玻璃晶圆的吸附装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种玻璃晶圆的吸附装置，包括吸附头，所述吸附头具有吸附腔和与玻璃晶圆直接接触的吸附口，所述吸附头上还设置有一块状结构，所述块状结构内形成有与所述吸附腔连通的气道，所述吸附腔内密布有若干用于支撑晶圆片的支柱，本实用新型专利技术的吸附装置能够在玻璃晶圆还未完全冷却的情况下，从模具上将其吸取出来,从而避免玻璃晶圆成型过程中的诸多不利影响并缩短生产时间提高生产效率，另外,还能够作为晶圆片的转运工具,将未模制的晶片运送到模具上进行模制。

【技术实现步骤摘要】
玻璃晶圆的吸附装置
本技术属于玻璃晶圆制造领域，具有涉及一种玻璃晶圆的吸附装置。
技术介绍
在晶圆级的模制过程中，玻璃晶圆于高温中成型，其成型温度高于玻璃晶圆材料的玻化温度，模压后，晶圆产品将在模具上逐渐冷却直至最后成型，其成型过程仅受重力影响。由于整个成型过程要经历较宽的温度范围、模具的高压以及材料的膨胀系数不同，均有可能发生不利影响，从而最终导致产品质量不合格。具体来讲的存在以下不利影响：1、受热不均匀的影响：在模制成型过程中的最后阶段，晶圆片与模具的表面可能会存在点接触或者单面接触的情况，这将导致受热不均匀以及玻璃的不对称收缩，在这种不受控的情况下，将很有可能导致产品的成型失败，比如变形或者出现裂纹。2、表面附着力的影响：在成型过程中，产品对模具表面有很强的附着力，在冷却过程中，这种附着力会逐渐降低，如果让产品在模具上充分冷却，并完全释放将耗费大量的时间，有时，由于附着力太强，产品极有可能破裂。3、热膨胀的影响：某些具有高大角度特征的镜片，在晶圆收缩的过程中，随着温度的降低，由于玻璃比模具收缩的更多，因此，模具上的镜片特征将会在水平方向上阻止玻璃自由收缩，从而导致玻璃晶圆破裂，尤其是对于大直径晶圆，膨胀系数差异更大。4、生产时间的影响：由于冷却所需要的时间在整个成型过程中相对较长，因此，如果能减少在模具上冷却的时间将能够减少整个生产时间。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种玻璃晶圆的吸附装置，其能够作为转运工具将未模制的晶片运送到模具上,并且能够在玻璃晶圆还未完全冷却的情况下，从模具上将其吸取出来从而脱离模具。本技术的玻璃晶圆的吸附装置，包括吸附头，所述吸附头具有吸附腔和与玻璃晶圆直接接触的吸附口，所述吸附头上还设置有一块状结构，所述块状结构内形成有与所述吸附腔连通的气道，所述吸附腔内密布有若干用于支撑所述玻璃晶圆的支柱。进一步，本技术的吸附装置，其吸附头为圆形吸附头，所述吸附口为圆形吸附口。进一步，本技术的吸附装置，其吸附头的直径略大于所述玻璃晶圆的直径，所述吸附口的直径略小于所述玻璃晶圆的直径，以使所述吸附头能够完全覆盖住所述玻璃晶圆，同时所述玻璃晶圆也能够完全覆盖住所述吸附口。进一步，本技术的吸附装置，其支柱为方柱并均匀分布在所述吸附腔内。进一步，本技术的吸附装置，其支柱从所述吸附腔的底部延伸至所述吸附口，并与所述吸附口平齐。进一步，本技术的吸附装置，其采用低导热与低膨胀系数材料制成，以避免对所述玻璃晶圆冷却的影响。本技术的有益效果是：本技术的吸附装置作为玻璃晶圆的转运工具能够将未模制的晶片运送到模具上进行模压成型,并且在玻璃晶圆还未完全冷却成型的情况下，能够将晶圆片从模具上吸走，这样就大大减少了冷却过程中玻璃晶圆与模具表面的接触，玻璃晶圆的冷却基本上是通过自然的热辐射实现的，这样，玻璃晶圆以均匀、受控的方式冷却。另外，由于玻璃晶圆与模具是分离开的，因此，模具上的任何结构特征将不会阻止玻璃晶圆的自然收缩，从而避免了晶圆的破裂。其次，在晶圆充分冷却之前将其与模具分离能够大幅缩短生产时间。本技术的吸附装置通过控制低压室的真空泵形成的气压p1与额外的气压泵在吸附装置内形成的气压p2的差值来实现玻璃晶圆的吸取。来自下部的物理支撑单元能够有效避免玻璃晶圆的破裂，同时允许气压p1与气压p2之间更高的压差，从而形成更大的吸附力。低导热材料与低膨胀系数材料的应用能够避免整个结构对玻璃晶圆冷却的影响。