沉渣干燥装置制造方法及图纸

提供沉渣干燥装置，其不使用加热器而进行沉渣干燥，不污染干燥室内而进行沉渣回收。沉渣干燥装置的干燥单元(6)包含：干燥箱(60)，其包围将从液槽(2)排出的沉渣搬送至回收部(7)的带(51)的上表面，在与带相同的方向上延伸；干燥箱的一端侧的沉渣投入口(604)；回收部，其配设在干燥箱的另一端侧；以及返回口(606)，其使通过鼓风机(90)从干燥箱内吸到外部的空气从干燥箱一端侧返回而使空气循环。回收部包含：辊刷(77)，其与排气口(70)相邻，与带延伸方向交叉并与带接触；刷旋转部(78)；箱(73)，其对利用刷(77)而从带分离的沉渣进行回收；第1连通路(71)，其将排气口和回收箱(73)连通；以及第2连通路(72)，其将回收箱(73)和鼓风机(90)连通。

【技术实现步骤摘要】
沉渣干燥装置
本专利技术涉及从包含被加工物的粉在内的废液中回收含有大量水分的沉渣并使该沉渣干燥的装置。
技术介绍
以往，从一边提供加工水一边利用磨具对被加工物进行加工而产生的包含加工屑的加工废液中使加工屑沉淀、或者使阳极板和阴极板着水在加工废液中并附加电荷而使加工屑吸附在阳极板上，从而回收含有大量水分的加工屑(沉渣)，对去除了沉渣的加工废液进行再利用(例如参照专利文献1)。另外，例如如专利文献2所公开的那样，为了利用所回收的沉渣而使沉渣干燥。专利文献1：日本特开2013-119050号公报专利文献2：日本特开2016-049506号公报但是，在专利文献2所公开的沉渣回收装置中，在沉渣的干燥中使用了加热器，因此若需要进行维护，则需要作业者等待至使沉渣干燥的装置部位冷却为止。另外，需要用于使加热器发热的电力。另外，沉渣是较细的粉，因此会在干燥室内飞舞而将干燥室内污染、或会因热溶化而附着于使沉渣干燥并进行搬送的搬送带从而将该搬送带污染。
技术实现思路
由此，本专利技术的目的在于提供沉渣干燥装置，不使用加热器而使沉渣干燥，并且不污染干燥室内而将变细的沉渣回收。根据本专利技术，提供沉渣干燥装置，其从一边提供加工水一边利用磨具对被加工物进行磨削而排出的包含被加工物的粉在内的废液中回收含有大量水分的沉渣，并使该沉渣干燥，其中，该沉渣干燥装置具有：废液槽，其储存废液；取出单元，其从该废液槽中取出该沉渣；搬送带，其载置通过该取出单元取出的该沉渣而将该沉渣搬送至回收单元；以及干燥单元，其使该搬送带所搬送的该沉渣干燥，该干燥单元包含：干燥箱，其至少包围该搬送带的上表面而在该搬送带的延伸方向上延伸；投入口，其配设在该干燥箱的一端侧，将该沉渣投下至该搬送带；所述回收单元，其配设在该干燥箱的另一端侧，具有排气口；以及返回入口，其用于使通过配设在该干燥箱的外部的鼓风机进行动作而经由该排气口从该干燥箱内吸入的空气从该干燥箱的一端侧返回至该干燥箱中从而使空气循环，所述回收单元包含：该排气口；辊刷，其与该排气口相邻，在与该搬送带的延伸方向交叉的方向上延伸；旋转单元，其使毛尖接触着该搬送带的该辊刷旋转；回收箱，其对利用该辊刷而从该搬送带分离的干燥的该沉渣进行回收；第1连通路，其将该排气口和该回收箱连通；以及第2连通路，其将该回收箱和该鼓风机连通。优选所述干燥单元还包含：吸气口，其配设在所述干燥箱的一端侧，吸入外部气体；以及分割部，其将利用所述鼓风机经由所述排气口从所述回收箱排出的空气的流量分割成两部分。根据本专利技术，在干燥箱内干燥的沉渣不会长时间飞舞，能够不污染干燥箱内。另外，不使用加热器而使沉渣干燥，因此能够抑制沉渣干燥装置的耗电量，能够使熔点低的沉渣在不因加热器的热而在搬送带上熔化的条件下进行干燥，并且在进行搬送带的更换、干燥箱内的清扫时，不产生作业者等待至加热器冷却为止的时间。另外，在干燥箱的一端侧具有吸入外部气体的吸气口，具有将利用鼓风机经由排气口从回收箱排出的排气的流量分割成两部分的分割部，从而例如使分割部所分割的排气从返回入口返回至干燥箱，从而能够将搬送带所搬送的沉渣高效率地干燥。在使沉渣干燥时，在干燥箱内，由于空气与沉渣的接触而产生氢，但与加热器干燥的情况不同，所产生的氢不会积存在干燥箱内，即能够抑制干燥箱内的氢的浓度，因此能够防止氢爆炸。另外，例如也能够通过分割部而减少流入至工厂设备的排气装置侧的排气的量，因此也能够降低工厂设备的排气装置的负担。附图说明图1是示出磨削装置和沉渣干燥装置的构造的一例的剖视图。图2是示出收纳有阳极板和阴极板的废液槽以及插拔单元的一例的立体图。图3是将废液槽内的阳极板和阴极板的配置放大而示出的剖视图。图4是对从附着了含有水分的沉渣且被取出单元取出的阳极板上使含有水分的沉渣落下至干燥箱内的状态进行说明的剖视图。图5是对一边利用辊刷使干燥的较细的沉渣从搬送带分离一边利用鼓风机的吸引力进行吸引而回收至回收箱的状态进行说明的剖视图。