一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种探针台用探针卡固定机构，包括框体、夹板、夹紧机构和调节机构；夹紧机构包括电机、丝杠、延伸板、导板、安装板、限位板、托板、齿板、固定板、转动杆、第一弹簧和压板；调节机构包括齿轮、转轴、手柄、棘轮、棘爪座、螺杆、螺母、棘爪和第二弹簧。本实用新型专利技术结构简单，通过夹板的移动方便对探针卡进行夹紧，并通过限位板的设计方便对圆形结构的探针卡限位，有利于探针卡的固定以及定位，两个夹板的同时移动方便对不同大小的探针卡进行固定；本实用新型专利技术通过托板的设计方便对探针卡进行支撑，并通过夹紧后托板和压板的同时移动方便探针卡与晶圆的接触，压板的移动也提高探针卡下压时的稳定性，避免探针卡发生移动。

【技术实现步骤摘要】
一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构
本技术涉及一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构，属于探针卡应用

技术介绍
探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程，因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。目前的探针卡是在芯片封装前进行测试，发现有不良品存在晶圆当中即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本，对于探针卡的固定机构来说，由于芯片进行测试时需要使用探针卡上的探针与晶圆接触，在进行探针卡的移动时不利于对探针卡进行固定，进行不同大小的探针卡固定时也增加了操作难度；在将探针卡压合在晶圆上时，也可能发生探针卡移动的问题，不利于对探针卡进行压合，也不利于探针卡的放置，造成操作的不便。因此，针对上述问题提出一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构。本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种探针台用探针卡固定机构，包括位于框体内部的夹板、夹紧机构和调节机构；所述夹紧机构包括电机和托板，所述框体侧壁与电机固定连接，所述电机输出端与丝杠固定连接，且丝杠与延伸板贯穿连接，所述框体内壁分别与导板以及安装板固定连接，所述夹板侧壁与限位板固定连接，所述夹板内部底端与托板贯穿连接，所述托板中部与固定板固定连接，且夹板内部与转动杆转动连接，所述转动杆通过第一弹簧与夹板内壁固定连接，且转动杆顶端内部与压板活动连接；所述调节机构包括齿板和棘爪座，所述齿板与托板顶面固定连接，所述齿板与齿轮啮合连接，所述齿轮与转轴底端固定连接，且转轴顶部分别与手柄以及棘轮固定连接，所述棘爪座与夹板顶面滑动连接，所述棘爪与螺杆贯穿连接，所述螺杆端部与螺母螺纹连接，且棘爪座顶面通过第二弹簧与棘爪固定连接。优选的，所述框体呈方形空心结构，所述框体内部与两个夹板横向滑动连接，所述夹板两侧的延伸板都与导板之间滑动连接，且导板底端设有用于安装升降机构的安装板。优选的，所述夹板为空心壳体结构，所述夹板侧壁分别与两个限位板固定连接，每个限位板之间形成有用于探针卡放置的圆形通孔，且夹板底端和顶端分别与托板以及压板滑动连接。优选的，所述转动杆中部与夹板内部转动连接，所述转动杆底端接触有固定板，所述转动杆顶部开设有呈U形结构的开口，且转动杆顶部的开口内部与压板端部的连接轴滑动连接。优选的，所述棘爪座与夹板顶面滑动连接，所述棘爪座与螺杆螺纹连接，所述螺杆与夹板顶部贯穿并滑动连接，且螺杆顶部的螺母接触有棘爪座顶面。优选的，所述所述棘爪座顶面与棘爪转动连接，所述棘爪与棘轮卡接，且棘轮中部的转轴与夹板转动连接。一种探针台用探针卡固定机构用夹紧机构，包括电机和托板，所述框体侧壁与电机固定连接，所述电机输出端与丝杠固定连接，且丝杠与延伸板贯穿连接，所述框体内壁分别与导板以及安装板固定连接，所述夹板侧壁与限位板固定连接，所述夹板内部底端与托板贯穿连接，所述托板中部与固定板固定连接，且夹板内部与转动杆转动连接，所述转动杆通过第一弹簧与夹板内壁固定连接，且转动杆顶端内部与压板活动连接；一种探针台用探针卡固定机构用调节机构，包括齿板和棘爪座，所述齿板与托板顶面固定连接，所述齿板与齿轮啮合连接，所述齿轮与转轴底端固定连接，且转轴顶部分别与手柄以及棘轮固定连接，所述棘爪座与夹板顶面滑动连接，所述棘爪与螺杆贯穿连接，所述螺杆端部与螺母螺纹连接，且棘爪座顶面通过第二弹簧与棘爪固定连接。本技术的有益效果是：1、本技术结构简单，操作方便，通过夹板的移动方便对探针卡进行夹紧，并通过限位板的设计方便对圆形结构的探针卡限位，有利于探针卡的固定以及定位，两个夹板的同时移动方便对不同大小的探针卡进行固定，提高了操作的便利性；2、本技术通过托板的设计方便对探针卡进行支撑，方便进行放置，并通过夹紧后托板和压板的同时移动方便探针卡与晶圆的接触，压板的移动也提高探针卡下压时的稳定性，避免探针卡发生移动，方便进行操作。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1为本技术正视结构示意图；图2为本技术侧视结构示意图；图3为本技术俯视结构示意图。