基板保持件以及具备该基板保持件的镀敷装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及基板保持件以及具备该基板保持件的镀敷装置。用于防止由于密封唇向内侧倾倒而导致基板挠曲或者产生对基板的损伤。作为一个实施方式，公开一种基板保持件，其为具有开口的基板保持件，基板保持件具备：密封件；以及密封件支承部，其具有密封件支承面且设置于开口的外侧周围，密封件具备密封主体和密封唇，密封件支承面的至少一部分具有使密封件支承面的内侧端部接近基板应处的平面那样的倾斜角，密封件支承面的内侧端部位于比密封唇靠内侧。

【技术实现步骤摘要】
基板保持件以及具备该基板保持件的镀敷装置
本专利技术涉及基板保持件以及具备该基板保持件的镀敷装置。此外，本申请要求基于2019年2月20日申请的日本专利申请号第2019-28126号的优先权。包括日本专利申请号为第2019-28126号的说明书、权利要求书、说明书附图以及说明书摘要的全部公开内容通过参照的方式作为整体引入本申请。
技术介绍
在进行镀敷加工等加工时，使用了用于保持基板的基板保持件。基板保持件经由开口使基板的至少一个面的至少一部分露出。设置于基板保持件的密封件对基板的被露出部分与未被露出部分进行区分。典型地，从专利文献1(特别是参照图15)可看出，密封件具有密封唇，密封件被沿垂直于基板的面的方向按压。专利文献1：日本特开2018-040045号公报根据密封件的形状，若密封件被沿垂直于基板的面的方向按压，则密封唇可能朝向开口的中心(在专利文献1的图15中朝向左侧)倾倒。若密封唇朝向开口的中心倾倒，则密封唇朝向开口的中心推动基板。通常，密封件遍及开口整周地配置。因此，基板能受到从几乎所有方向朝向开口的中心的方向的力。在使用刚性较高的基板的情况下，几乎能忽略基板从密封件受到的力。但是，近年来，使用有各种种类的基板。基板的刚性能根据基板的厚度、大小、材质等而降低。在使用刚性较低的基板的情况下，受到了由密封唇倾倒而产生的力的基板会挠曲，或者会受到损坏。
技术实现思路
因此，本申请的一个目的为，解决上述的课题的至少一部分。作为一个实施方式，本申请公开一种基板保持件，其具有用于使基板的至少一个面的至少一部分露出的开口，其中，基板保持件具备：密封件，其与基板的包括被露出部分的面接触，并被沿与基板应处的平面垂直的方向按压；以及密封件支承部，其具有用于对密封件进行支承的密封件支承面，并设置于开口的外侧周围，密封件具备：密封主体，其与密封件支承面接触；以及密封唇，其从密封主体延伸并与基板的被露出面接触，密封件支承面的至少一部分具有使密封件支承面的内侧端部接近基板应处的平面那样的倾斜角，密封件支承面的内侧端部位于比密封唇靠内侧。附图说明图1A是镀敷装置的俯视图。图1B是镀敷装置的侧视图。图2是一个实施方式所涉及的基板保持件(单面保持件)的立体图。图3A是一个实施方式所涉及的基板保持件(双面保持件)的主视图。图3B是图3A的基板保持件的剖视图。图4是现有例子所涉及的基板保持件的基板密封件周边的剖视图。图5是表示在图4的基板保持件中，基板密封件被按压的情况下的密封唇的倾倒的图。图6是一个实施方式所涉及的基板保持件的剖视图。图7是图6的基板密封件被按压的情况下的图。图8是表示具备突出部的基板密封件的图。图9是从能看到密封件支承面的方向观察的第1或第2保持部件的图。图10是用于对基板保持件的形变进行说明的基板保持件的剖视图。图11是表示某个基板保持件的密封唇的压缩量的位置依赖性的模拟结果的图。图12A是一个实施方式所涉及的、开口的角部附近的基板密封件的剖视图。图12B是一个实施方式所涉及的、开口的边部附近的基板密封件的剖视图。图13A是一个实施方式所涉及的、开口的角部附近的基板密封件的剖视图。图13B是一个实施方式所涉及的、开口的边部附近的基板密封件的剖视图。图14是具有从密封主体朝向内侧延伸的突出部的基板密封件的剖视图。附图标记说明：100…镀敷装置；110…装载端口；120…基板输送机器人；130…干燥器；140…基板装卸装置；150…镀敷处理部；151…前水洗槽；152…前处理槽；153…第1清洗槽；154…第1镀敷槽；155…第2清洗槽；156…第2镀敷槽；157…第3清洗槽；158…排水槽；160…输送机；161…输送机臂；162…臂上下移动机构；163…水平移动机构；170…储料器；180…控制部；200…基板保持件；210…第1保持部件；210OP…开口；211…铰链；212…基板搭载部；213…夹持器；214…手部；220…第2保持部件；220OP…开口；221…基部；222…主体；223…按压环；223a…突条部；250…钩部；251…钩基座；252…钩主体；253…轴；254…杆；270…板；271…卡爪；400…基板密封件；401…密封主体；402…密封唇；410…安装部；420…密封件保持件；430…密封件支承部；431…密封件支承面；800…突出部；900C…第1部分；900S…第2部分；900T…过渡部(第3部分)；1400…延伸部；WF…基板。具体实施方式＜关于镀敷装置＞图1是一个实施方式所涉及的镀敷装置100的示意图。图1A是镀敷装置100的俯视图。图1B是镀敷装置100的侧视图。一个实施方式所涉及的镀敷装置100具备装载端口110、基板输送机器人120、干燥器130、基板装卸装置140、镀敷处理部150、输送机160、以及储料器170。镀敷装置100可以还具备用于对镀敷装置100的各部进行控制的控制部180。装载端口110设置为用于将基板装载至镀敷装置100、以及用于将基板从镀敷装置100卸载。装载端口110可以构成为能够放置FOUP等机构，或者能在与FOUP等机构之间输送基板。被装载端口110装载的基板由基板输送机器人120进行输送。基板输送机器人120构成为能够在装载端口110、干燥器130以及基板装卸装置140之间对基板进行输送。但是，也可以使用基板输送机器人120以外的输送机构。本说明书中的“将基板输送至装载端口110”包括“将基板输送至放置于装载端口110的FOUP等机构”。干燥器130是用于使基板干燥的部件。基板装卸装置140是用于将基板安装至基板保持件、和/或用于将基板从基板保持件卸下的装置。需要将基板和基板保持件两者搬入至基板装卸装置140。因此，基板装卸装置140定位于能够与基板输送机器人120和输送机160双方接近的位置。镀敷处理部150设置为用于对基板进行镀敷处理(镀敷加工)。镀敷处理部150具备1个或多个处理槽。1个或多个处理槽中的至少1个为镀敷槽。作为一个例子，图1的镀敷处理部150具备8个处理槽，即前水洗槽151、前处理槽152、第1清洗槽153、第1镀敷槽154、第2清洗槽155、第2镀敷槽156、第3清洗槽157以及排水槽158。镀敷装置100能够在各处理槽依次进行规定的处理。输送机160构成为在与基板装卸装置140、镀敷处理部150以及储料器170之间对基板保持件进行输送。并且，输送机160构成为在各处理槽(前水洗槽151～排水槽158)之间对基板保持件进行输送。输送机160具备：输送机臂161，其用于对基板保持件进行悬挂；臂上下移动机构162，其用于使输送机臂161上下移动；以及水平移动机构163，其用于使臂上下移动机构162沿着处理槽的排列水平移动。水平移动机构163也可以表现为用于使输送机臂161本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板保持件，该基板保持件具有用于使基板的至少一个面的至少一部分露出的开口，其特征在于，/n所述基板保持件具备：/n密封件，该密封件与所述基板的包含被露出部分的面接触，并被沿与所述基板应处的平面垂直的方向按压；以及/n密封件支承部，该密封件支承部具有用于对所述密封件进行支承的密封件支承面，并设置于所述开口的外侧周围，/n所述密封件具备：/n密封主体，该密封主体与所述密封件支承面接触；以及/n密封唇，该密封唇从所述密封主体延伸并与所述基板的被露出面接触，/n所述密封件支承面的至少一部分具有使所述密封件支承面的内侧端部接近所述基板应处的所述平面那样的倾斜角，/n所述密封件支承面的内侧端部位于比所述密封唇靠内侧。/n

