用于探针卡的引导板及包括其的探针卡制造技术

根据本发明专利技术的用于探针卡的引导板可提供如下的用于探针卡的引导板：所述用于探针卡的引导板包括：第一引导板，形成有多个第一针插入孔，且由阳极氧化膜形成；以及第二引导板，以与所述第一引导板隔开特定距离的方式配置，且形成有供贯通所述第一针插入孔的针贯通的多个第二针插入孔，且在所述第一引导板的上部及下部的至少一部分设置有缓冲部。

【技术实现步骤摘要】
用于探针卡的引导板及包括其的探针卡
本专利技术涉及一种用于探针卡的引导板及包括其的探针卡，更具体而言涉及一种易于插入探针且防止被探针损伤表面的用于探针卡的引导板及包括其的探针卡。
技术介绍
通常，半导体通过在晶片上形成图案的制造(fabrication)工艺、检查构成晶片的各个芯片的电特性的电管芯分选(ElectricalDieSorting，EDS)工艺以及由各个芯片组装形成有图案的晶片的装配(assembly)工艺制造而成。此处，执行EDS工艺以判别构成晶片的芯片中的不良芯片。在EDS工艺中，主要使用对构成晶片的芯片施加电信号并通过从施加的电信号检查的信号来判断不良的探针卡。探针卡是连接半导体晶片(或半导体元件)与检查设备以检查半导体元件的动作的装置，起到如下作用：在将设置在探针卡上的探针连接到晶片的同时送电，根据此时进入的信号筛选不良的半导体芯片。探针卡可分为根据探针的形状使针的末端弯曲并水平地层叠的方式的水平型(悬臂型(Cantilever))方式与使针垂直地竖立并排列的结构的垂直型(Vertical)方式，以及利用微加工(Micromachining)技术形成探针的微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)方式。垂直型方式的探针卡使探针插入到形成在用于探针卡的引导板的针插入孔中并引导。作为关于此种用于探针卡的引导板的专利，已知记载在韩国专利注册第10-1719912号(以下，称为“专利文献1”)中。专利文献1的用于探针卡的陶瓷引导板在层叠多个生片后进行压制以形成生坯条，且对生坯条的一面照射激光以形成供探针插入的贯通孔。但是，如上所述的陶瓷材料的陶瓷引导板的透过率低，难以插入探针，因此，存在制造探针卡的制造时间及成本上升的问题。另外，通过照射激光而形成的贯通孔使激光照射的面的开口面积形成得大，从而不垂直地形成，而在上部或下部中的一处具有面积大的倾斜的孔形状。因此，在探针与半导体晶片(或半导体元件)接触时，可能产生探针的晃动、产生探针的位置改变等，从而降低探针卡的可靠性。另外，通过照射激光而产生的热量会使生坯条产生热变形，因此产生不能精密地形成多个贯通孔的问题。进而，照射激光需要大量时间，成本也非常昂贵，因此具有探针卡的制造时间及成本上升的问题。另一方面，在探针中形成有多个基底端部。基底端部以在探针的一侧突出的方式形成，且起到防止插入到引导板的探针退出到外部的作用。此时，基底端部可具有弹性以不妨碍探针的插入。在探针与半导体晶片(或半导体元件)接触进行检查时，探针可能产生上下晃动，因此，基底端部可与引导板的表面接触。即，产生因基底端部而使引导板的表面损伤的问题。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]韩国注册专利第10-1719912号
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]对此，本专利技术是为了解决现有技术的问题而提出的，其目的在于提供一种易于插入探针且防止被探针损伤表面的引导板及包括其的探针卡。[解决问题的技术手段]为了达成此种本专利技术的目的，根据本专利技术的用于探针卡的引导板可提供如下的用于探针卡的引导板：所述用于探针卡的引导板包括：第一引导板，形成有多个第一针插入孔，且由阳极氧化膜形成；以及第二引导板，以与所述第一引导板隔开特定距离配置，且形成有供贯通所述第一针插入孔的针贯通的多个第二针插入孔，且在所述第一引导板的上部及下部的至少一部分设置有缓冲部。另外，可提供如下的用于探针卡的引导板：所述第一引导板为透明的，所述第二引导板不为透明的。另外，可提供如下的用于探针卡的引导板：所述第二引导板为使阳极氧化膜的表面着色而提供。另外，可提供如下的用于探针卡的引导板：所述第二引导板包含陶瓷材料。另外，可提供如下的用于探针卡的引导板：所述缓冲部包含聚合物或SU-8光致抗蚀剂。另外，可提供如下的用于探针卡的引导板：所述缓冲部包含透明材料。