【技术实现步骤摘要】
高性能光刻胶用酚醛树脂及其制备方法和用途
本专利技术涉及一种酚醛树脂及其制备方法和用途。
技术介绍
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。光刻胶主要由树脂、感光剂、高纯溶剂组成。酚醛树脂是一种在高温状态下进行涂布，借冷却硬化实现胶接的高分子胶粘剂，主要由高分子聚合物组成。目前典型的光刻胶用树脂包括酚醛树脂、PHS、亚克力、聚酰亚胺。从经济和效率因素考虑，酚醛树脂用途广泛，它们能够薄薄地、均匀地、快速地被涂到基材上。目前酚醛树脂有酚醛清漆型树脂、酚醛环氧树脂、线型酚醛树脂、甲阶酚醛树脂，普遍存在感度差，蚀刻差，难以满足高性能光刻胶要求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光刻胶感度好、耐蚀刻的高性能光刻胶用酚醛树脂及其制备方法和用途。本专利技术的技术解决方案是：一种高性能光刻胶用酚醛树脂，其特征是：所述酚醛树脂主要由以下重量份的原料组分制成：甲酚70-90重量份甲醛15...
【技术保护点】
1.一种高性能光刻胶用酚醛树脂，其特征是：所述酚醛树脂主要由以下重量份的原料组分制成：/n甲酚 70-90重量份/n甲醛 15-20重量份/n催化剂 0.2-1重量份。/n
【技术特征摘要】
1.一种高性能光刻胶用酚醛树脂，其特征是：所述酚醛树脂主要由以下重量份的原料组分制成：
甲酚70-90重量份
甲醛15-20重量份
催化剂0.2-1重量份。
2.根据权利要求1所述的高性能光刻胶用酚醛树脂，其特征是：所述甲酚选自间甲酚、对甲酚、邻甲酚一种或多种。
3.根据权利要求1所述的高性能光刻胶用酚醛树脂，其特征是：所述甲醛为37%甲醛、92%多聚甲醛、96%多聚甲醛中的一种或多种。
4.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：王步泉，
申请(专利权)人：南通千翼新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。