2DMEMS探针卡用测试装置及其气动结构和调节结构制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种2DMEMS探针卡用测试装置及其气动结构和调节结构，所述测试装置包括设备本体、工作台、支撑柱、滚轮、气动结构和调节结构，气动结构包括气缸、复位弹簧、导向柱和导向孔；调节结构包括推块、通槽、固定块、夹紧弹簧和安装腔。气缸工作能带动安装块在水平方向上运动，以此来调节两个固定块之间的距离，从而根据探针卡的尺寸来进行调整，扩大了使用范围，且气缸工作时，会使得复位弹簧被压缩，在复位弹簧的反作用力下能够使得安装块快速复位；可直接将探针卡卡合在两个固定块之间，此时固定块会向安装腔内部运动，使得夹紧弹簧被压缩，在探针卡的端面卡合在固定槽内部时，夹紧弹簧的反作用可将探针卡进行夹持固定。

【技术实现步骤摘要】
2DMEMS探针卡用测试装置及其气动结构和调节结构
本技术涉及一种探针卡测试装置，具体是一种2DMEMS探针卡用测试装置及其气动结构和调节结构，属于探针卡应用

技术介绍
探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试；将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程，因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。在现有技术中，探针卡测试装置在使用时需要对探针卡进行固定，现有的固定结构的通用性不足，不能够根据探针卡的尺寸进行灵活使用，且目前的固定结构在安装与拆卸探测卡时都较为麻烦，工作效率较低。因此，针对上述问题提出一种2DMEMS探针卡用测试装置及其气动结构和调节结构。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种2DMEMS探针卡用测试装置及其气动结构和调节结构。本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种2DMEMS探针卡用测试装置，包括从上到下依次安装的设备本体、安装架、气动结构、安装块、调节结构、支撑柱和滚轮；所述气动结构包括气缸、导向柱和导向孔，所述导向孔开设在所述安装架的两端端面，所述导向柱贯穿所述导向孔，且所述导向柱的末端与所述安装块的外侧侧面固接；所述安装架的外侧设有复位弹簧，且所述复位弹簧套接于所述导向柱表面；所述气缸固接在所述安装架的外端面，所述气缸的输出杆末端贯穿所述安装架的外端面，且所述气缸的输出杆末端与所述安装块的外侧侧面固接；所述调节结构包括推块、通槽、固定块和安装腔，所述安装腔开设在所述安装块的内部，所述固定块一侧卡合在所述安装腔内部，且所述固定块一侧与所述安装腔内侧壁之间固接有夹紧弹簧；所述通槽开设在所述安装块顶端，所述推块卡合在所述通槽内部，且所述推块底端与所述固定块顶端固接。优选的，所述安装架的底端开有安装孔，且四个所述安装架呈矩阵分布在所述安装架底端。优选的，所述设备本体的顶端设有工作台，且所述安装通过螺栓所述工作台固定连接。优选的，所述设备本体的底端固接有所述支撑柱，且所述滚轮与所述支撑柱底端转动连接。优选的，所述固定块的数目为两个，对称分布在所述安装架内部，且所述固定块的外侧侧面开有固定槽。优选的，所述通槽的内侧壁上开有导向槽，所述推块的两侧侧面均固接有导向块，且所述导向块与所述导向槽滑动连接。一种2DMEMS探针卡用测试装置用气动结构，包括气缸、导向柱和导向孔，所述导向孔开设在所述安装架的两端端面，所述导向柱贯穿所述导向孔，且所述导向柱的末端与所述安装块的外侧侧面固接；所述安装架的外侧设有复位弹簧，且所述复位弹簧套接于所述导向柱表面；所述气缸固接在所述安装架的外端面，所述气缸的输出杆末端贯穿所述安装架的外端面，且所述气缸的输出杆末端与所述安装块的外侧侧面固接。一种2DMEMS探针卡用测试装置用调节结构，包括推块、通槽、固定块和安装腔，所述安装腔开设在所述安装块的内部，所述固定块一侧卡合在所述安装腔内部，且所述固定块一侧与所述安装腔内侧壁之间固接有夹紧弹簧；所述通槽开设在所述安装块顶端，所述推块卡合在所述通槽内部，且所述推块底端与所述固定块顶端固接。本技术的有益效果是：1、本技术可通过气缸工作来带动安装块在水平方向上运动，以此来调节两个固定块之间的距离，从而根据探针卡的尺寸来进行调整，扩大了使用范围，且气缸工作时，会使得复位弹簧被压缩，在复位弹簧的反作用力下能够使得安装块快速复位；2、本技术可直接将探针卡卡合在两个固定块之间，此时固定块会向安装腔内部运动，使得夹紧弹簧被压缩，在探针卡的端面卡合在固定槽内部时，夹紧弹簧的反作用可将探针卡进行夹持固定，在拆卸探针卡时，可直接推动推块，将其进行拆卸，使用时较为简单。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1为本技术整体结构示意图；图2为本技术安装架内部结构示意图；图3为本技术气动结构示意图；图4为本技术调节结构示意图。