标号说明S：被加工物；P：沉渣(被加工物的粉)；4：磨削装置；49：基台；49a：开口；40：磨削单元；400：旋转轴；404：磨削磨轮；404b：磨具；41：保持工作台；41a：保持面；42：工作台支承台；48：水箱；484：桶部；486：排液口；485a：供液管；12：容器；121：送出泵；1：沉渣干燥装置；2：废液槽；3：取出单元；30：阴极板；33a：壳体；33b：排出部；31：阳极板；310：被卡合部；310a：被卡合孔；32：插拔单元；320：保持部；34：Y轴方向移动单元；36：剥取单元；360：一对开闭气缸；362：一对剥取板；51：搬送带；540：电动机；55：厚度调整单元；6：干燥单元；60：干燥箱；600：通气路；601：底板；603：顶板；603a：凸部；604：投入口；604b：引导板；606：投入口；69：脚部；7：回收单元；70a：第一排气口；70b：第二排气口；71：第1连通路；72：第2连通路；740：外侧壁；741：内侧壁；73：回收箱；732a：沉渣导入口；735：回收袋；736：网格板；77：辊刷；78：旋转单元；780：电动机；19：带脚轮的台车；90：鼓风机；93：分割部；941：排气管；942：导入管。具体实施方式图1所示的本专利技术的沉渣干燥装置1是在磨削装置4中从一边提供加工水一边利用磨具404b对固体的被加工物S进行磨削而排出的包含被加工物S的粉P在内的废液L中回收含有大量水分的被加工物S的粉P、即含有大量水分的沉渣P并使该沉渣P干燥的装置。沉渣干燥装置1可以组装至磨削装置4内，也可以与磨削装置4分体。另外，沉渣干燥装置1也可以从利用旋转的切削刀具对固体的硅晶片等进行切削加工的切削装置所产生的废液中回收沉渣P并使其干燥。图1所示的磨削装置4至少具有：保持工作台41，其对固体的被加工物S进行保持；以及磨削单元40，其利用旋转的磨具404b对被加工物S进行磨削。在本实施方式中，固体的被加工物S是硅晶片，但也可以是圆柱状的硅锭等。配设在磨削装置4的基台49上的保持工作台41例如具有保持面41a，该保持面41a由多孔部件等构成，与未图示的吸引源连通。保持工作台41能够绕Z轴方向的轴心旋转，并且通过工作台支承台42进行支承。配设在基台49的形成于上表面的开口49a内的工作台支承台42能够通过由电动机和滚珠丝杠机构等构成的未图示的X轴移动单元在X轴方向(纸面前后方向)上往复移动。在保持工作台41的移动路径两侧配设有箱状的水箱48。水箱48图示在图1的工作台支承台42的左右两处的位置，形成于图1中纸面前后方向上，形成为俯视矩形的箱状，具有一体的桶部484。即，水箱48为了能够供保持工作台41在X轴方向上往复移动，在箱状的部件的底板480的中央部设置有矩形状的开口部481，水箱48包含由底板480、内侧壁482和外侧壁483构成的接住加工水的桶部484以及形成在底板480的排液口485。在排液口485上连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种沉渣干燥装置，其从一边提供加工水一边利用磨具对被加工物进行磨削而排出的包含被加工物的粉在内的废液中回收含有大量水分的沉渣，并使该沉渣干燥，其中，/n该沉渣干燥装置具有：/n废液槽，其储存废液；/n取出单元，其从该废液槽中取出该沉渣；/n搬送带，其载置通过该取出单元取出的该沉渣而将该沉渣搬送至回收单元；以及/n干燥单元，其使该搬送带所搬送的该沉渣干燥，/n该干燥单元包含：/n干燥箱，其至少包围该搬送带的上表面而在该搬送带的延伸方向上延伸；/n投入口，其配设在该干燥箱的一端侧，将该沉渣投下至该搬送带；/n所述回收单元，其具有排气口，该回收单元配设在该干燥箱的另一端侧；以及/n返回入口，其用于使通过配设在该干燥箱的外部的鼓风机进行动作而经由该排气口从该干燥箱内吸入的空气从该干燥箱的一端侧返回至该干燥箱中从而使空气循环，/n所述回收单元包含：/n所述排气口；/n辊刷，其与该排气口相邻，在与该搬送带的延伸方向交叉的方向上延伸；/n旋转单元，其使毛尖接触着该搬送带的该辊刷旋转；/n回收箱，其对利用该辊刷而从该搬送带分离的干燥的该沉渣进行回收；/n第1连通路，其将该排气口和该回收箱连通；以及/n第2连通路，其将该回收箱和该鼓风机连通。/n...

【技术特征摘要】
20190221 JP 2019-0294181.一种沉渣干燥装置，其从一边提供加工水一边利用磨具对被加工物进行磨削而排出的包含被加工物的粉在内的废液中回收含有大量水分的沉渣，并使该沉渣干燥，其中，
该沉渣干燥装置具有：
废液槽，其储存废液；
取出单元，其从该废液槽中取出该沉渣；
搬送带，其载置通过该取出单元取出的该沉渣而将该沉渣搬送至回收单元；以及
干燥单元，其使该搬送带所搬送的该沉渣干燥，
该干燥单元包含：
干燥箱，其至少包围该搬送带的上表面而在该搬送带的延伸方向上延伸；
投入口，其配设在该干燥箱的一端侧，将该沉渣投下至该搬送带；
所述回收单元，其具有排气口，该回收单元配设在该干燥箱的另一端侧；以及
返回入口...

【专利技术属性】
技术研发人员：杉山聪，佐野寿幸，吉田干，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP