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本公开提供一种湿制程系统用颗粒物收集装置和湿制程系统，所提出的一种装置包括：处理腔室，所述处理腔室设置有入口、第一出口以及第二出口，所述第二出口比所述第一出口远离所述处理腔室的中心；旋转组件，所述旋转组件设置在所述处理腔室内，所述旋转组件能...
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