下载高性能光刻胶用酚醛树脂及其制备方法和用途的技术资料

文档序号:25470890

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本发明公开了一种高性能光刻胶用酚醛树脂及其制备方法和用途,所述酚醛树脂主要由甲酚、甲醛、催化剂制成。本发明光刻胶感度好、耐蚀刻。...
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