【技术特征摘要】
20190220 JP 2019-0281261.一种基板保持件，该基板保持件具有用于使基板的至少一个面的至少一部分露出的开口，其特征在于，
所述基板保持件具备：
密封件，该密封件与所述基板的包含被露出部分的面接触，并被沿与所述基板应处的平面垂直的方向按压；以及
密封件支承部，该密封件支承部具有用于对所述密封件进行支承的密封件支承面，并设置于所述开口的外侧周围，
所述密封件具备：
密封主体，该密封主体与所述密封件支承面接触；以及
密封唇，该密封唇从所述密封主体延伸并与所述基板的被露出面接触，
所述密封件支承面的至少一部分具有使所述密封件支承面的内侧端部接近所述基板应处的所述平面那样的倾斜角，
所述密封件支承面的内侧端部位于比所述密封唇靠内侧。


2.根据权利要求1所述的基板保持件，其特征在于，
所述密封唇从所述密封主体的内侧端部延伸。


3.根据权利要求1或2所述的基板保持件，其特征在于，
所述密封件支承面的倾斜角为，在所述密封件被沿与所述基板应处的所述平面垂直的方向按压的情况下，使所述密封唇部朝向外侧挠曲的角度。


4.根据权利要求1或2所述的基板保持件，其特征在于，
所述密封件支承面的至少一部分的倾斜角为5度以上20度以下。


5.根据权利要求1或2所述的基板保持件，其特征在于，
所述开口为多边形，
所述密封件支承面包含：
第1部分，该第1部分与所述开口的角部对应；以及
第2部分，该第2部分与所述开口的边部对应，
以使所述第1部分的倾斜角小于所述第2部分的倾斜角的方式构成所述密封件支承面。


6.根据权利要求5所述的基板保持件，其特征在于，
所述第1部分的倾斜角为0度。


7.根据权利要求5所述的基板保持件，其特征在于，
所述密封件支承面具备过渡部，所述过渡部的倾斜角逐渐变化并将所述第1部分与所述第2部分连接。


8.根据权利要求5所述的基板保持件，其特征在于，
所述边部具有应被保持基板的边的长度的80％以上且95％以下的长度。


9.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：尾形奨一郎，宫本松太郎，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP