【技术实现步骤摘要】
基板检测装置
本技术涉及检测基板表面的基板检测装置及基板检测方法。
技术介绍
通常,用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示面板、无机电致发光显示面板、透射投影仪基板、反射投影仪基板等使用单位玻璃面板,所述单位玻璃面板是通过如玻璃等脆性的母玻璃面板(以下,称为“基板”)切割成预定尺寸而获得。所述基板在使用到产品之前,需要执行检测基板表面的工序。为了检测基板的表面,使用多种基板检测装置。基板检测装置包括与基板表面相对地配置的摄像头,根据通过摄像头拍摄的基板表面的图像来检测基板表面的缺陷。在以往的基板检测装置中,在通过拾取模块把持基板的边缘部(在与基板的移送方向相垂直的横向上的基板的端部)的状态下,基板通过设置有摄像头的基板检测区域时,通过摄像头拍摄基板的上表面或者下表面。但是,通过拾取模块把持的基板的边缘部被夹持模块所遮挡,因此无法通过摄像头拍摄基板的边缘部。因此,需要额外设置用摄像头拍摄边缘部来检测边缘部的工序。这导致检测基板的工序的数量增加,检测基板所需的时间增加的问题。
技术实现思路
>本技术用于解决上述本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基板检测装置,其中,所述基板检测装置包括:/n基板检测单元,配置在基板检测区域内,检测基板的表面;/n第一夹具模块,以所述基板检测区域为基准,位于所述基板的移送方向的上游侧;以及/n第二夹具模块,以所述基板检测区域为基准,位于所述基板的移送方向的下游侧,/n所述第一夹具模块在把持以与所述基板的后行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的所述基板的第一部分的状态下进行移动,使以与所述基板的先行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的所述基板的第二部分通过所述基板检测区域,所述第二部分通过所述基板检测区域后,解除所述第一部分;/n在所述第一夹具模块解除所述第一部分之前或同时 ...
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
20181126 KR 10-2018-01470791.一种基板检测装置,其中,所述基板检测装置包括:
基板检测单元,配置在基板检测区域内,检测基板的表面;
第一夹具模块,以所述基板检测区域为基准,位于所述基板的移送方向的上游侧;以及
第二夹具模块,以所述基板检测区域为基准,位于所述基板的移送方向的下游侧,
所述第一夹具模块在把持以与所述基板的后行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的所述基板的第一部分的状态下进行移动,使以与所述基板的先行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的所述基板的第二部分通过所述基板检测区域,所述第二部分通过所述基板检测区域后,解除所述第一部分;
在所述第一夹具模块解除所述第一部分之前或同时,所述第二夹具模块把持已通过所述基板检测区域的所述第二部分的状态下进行移动,使得所述第一部分通过所述基板检测区域。
2.根据权利要求1所述的基板检测装置,其中,
所述第一夹具模块解除所述第一部分的动作和所述第二夹具模块把持所述第二部分的动作,在所述第一夹具模块和所述第二夹具模块以相同的速度进行移动时执行。
技术研发人员:崔汉铉,河完龙,徐正欢,
申请(专利权)人:塔工程有限公司,
类型:新型
国别省市:韩国;KR
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