一种高效送料的硅片切割机制造技术

技术编号:25483352 阅读:36 留言:0更新日期:2020-09-01 23:03
本实用新型专利技术公开了一种高效送料的硅片切割机,应用在硅片切割机技术领域,解决了硅片之间以及在移动过程中出现存放混乱的现象,导致硅片表面出现刮痕和磨损,影响产品的质量的技术问题,其技术方案要点是包括底座和的工作台,工作台上开设有放置槽,放置槽的一侧设有送料口,工作台的一侧设有工作口;工作台设有放置装置、吸附装置和切割装置;放置装置包升降板和升降板上设有定位组件和驱动气缸;定位组件包括定位孔、定位杆和定位气缸,定位孔设有多个,多个定位孔沿硅片托盘的周向分布。具有的技术效果是是盘硅片盘稳定的存放在升降板中,以及保证多个硅片盘在移动过程中的稳定,从而进一步提高硅片盘码放的稳定,进一步保证硅片的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种高效送料的硅片切割机
本技术涉及硅片切割机
,特别涉及一种高效送料的硅片切割机。
技术介绍
如图1所示,硅片切割机主要由放置部分1、硅片运输部分2、切割部分3和清洗部分4组成。硅片切割机使用过程主要是将硅片盘放入放置部分1,然后经运输部分2传输至切割部分3,经切割部分3切割呈分散硅片,再经运输部分2放置于清洗部分4将硅片上的切削残留微粒冲洗干净,最后将分割后的硅片放置于放置部分1中。目前,上述硅片切割机在硅片送料过程中采用半自动化模式加工,需要人工进行将封装有硅片的硅片盘放置于送料盘上,然后驱动真空吸盘将封硅片托盘运送至传输平台上,然后将硅片托盘传送至切割台上,从而对硅片进行切割分装。根据上述的现有技术,对于硅片托盘上料时,工作人员直接将硅片托盘放置于送料盘中,硅片之间以及在移动过程中会出现存放混乱的现象,从而可能导致硅片表面出现刮痕和磨损的现象,进而影响产品的质量。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种高效送料的硅片切割机,其优点是盘硅片盘稳定的存放在升降板中,以及保证多个硅片盘在移动过程中的稳定,从本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效送料的硅片切割机,包括底座(5)和设置于所述底座(5)上的工作台(6),所述工作台(6)上开设有放置槽(7),所述放置槽(7)的一侧设有送料口(8),所述工作台(6)的一侧设有用于工人操作的工作口(9);所述工作台(6)从送料口(8)到工作口(9)依次设有用于放置硅片托盘的放置装置、用于转移硅片的吸附装置和用于切割硅片的切割装置;/n其特征在于,所述放置装置包括位于所述放置槽(7)中的升降板(13)、所述升降板(13)上设有用于定位硅片盘的定位组件(14)和用于驱动升降板(13)上下移动的驱动气缸(15);/n所述定位组件(14)包括开设于所述升降板(13)上的定位孔(25)、贯穿...

【技术特征摘要】
1.一种高效送料的硅片切割机,包括底座(5)和设置于所述底座(5)上的工作台(6),所述工作台(6)上开设有放置槽(7),所述放置槽(7)的一侧设有送料口(8),所述工作台(6)的一侧设有用于工人操作的工作口(9);所述工作台(6)从送料口(8)到工作口(9)依次设有用于放置硅片托盘的放置装置、用于转移硅片的吸附装置和用于切割硅片的切割装置;
其特征在于,所述放置装置包括位于所述放置槽(7)中的升降板(13)、所述升降板(13)上设有用于定位硅片盘的定位组件(14)和用于驱动升降板(13)上下移动的驱动气缸(15);
所述定位组件(14)包括开设于所述升降板(13)上的定位孔(25)、贯穿于所述定位孔(25)的定位杆(26)和驱动定位杆(26)上下移动的定位气缸(27),所述定位孔(25)设有多个,多个所述定位孔(25)沿硅片盘的周向分布。


2.根据权利要求1所述的一种高效送料的硅片切割机,其特征在于,所述升降板(13)远离送料口(8)的一侧设有用于引导升降板(13)上下移动的引导组件(22),所述引导组件(22)包括引导块(23)和用于引导引导块(23)的引导槽(24),所述引导槽(24)开设于所述放置槽(7)的槽壁上,所述引导块(23)沿所述引导槽(24)的长度方向滑移。


3.根据权利要求2所述的一种高效送料的硅片切割机,其...

【专利技术属性】
技术研发人员:李志卫张仕俊石正娟
申请(专利权)人:苏州新米特电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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