基板保持件以及具备该基板保持件的镀敷装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及基板保持件以及具备该基板保持件的镀敷装置。用于防止由于密封唇向内侧倾倒而导致基板挠曲或者产生对基板的损伤。作为一个实施方式，公开一种基板保持件，其为具有开口的基板保持件，基板保持件具备：密封件；以及密封件支承部，其具有密封件支承面且设置于开口的外侧周围，密封件具备密封主体和密封唇，密封件支承面的至少一部分具有使密封件支承面的内侧端部接近基板应处的平面那样的倾斜角，密封件支承面的内侧端部位于比密封唇靠内侧。

【技术实现步骤摘要】
基板保持件以及具备该基板保持件的镀敷装置
本专利技术涉及基板保持件以及具备该基板保持件的镀敷装置。此外，本申请要求基于2019年2月20日申请的日本专利申请号第2019-28126号的优先权。包括日本专利申请号为第2019-28126号的说明书、权利要求书、说明书附图以及说明书摘要的全部公开内容通过参照的方式作为整体引入本申请。
技术介绍
在进行镀敷加工等加工时，使用了用于保持基板的基板保持件。基板保持件经由开口使基板的至少一个面的至少一部分露出。设置于基板保持件的密封件对基板的被露出部分与未被露出部分进行区分。典型地，从专利文献1(特别是参照图15)可看出，密封件具有密封唇，密封件被沿垂直于基板的面的方向按压。专利文献1：日本特开2018-040045号公报根据密封件的形状，若密封件被沿垂直于基板的面的方向按压，则密封唇可能朝向开口的中心(在专利文献1的图15中朝向左侧)倾倒。若密封唇朝向开口的中心倾倒，则密封唇朝向开口的中心推动基板。通常，密封件遍及开口整周地配置。因此，基板能受到从几乎所有方向朝向开口的中心的方向的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板保持件，该基板保持件具有用于使基板的至少一个面的至少一部分露出的开口，其特征在于，/n所述基板保持件具备：/n密封件，该密封件与所述基板的包含被露出部分的面接触，并被沿与所述基板应处的平面垂直的方向按压；以及/n密封件支承部，该密封件支承部具有用于对所述密封件进行支承的密封件支承面，并设置于所述开口的外侧周围，/n所述密封件具备：/n密封主体，该密封主体与所述密封件支承面接触；以及/n密封唇，该密封唇从所述密封主体延伸并与所述基板的被露出面接触，/n所述密封件支承面的至少一部分具有使所述密封件支承面的内侧端部接近所述基板应处的所述平面那样的倾斜角，/n所述密封件支承面的内侧端部位于...

【技术特征摘要】
20190220 JP 2019-0281261.一种基板保持件，该基板保持件具有用于使基板的至少一个面的至少一部分露出的开口，其特征在于，
所述基板保持件具备：
密封件，该密封件与所述基板的包含被露出部分的面接触，并被沿与所述基板应处的平面垂直的方向按压；以及
密封件支承部，该密封件支承部具有用于对所述密封件进行支承的密封件支承面，并设置于所述开口的外侧周围，
所述密封件具备：
密封主体，该密封主体与所述密封件支承面接触；以及
密封唇，该密封唇从所述密封主体延伸并与所述基板的被露出面接触，
所述密封件支承面的至少一部分具有使所述密封件支承面的内侧端部接近所述基板应处的所述平面那样的倾斜角，
所述密封件支承面的内侧端部位于比所述密封唇靠内侧。


2.根据权利要求1所述的基板保持件，其特征在于，
所述密封唇从所述密封主体的内侧端部延伸。


3.根据权利要求1或2所述的基板保持件，其特征在于，
所述密封件支承面的倾斜角为，在所述密封件被沿与所述基板应处的所述平面垂直的方向按压的情况下，使所述密封唇部朝向外侧挠曲的角度。


4.根据权利要求1或2所述的基板保持件，其特征在于，
所述密封件支承面的至少一部分的倾斜角为5度以上20度以下。


5.根据权利要求1或2所述的基板保持件，其特征在于，
所述开口为多边形，
所述密封件支承面包含：
第1部分，该第1部分与所述开口的角部对应；以及
第2部分，该第2部分与所述开口的边部对应，
以使所述第1部分的倾斜角小于所述第2部分的倾斜角的方式构成所述密封件支承面。


6.根据权利要求5所述的基板保持件，其特征在于，
所述第1部分的倾斜角为0度。


7.根据权利要求5所述的基板保持件，其特征在于，
所述密封件支承面具备过渡部，所述过渡部的倾斜角逐渐变化并将所述第1部分与所述第2部分连接。


8.根据权利要求5所述的基板保持件，其特征在于，
所述边部具有应被保持基板的边的长度的80％以上且95％以下的长度。


9.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：尾形奨一郎，宫本松太郎，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP