【技术实现步骤摘要】
功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构及其安装标定方法
本专利技术一种功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构及其安装标定方法属于半导体器件测试
技术介绍
随着MEMS技术和半导体技术的不断发展，小型化高功率器件的产量逐年攀升。很多器件要在高电压和高温度环境下进行工作。确保这些器件能够在如此恶劣环境下正常工作，需要用探针卡对其性能进行测试。功率器件测试的一项重要指标是击穿电压，该电压可以高达几千伏，在如此高电压下进行测试，探针卡的探针之间就可能产生非正常放电现象，瞬间就可以损坏测试设备以及被测晶圆。功率器件测试的另一项重要指标是工作温度，一般来讲，测试芯片要求在-40摄氏度到125摄氏度之间均能够正常工作，而汽车领域中的部分芯片，要求其能够在180摄氏度以上的环境下正常工作，那么我们就需要对其在180摄氏度以上的工作情况进行测试。由于探针卡各部件之间存在热膨胀系数差异，从室温到180摄氏度以上的温度变化会造成探针卡的翘曲变形和探针的位置漂移，这不仅降低了测试效果和效率，严重时甚至造成测试失败、探针卡损伤等问题...
【技术保护点】
1.功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构，其特征在于，在进气系统（1）上设置有泄压孔（1-3），所述泄压孔（1-3）内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件（1-5），所述调整件（1-5）包括截面为T形、中间具有通孔的接触端（1-5-1），环形磁铁（1-5-2）和上磁铁固定端（1-5-3），所述接触端（1-5-1）宽部侧壁套有螺纹，用于旋拧在泄压孔（1-3）内壁，窄部设置有环形磁铁（1-5-2），窄部侧壁套有螺纹，所述上磁铁固定端（1-5-3）内壁攻有螺纹，用于旋拧在接触端（1-5-1）窄部侧壁，接触端（1-5-1）宽部下方与上磁铁固定端（1-5-3）上方将环形磁铁（1-5-2）固定；所...
【技术特征摘要】
1.功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构，其特征在于，在进气系统（1）上设置有泄压孔（1-3），所述泄压孔（1-3）内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件（1-5），所述调整件（1-5）包括截面为T形、中间具有通孔的接触端（1-5-1），环形磁铁（1-5-2）和上磁铁固定端（1-5-3），所述接触端（1-5-1）宽部侧壁套有螺纹，用于旋拧在泄压孔（1-3）内壁，窄部设置有环形磁铁（1-5-2），窄部侧壁套有螺纹，所述上磁铁固定端（1-5-3）内壁攻有螺纹，用于旋拧在接触端（1-5-1）窄部侧壁，接触端（1-5-1）宽部下方与上磁铁固定端（1-5-3）上方将环形磁铁（1-5-2）固定；所述泄压孔（1-3）内壁还旋拧有阀门件（1-4），所述阀门件（1-4）包括截面为倒T形、中间具有上窄下宽阶梯通孔的连接件（1-4-1），所述连接件（1-4-1）窄部侧壁套有螺纹，用于旋拧在泄压孔（1-3）内壁，所述阶梯通孔的宽部放置有圆形磁铁（1-4-2），所述圆形磁铁（1-4-2）上方粘贴有密封垫（1-4-3），侧壁设置有豁口，底部设置有豁口，侧壁豁口和底部豁口相连，阶梯通孔的宽部内壁攻有螺纹，并旋拧有中间具有通孔的遮挡环（1-4-4），圆形磁铁（1-4-2）在环形磁铁（1-5-2）的吸引和压缩空气的推动下，能够在遮挡环（1-4-4）上方上下运动。
2.功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的安装方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤a、将调整件（1-5）倒置，将环形磁铁（1-5-2）套在接触端（1-5-1）上，并旋拧磁铁固定端（1-5-3），将环形磁铁（1-5-2）固定；
步骤b、将调整件（1-5）正置，调整件（1-5）的接触端（1-5-1）旋拧入泄压孔（1-3）中；
步骤c、将阀门件（1-4）倒置，将下方粘贴有密封垫（1-4...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵梁玉，王艾琳，王兴刚，周明，
申请(专利权)人：强一半导体苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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