下载基板检测装置的技术资料

文档序号:25457612

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本实用新型实施例所述的基板检测装置包括:设置在基板检测区域内来检测基板表面的基板检测单元;以基板检测区域为基准,位于基板的移送方向的上游侧的第一夹具模块;以及以基板检测区域为基准,位于基板的移送方向的下游侧的第二夹具模块,其中,第一检测模块...
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