


3.根据权利要求1所述的半导体设备的配置文件修改方法，其特征在于，所述响应于配置操作，包括：
获取用户界面的配置操作信息，所述配置操作信息包括修改信息、禁用信息或启动信息；
基于所述配置操作信息生成相应配置操作指令。


4.根据权利要求3所述的半导体设备的配置文件修改方法，其特征在于，所述从所述第一解析文件中获取标准配置项的步骤之后，包括：
提取标准配置项的配置信息；
将所述配置信息映射到图形化的用户界面。


5.根据权利要求1所述的半导体设备的配置文件修改方法，其特征在于，所述对相应的标准配置项进行修改，包括：
响应于配置操作，查找相应标准配置项中的配置项及配置值；
对所述配置项及配置值进行修改。


6.根据权利要求1所述的半导体...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷花，杨洋，相会凤，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11