一种光刻胶用线性酚醛树脂及其制造方法技术

本发明专利技术公开了一种光刻胶用线性酚醛树脂及其制造方法：（1）酚类和醛类的反应摩尔比0.5~0.95：1，（2）酸类催化剂为在200℃下易降解的有机酸羧酸之类的弱酸，其使用量相对于酚类0.1~5wt%，（3）氮气从反应容器底部进入反应容器内，（4）在持续通氮气的条件下，进行投料、缩合反应、常压蒸馏反应，（5）在减压蒸馏的过程中，向反应溶液内持续滴加纯水，通过气相色谱法判断反应终点；与以往的光刻胶用线性酚醛树脂的制造方法相比，本发明专利技术的制造方法能够获得高软化点、低酚类单体、色度低的光刻胶用线性酚醛树脂。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶用线性酚醛树脂及其制造方法
本专利技术具体涉及一种光刻胶用线性酚醛树脂及其制造方法。
技术介绍
邻重氮萘醌化合物（以下简称DNQ）;②成膜树脂,线性酚醛树脂;③添加剂及溶剂组成。DNQ的不同会导致光刻胶的曝光波长有所不同。因此该系正胶按曝光波长的不同又分为宽谱、G线(436nm)和I线(365nm)胶。 随着电子工业到高速发展，半导体元件对拥有高分辨能力到紫外正型光刻胶的需求迅速增长。紫外正型光刻胶是指经紫外光(300-450nm)通过掩膜版照射后,曝光区胶膜发生光分解或降解反应,性质发生变化溶于显影液,未曝光区胶膜则保留而形成正型图像的一类光刻胶。在这类光刻胶中,邻重氮萘醌-线性酚醛树脂系紫外正型光刻胶在电子工业中应用最多,是目前电子工业中使用最多的胶种之一。邻重氮萘醌-线性酚醛树脂系紫外正型光刻胶(以下简称正胶),主要由①感光剂,正胶在曝光前，DNQ是一种强烈的溶解抑制剂，降低树脂的溶解速度。在紫外曝光后，DNQ在光刻胶中化学分解，成为溶解度增强剂，大幅提高显影液中的溶解度因子至100或者更高。这种曝光反应会在DNQ中产生本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻胶用线性酚醛树脂及其制造方法，其特征在于：/n（1）酚类和醛类的反应摩尔比0.5~0.95：1，/n（2）酸类催化剂为在200℃下易降解的有机酸羧酸之类的弱酸，其使用量相对于酚类0.1~5wt%，/n（3）氮气从反应容器底部进入反应容器内，/n（4）在持续通氮气的条件下，进行投料、缩合反应、常压蒸馏反应，/n（5）在减压蒸馏的过程中，向反应溶液内持续滴加纯水，通过气相色谱法判断反应终点。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶用线性酚醛树脂及其制造方法，其特征在于：
（1）酚类和醛类的反应摩尔比0.5~0.95：1，
（2）酸类催化剂为在200℃下易降解的有机酸羧酸之类的弱酸，其使用量相对于酚类0.1~5w...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱园，徐锦标，黄智，汤艳峰，
申请(专利权)人：江苏准信自动化科技股份有限公司，南通大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32