另外，可提供如下的用于探针卡的引导板：所述用于探针卡的引导板还包括掩模层，包含可接着到提供有多个层的所述第一引导板及所述第二引导板的各个层的上部或下部的材料，并包含与所述第一针插入孔及所述第二针插入孔对应的贯通孔。另外，可提供如下的用于探针卡的引导板：所述掩模层包含环氧树脂。另外，可提供如下的用于探针卡的引导板：所述掩模层包含透明材料。根据本专利技术的探针卡可提供如下的探针卡：第一引导板，形成有多个第一针插入孔，且由阳极氧化膜形成；第二引导板，以与所述第一引导板隔开特定距离的方式配置，且形成有多个第二针插入孔；以及多个探针，形成有凸起形态的基底端部，依次地分别插入到所述第一针插入孔与所述第二针插入孔并引导，在所述第一引导板的上部及下部设置有缓冲部，且所述基底端部与所述缓冲部接触。[专利技术的效果]如以上说明所示，根据本专利技术的用于探针卡的引导板及包括其的探针卡通过设置上部的透明引导板而设置下部的不透明引导板，从而可容易插入探针。另外，可防止因探针的基底端部而损伤用于探针卡的引导板的表面。另外，通过设置可接着到包括多个层的用于探针卡的引导板之间的材料的掩模层，从而可在进行针插入孔的刻蚀的同时使用于探针卡的引导板容易接合。附图说明图1是概略性地图示根据本专利技术的优选实施例的探针卡的剖面图。图2是图1的用于探针卡的引导板的立体图。图3是展示在图2的用于探针卡的引导板形成贯通孔的模样的剖面图。图4是展示探针插入到图1的用于探针卡的引导板的模样的剖面图。具体实施方式以下的内容仅例示专利技术的原理。因此，虽然并未在本说明书中明确说明或图示，本领域技术人员可专利技术实现专利技术的原理并包含于专利技术的概念与范围内的各种装置。另外，本说明书所列举的所有条件部用语及实施例在原则上应理解为，仅作为用以理解专利技术的概念的目的进行明确地解释，而并不限制为如上所述特别列举的实施例及状态。所述的目的、特征及优点通过与附图相关的以下详细的说明而变得更明显，因此，在专利技术所属的
内具有通常知识者可容易地实施专利技术的技术思想。以下，若参照附图对本专利技术的优选实施例详细地进行说明，则如下所示。图1是概略性地图示根据本专利技术的优选实施例的探针卡的剖面图，图2是图1的用于探针卡的引导板的立体图。参照图1及图2，探针卡1点检电路的断开或短路等状态，包括引导板10、探针20及空间转换器30。另外，探针卡1并未图示，但在空间转换器30的上部还可包括中介层(Interposer)和/或印刷电路板基板。具体而言，探针卡1位于形成有待检查的电路的晶片2的上部，且通过与外部的各种设备连接而相对于晶片2进行升降运动，从而确认是否形成正常的电路。在图1中图示为探针卡1处于相对于晶片2上升的状态。引导板10供探针20插入，包括由阳极氧化膜形成的第一引导板110与以与第一引导板110隔开特定距离的方式配本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于探针卡的引导板，包括：/n第一引导板，形成有多个第一针插入孔，且由阳极氧化膜形成；以及/n第二引导板，以与所述第一引导板隔开特定距离的方式配置，且形成有供贯通所述第一针插入孔的针贯通的多个第二针插入孔，/n其中在所述第一引导板的上部及下部的至少一部分设置有缓冲部。/n

【技术特征摘要】
20190226 KR 10-2019-00224901.一种用于探针卡的引导板，包括：
第一引导板，形成有多个第一针插入孔，且由阳极氧化膜形成；以及
第二引导板，以与所述第一引导板隔开特定距离的方式配置，且形成有供贯通所述第一针插入孔的针贯通的多个第二针插入孔，
其中在所述第一引导板的上部及下部的至少一部分设置有缓冲部。


2.根据权利要求1所述的用于探针卡的引导板，其中所述第一引导板为透明的，所述第二引导板不为透明的。


3.根据权利要求2所述的用于探针卡的引导板，其中所述第二引导板为使所述阳极氧化膜的表面着色而提供。


4.根据权利要求2所述的用于探针卡的引导板，其中所述第二引导板包含陶瓷材料。


5.根据权利要求1所述的用于探针卡的引导板，其中所述缓冲部包含聚合物或SU-8光致抗蚀剂。


6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：安范模，朴胜浩，边圣铉，
申请(专利权)人：普因特工程有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR