【技术实现步骤摘要】
一种阴极混合运动的电铸装置
本技术属于电铸装置
,尤其涉及一种阴极混合运动的电铸装置。
技术介绍
电铸技术因具有能精确复制细微特征、工艺温度低、微组织结构与性能易控、不受工件空间尺寸和形状限制等优点而在工业界多有应用。电铸过程中,由于电场线分布的边缘效应或中心效应,镀层厚度往往出现不均匀现象,会出现边缘的沉积速度大于或小于中央,因而所制备的电铸件通常呈现边缘高、中间低的“马鞍状”或边缘低、中间高的“山丘状”,进而影响电铸产品的良品率。申请号为20162088987.8的专利提出一种匀速直线往复搅拌装置,该专利试图采用搅拌桨来改变流场和电场从而改变镀层均匀性,但实际上改变的只是流场而电场改变比较微弱,而电场对镀层的均匀性影响要大于流场,因此该专利对镀层均匀性的改变是微弱的。如何获得厚度分布均匀的电铸层一直是该领域内技术人员关注的重点和核心。阴极往复直线移动的方法是产业界用以提高电铸层件镀层分布均匀性常用手段之一。但是,阴极单一方向水平或竖直的往复移动无疑难以实现整个阴极面流场和电场分布的全域均匀化,进而难以根本上解决电铸工艺的厚度均匀性问题。为此,亟待开发一种稳定可靠的水平和竖直方向同时往复移动的电铸装置。
技术实现思路
本技术的技术方案为:一种阴极混合运动的电铸装置,包括由直线电机A、滑块、滑轨、滑轨固定板、圆棒和联轴器组成的水平往复移动单元,由阴极、阳极、电铸槽和电铸液组成的电铸单元,其特征在于:它还包括竖直往复移动单元,所述的竖直往复移动单元包括直线电机B、卡箍、卡块。水平往复移 ...
【技术保护点】
1.一种阴极混合运动的电铸装置,包括由直线电机A(1)、滑块(4)、滑轨(5)、滑轨固定板(6)、圆棒(7)和联轴器(13)组成的水平往复移动单元,由阴极(9)、阳极(10)、电铸槽(11)和电铸液(12)组成的电铸单元,其特征在于:它还包括竖直往复移动单元,所述的竖直往复移动单元包括直线电机B(2)、卡箍(3)、卡块(8);所述的卡箍(3)一端与直线电机B(2)固定,一端与滑块(4)固定;所述的卡块(8)与圆棒限位通孔(7-2)固定在一起并卡住直线电机B(2),限制直线电机B(2)的水平方向位移;所述的圆棒限位通孔(7-2)设在圆棒限位平面(7-1);所述的联轴器(13)将推杆A(1-3)和圆棒(7)连接在一起;所述的推杆A(1-3)由直线电机A(1)驱动实现水平往复运动,同时带动联轴器(13)与圆棒(7)水平往复运动,圆棒(7)与卡块(8)又带动直线电机B(2)水平往复运动;所述的直线电机B(2)驱动推杆B(2-3)竖直往复运动;所述的推杆B(2-3)带动阴极(9)竖直往复运动,水平和竖直方向合成后阴极做混合运动。/n
【技术特征摘要】
1.一种阴极混合运动的电铸装置,包括由直线电机A(1)、滑块(4)、滑轨(5)、滑轨固定板(6)、圆棒(7)和联轴器(13)组成的水平往复移动单元,由阴极(9)、阳极(10)、电铸槽(11)和电铸液(12)组成的电铸单元,其特征在于:它还包括竖直往复移动单元,所述的竖直往复移动单元包括直线电机B(2)、卡箍(3)、卡块(8);所述的卡箍(3)一端与直线电机B(2)固定,一端与滑块(4)固定;所述的卡块(8)与圆棒限位通孔(7-2)固定在一起并卡住直线电机B(2),限制直线电机B(2)的水平方向位移;所述的圆棒限位通孔(7-2)设在圆棒限位平面(7-1);所述的联轴器(13)将推杆A(1-3)和圆棒(7)连接在一起;所述的推杆A(1-3)由直线电机A(1)驱动实现水平往复运动,同时带动联轴器(13)与圆棒(7)水平往复运动,圆棒(7)与卡块(8)又带动直线电机B(2)水平往复运动;所述的直线电机B(2...
【专利技术属性】
技术研发人员:李云涛,明平美,王日鑫,
申请(专利权)人:河南理工大学,
类型:新型
国别省市:河南;41
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