一种湿制程系统用颗粒物收集装置和湿制程系统制造方法及图纸

本公开提供一种湿制程系统用颗粒物收集装置和湿制程系统，所提出的一种装置包括：处理腔室，所述处理腔室设置有入口、第一出口以及第二出口，所述第二出口比所述第一出口远离所述处理腔室的中心；旋转组件，所述旋转组件设置在所述处理腔室内，所述旋转组件能够使得经由所述入口引入至所述处理腔室内的液体旋转，以将所述液体中的颗粒物引导至所述第二出口处；收集组件，所述收集组件与所述第二出口相连。本公开实施例中的装置，通过旋转组件使得进入该装置的药液旋转，通过离心力的作用将药液中的颗粒物与药液分离，将颗粒物聚集在收集组件中，从而将药液中的颗粒物分离出来，提高湿制程工艺的制备精度，提高湿制程工艺制备出的产品的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种湿制程系统用颗粒物收集装置和湿制程系统
本公开属于湿制程工艺
，具体涉及一种湿制程系统用颗粒物收集装置和湿制程系统。
技术介绍
在传统的湿制程工艺中，药液中存在的颗粒物会影响对产品的处理效果，从而影响加工产品质量。此外，药液循环管路中的大颗粒物会堵塞滤芯，降低滤芯的使用周期。
技术实现思路
本公开旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种湿制程系统用颗粒物收集装置和湿制程系统。本公开的一个方面，提供一种湿制程系统用颗粒物收集装置，所述装置包括：处理腔室，所述处理腔室设置有入口、第一出口以及第二出口，所述第二出口比所述第一出口远离所述处理腔室的中心；旋转组件，所述旋转组件设置在所述处理腔室内，所述旋转组件能够使得经由所述入口引入至所述处理腔室内的液体旋转，以将所述液体中的颗粒物引导至所述第二出口处；收集组件，所述收集组件与所述第二出口相连。在一些可选地实施方式中，所述旋转组件包括固定架以及多个转动件，所述固定架与所述处理腔室内壁相连，所述多个转动件可转动地设置在所述固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种湿制程系统用颗粒物收集装置，其特征在于，所述装置包括：/n处理腔室，所述处理腔室设置有入口、第一出口以及第二出口，所述第二出口比所述第一出口远离所述处理腔室的中心；/n旋转组件，所述旋转组件设置在所述处理腔室内，所述旋转组件能够使得经由所述入口引入至所述处理腔室内的液体旋转，以将所述液体中的颗粒物引导至所述第二出口处；/n收集组件，所述收集组件与所述第二出口相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种湿制程系统用颗粒物收集装置，其特征在于，所述装置包括：
处理腔室，所述处理腔室设置有入口、第一出口以及第二出口，所述第二出口比所述第一出口远离所述处理腔室的中心；
旋转组件，所述旋转组件设置在所述处理腔室内，所述旋转组件能够使得经由所述入口引入至所述处理腔室内的液体旋转，以将所述液体中的颗粒物引导至所述第二出口处；
收集组件，所述收集组件与所述第二出口相连。


2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述旋转组件包括固定架以及多个转动件，所述固定架与所述处理腔室内壁相连，所述多个转动件可转动地设置在所述固定架上；其中，
所述多个转动件在受到液体推力作用时沿预定方向转动，以驱动所述液体旋转。


3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述转动件采用转动叶片，所述多个转动件沿所述固定架的周向等间隔设置。


4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述收集组件包括收集器和导流器，所述导流器与所述第二出口相连通，所述收集器可拆卸地与所述导流器相连通。


5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述导流器外侧壁与所述收集器内侧壁之间的距离，自靠近所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟，
申请(专利权)人：厦门通富微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35