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一种马赫－曾德尔型剪切波面测量系统及其剪切波面测量方法，该系统包括：由入射平板、出射平板、固定底座、第一反射平板、第二反射平板、第三反射平板、第四反射平板、第一导轨、第二导轨、成像透镜、小孔和ＣＣＤ成像仪构成的干涉系统；提供精度保证的调整设...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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