图中：1、设备本体，2、安装架，3、安装块，4、气缸，5、导向柱，6、复位弹簧，7、推块，8、通槽，9、导向槽，10、固定块，11、固定槽，12、安装孔，13、导向孔，14、安装腔，15、夹紧弹簧，16、导向块，17、工作台，18、支撑柱，19、滚轮。具体实施方式为使得本技术的技术目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而非全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。具体实施例一请参阅图1-4所示，一种2DMEMS探针卡用测试装置，包括从上到下依次安装的设备本体1、安装架2、气动结构、安装块3、调节结构、支撑柱18和滚轮19；所述气动结构包括气缸4、导向柱5和导向孔13，所述导向孔13开设在所述安装架2的两端端面，所述导向柱5贯穿所述导向孔13，且所述导向柱5的末端与所述安装块3的外侧侧面固接；所述安装架2的外侧设有复位弹簧6，且所述复位弹簧6套接于所述导向柱5表面；所述气缸4固接在所述安装架2的外端面，所述气缸4的输出杆末端贯穿所述安装架2的外端面，且所述气缸4的输出杆末端与所述安装块3的外侧侧面固接；所述调节结构包括推块7、通槽8、固定块10和安装腔14，所述安装腔14开设在所述安装块3的内部，所述固定块10一侧卡合在所述安装腔14内部，且所述固定块10一侧与所述安装腔14内侧壁之间固接有夹紧弹簧15；所述通槽8开设在所述安装块3顶端，所述推块7卡合在所述通槽8内部，且所述推块7底端与所述固定块10顶端固接。所述安装架2的底端开有安装孔12，且四个所述安装架2呈矩阵分布在所述安装架2底端，便于所述安装架2的安装；所述设备本体1的顶端设有工作台17，且所述安装通过螺栓所述工作台1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种2DMEMS探针卡用测试装置，其特征在于：包括从上到下依次安装的设备本体（1）、安装架（2）、气动结构、安装块（3）、调节结构、支撑柱（18）和滚轮（19）；/n所述气动结构包括气缸（4）、导向柱（5）和导向孔（13），所述导向孔（13）开设在所述安装架（2）的两端端面，所述导向柱（5）贯穿所述导向孔（13），且所述导向柱（5）的末端与所述安装块（3）的外侧侧面固接；所述安装架（2）的外侧设有复位弹簧（6），且所述复位弹簧（6）套接于所述导向柱（5）表面；所述气缸（4）固接在所述安装架（2）的外端面，所述气缸（4）的输出杆末端贯穿所述安装架（2）的外端面，且所述气缸（4）的输出杆末端与所述安装块（3）的外侧侧面固接；/n所述调节结构包括推块（7）、通槽（8）、固定块（10）和安装腔（14），所述安装腔（14）开设在所述安装块（3）的内部，所述固定块（10）一侧卡合在所述安装腔（14）内部，且所述固定块（10）一侧与所述安装腔（14）内侧壁之间固接有夹紧弹簧（15）；所述通槽（8）开设在所述安装块（3）顶端，所述推块（7）卡合在所述通槽（8）内部，且所述推块（7）底端与所述固定块（10）顶端固接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种2DMEMS探针卡用测试装置，其特征在于：包括从上到下依次安装的设备本体（1）、安装架（2）、气动结构、安装块（3）、调节结构、支撑柱（18）和滚轮（19）；
所述气动结构包括气缸（4）、导向柱（5）和导向孔（13），所述导向孔（13）开设在所述安装架（2）的两端端面，所述导向柱（5）贯穿所述导向孔（13），且所述导向柱（5）的末端与所述安装块（3）的外侧侧面固接；所述安装架（2）的外侧设有复位弹簧（6），且所述复位弹簧（6）套接于所述导向柱（5）表面；所述气缸（4）固接在所述安装架（2）的外端面，所述气缸（4）的输出杆末端贯穿所述安装架（2）的外端面，且所述气缸（4）的输出杆末端与所述安装块（3）的外侧侧面固接；
所述调节结构包括推块（7）、通槽（8）、固定块（10）和安装腔（14），所述安装腔（14）开设在所述安装块（3）的内部，所述固定块（10）一侧卡合在所述安装腔（14）内部，且所述固定块（10）一侧与所述安装腔（14）内侧壁之间固接有夹紧弹簧（15）；所述通槽（8）开设在所述安装块（3）顶端，所述推块（7）卡合在所述通槽（8）内部，且所述推块（7）底端与所述固定块（10）顶端固接。


2.根据权利要求1所述的一种2DMEMS探针卡用测试装置，其特征在于：所述安装架（2）的底端开有安装孔（12），且四个所述安装架（2）呈矩阵分布在所述安装架（2）底端。


3.根据权利要求1所述的一种2DMEMS探针卡用测试装置，其特征在于：所述设备本体（1）的顶端设有工作台（17），且所述安装通过螺栓所述工作台（17）固定连接。


4.根据权利要求1所述的一种2DMEMS探针卡用测试装置，其特征在于：所述设备本体（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明星，黄海军，
申请(专利权)人：强一半导体苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32