【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光波面的测量，特别是一种马赫一曾德尔型剪切波面测量系统及 其剪切波面测量方法。
技术介绍
光学衍射极限是光束受到孔径限制条件下能够达到的最小的发散度，此时光束 波面只具有0.3X左右的波面象差。剪切干涉法是一种方便精密的间接测量方法，通 过待测波面与自身复制面的干涉求得波面的变化率。在先技术可以利用双剪切干涉 方便直观地测量这样微小的波差。干涉测量中的移相方法是常用的提高测量精度的 手段，对双剪切干涉测量系统，如果引入移相方法，可以同时获得直观、高精度的 测量结果。目前的激光应用系统中，很多采用半导体激光器，相干长度小，采用干 涉方法测量时，需要两束相干光的光程相等。大口径光学元件的加工和检验难度较 高，是束缚测量大口径波面的重要因素。平板的加工是相对简单的，工艺上容易实 现，因此设计了一种基于平板结构、简便易行的大口径、可移相、剪切干涉的高精 度测量系统，实现大口径、宽光谱、高精度激光波面测量。在先技术 (M.V.R.K.Murty,，，The use of a single plane parallel plate as a lateral...
【技术保护点】
一种马赫－曾德尔型剪切波面测量系统，特征在于包括：由入射平板（１）、出射平板（２）、固定底座（２３）、第一反射平板（３）、第二反射平板（４）、第三反射平板（５）、第四反射平板（６）、第一导轨（７）、第二导轨（８）、成像透镜（９）、小孔（１０）和ＣＣＤ成像仪（１１）构成的干涉系统；提供精度保证的调整设备包括自准直平行光管（１２）、第一反射镜（１３）、激光准直光源（１４）、基准透反射镜（１５）、第二反射镜（１６）、光阑（１７）、第一五棱镜（１８）和第二五棱镜（１９）；控制处理系统包括压电控制器（２０、２１）和计算机（２２）处理系统；上述部件的位置关系如下：入射平板（１）和出射平...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：栾竹，刘立人，王利娟，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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