图中：1、框体，2、夹板，3、电机，4、丝杠，5、延伸板，6、导板，7、安装板，8、限位板，9、托板，10、齿板，11、固定板，12、转动杆，13、第一弹簧，14、压板，15、齿轮，16、转轴，17、手柄，18、棘轮，19、棘爪座，20、螺杆，21、螺母，22、棘爪，23、第二弹簧。具体实施方式为使得本技术的技术目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而非全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。具体实施例一以下实施例是本申请探针台用探针卡固定机构的实施例。请参阅图1-3所示，一种探针台用探针卡固定机构，包括位于框体1内部的夹板2、夹紧机构和调节机构；所述夹紧机构包括电机3和托板9，所述框体1侧壁与电机3固定连接，所述电机3输出端与丝杠4固定连接，且丝杠4与延伸板5贯穿连接，所述框体1内壁分别与导板6以及安装板7固定连接，所述夹板2侧壁与限位板8固定连接，所述夹板2内部底端与托板9贯穿连接，所述托板9中部与固定板11固定连接，且夹板2内部与转动杆12转动连接，所述转动杆12通过第一弹簧13与夹板2内壁固定连接，且转动杆12顶端内部与压板14活动连接；所述调节机构包括齿板10和棘爪座19，所述齿板10与托板9顶面固定连接，所述齿板10与齿轮15啮合连接，所述齿轮15与转轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于：包括位于框体（1）内部的夹板（2）、夹紧机构和调节机构；/n所述夹紧机构包括电机（3）和托板（9），所述框体（1）侧壁与电机（3）固定连接，所述电机（3）输出端与丝杠（4）固定连接，且丝杠（4）与延伸板（5）贯穿连接，所述框体（1）内壁分别与导板（6）以及安装板（7）固定连接，所述夹板（2）侧壁与限位板（8）固定连接，所述夹板（2）内部底端与托板（9）贯穿连接，所述托板（9）中部与固定板（11）固定连接，且夹板（2）内部与转动杆（12）转动连接，所述转动杆（12）通过第一弹簧（13）与夹板（2）内壁固定连接，且转动杆（12）顶端内部与压板（14）活动连接；/n所述调节机构包括齿板（10）和棘爪座（19），所述齿板（10）与托板（9）顶面固定连接，所述齿板（10）与齿轮（15）啮合连接，所述齿轮（15）与转轴（16）底端固定连接，且转轴（16）顶部分别与手柄（17）以及棘轮（18）固定连接，所述棘爪座（19）与夹板（2）顶面滑动连接，所述棘爪（22）与螺杆（20）贯穿连接，所述螺杆（20）端部与螺母（21）螺纹连接，且棘爪座（19）顶面通过第二弹簧（23）与棘爪（22）固定连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于：包括位于框体（1）内部的夹板（2）、夹紧机构和调节机构；
所述夹紧机构包括电机（3）和托板（9），所述框体（1）侧壁与电机（3）固定连接，所述电机（3）输出端与丝杠（4）固定连接，且丝杠（4）与延伸板（5）贯穿连接，所述框体（1）内壁分别与导板（6）以及安装板（7）固定连接，所述夹板（2）侧壁与限位板（8）固定连接，所述夹板（2）内部底端与托板（9）贯穿连接，所述托板（9）中部与固定板（11）固定连接，且夹板（2）内部与转动杆（12）转动连接，所述转动杆（12）通过第一弹簧（13）与夹板（2）内壁固定连接，且转动杆（12）顶端内部与压板（14）活动连接；
所述调节机构包括齿板（10）和棘爪座（19），所述齿板（10）与托板（9）顶面固定连接，所述齿板（10）与齿轮（15）啮合连接，所述齿轮（15）与转轴（16）底端固定连接，且转轴（16）顶部分别与手柄（17）以及棘轮（18）固定连接，所述棘爪座（19）与夹板（2）顶面滑动连接，所述棘爪（22）与螺杆（20）贯穿连接，所述螺杆（20）端部与螺母（21）螺纹连接，且棘爪座（19）顶面通过第二弹簧（23）与棘爪（22）固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于：所述框体（1）呈方形空心结构，所述框体（1）内部与两个夹板（2）横向滑动连接，所述夹板（2）两侧的延伸板（5）都与导板（6）之间滑动连接，且导板（6）底端设有用于安装升降机构的安装板（7）。


3.根据权利要求1所述的一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于：所述夹板（2）为空心壳体结构，所述夹板（2）侧壁分别与两个限位板（8）固定连接，每个限位板（8）之间形成有用于探针卡放置的圆形通孔，且夹板（2）底端和顶端分别与托板（9）以及压板（14）滑动连接。


4.根据权利要求1所述的一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于：所述转动...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明星，黄海军，
申请(专利权)人：强一半导体苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32