最后，本技术的吸附装置具有水平移动的能力，其能够作为玻璃晶圆的转运工具使用。【附图说明】图1是本技术吸附装置的立体示意图。图2是本技术的俯视示意图。图3是图2的N-N剖视示意图。图4是本技术吸附装置将玻璃晶圆在某一位置A水平移动另一位置B的示意图。其中，1、吸附头，2、块状结构，3、气道，4、支柱，5、玻璃晶圆。【具体实施方式】下面结合图1到图4对本技术作详细描述。本技术的吸附装置如图1所示，其由一个吸附头1和与吸附头一体的块状结构2组成，其中，吸附头1为一柱状的圆头，该柱状圆头内开设有吸附腔。如图2所示，吸附腔内均匀密布有若干方形的支柱4，当然，支柱也可以为其他形状例如圆形或者三角形等，支柱与支柱之间为间隙，支柱对晶圆的支撑能够有效避免玻璃晶圆在被吸附时发生破裂，同时允许更高的吸附力。如图3所示，支柱4从吸附腔的底部延伸至吸附口，并与所述吸附口平齐，块状结构2内开设有一条气道3，该气道3与吸附腔的底部连通，吸附腔的上端为圆形的吸附口。在其他实施方式中，也可以是其他形状的吸附头，对应其他形状的吸附口，例如，方形等。如图4所述，吸附头1的直径略大于玻璃晶圆5的直径，吸附口的直径略小于玻璃晶圆5的直径，这样吸附头1能够完全覆盖住玻璃晶圆5，同时玻璃晶圆5也能够完全覆盖住吸附口。使用时，吸附装置与模具均被配置在一气压低于标准大气压的低压室内,如图4所示，低压室通过一套主泵进行抽气使低压室内的气压为小于标准大气压的p1，吸附装置被安装一伺服驱动臂上，并位于一轨道系统中，图4中未示出伺服驱动臂和轨道系统。吸附装置的吸附腔与一附加的真空泵联通，需要吸附时启动该附加的真空泵，使吸附腔内的气压p2小于低压室内的气压p1,从而使吸附装置能够将玻璃晶圆从模具上吸走。并且，在保持p2与p1压差的情况下,吸附装置能够将玻璃晶圆从位置A移动到另一位置B，移动到位置B后，通过改变p2与p1压差能够将所述玻璃晶圆放下。位置A或者位置B都可以作为模具位置的示意，当位置A作为模具位置示意时，图4反应的是吸附装置将未完全冷却成型的晶圆片从模具上吸走的示意。当位置B作为模具位置示意时，图4反应的是在未模制之前，吸附装置将玻璃晶圆转运到模具上的示意。本实施例的玻璃晶圆成型时需要在玻璃晶圆充分冷却至室温之前或者充分冷却成型之前,将正在模具上冷却的玻璃晶圆从模具上脱离,然后再冷却至室温并最终成型。这样大大减少了冷却过程中玻璃晶圆与模具表面的接触，吸附装置采用低导热与低膨胀系数材料制成，例如，可加工玻璃陶瓷(MachinableGlassCeramic)、高级工程陶瓷(advancedengineeringceramic)和高性能合金等。也可以将加热元件添加到低导热率吸收装置中以进一步改善性能,当玻璃晶圆仍在模具上时，加热元件将主动加热吸附头，以使从晶片到吸附头的导热率达到零，加热元件可以是传统的加热线圈，红外加热元件，感应加热元件等。因此玻璃晶圆被吸附装置从模具上吸取之后，其冷却基本上是通过自然的热辐射实现的，这样，玻璃晶圆得以均匀、受控的方式进行冷却，并且玻璃晶圆的收缩不会受到来自模具的影响，从而降低了玻璃晶圆破裂的风险，同时将玻璃晶圆与模具在一个较高的温度下分离，该模具可以对下一个空白的玻璃晶圆进行模压，从而能够大幅提高生产效率，缩本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.玻璃晶圆的吸附装置，其特征在于：包括吸附头，所述吸附头具有吸附腔和与玻璃晶圆直接接触的吸附口，所述吸附头上还设置有一块状结构，所述块状结构内形成有与所述吸附腔连通的气道，所述吸附腔内密布有若干用于支撑所述玻璃晶圆的支柱。/n

【技术特征摘要】
1.玻璃晶圆的吸附装置，其特征在于：包括吸附头，所述吸附头具有吸附腔和与玻璃晶圆直接接触的吸附口，所述吸附头上还设置有一块状结构，所述块状结构内形成有与所述吸附腔连通的气道，所述吸附腔内密布有若干用于支撑所述玻璃晶圆的支柱。


2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于：所述吸附头为圆形吸附头，所述吸附口为圆形吸附口。


3.根据权利要求2所述的吸附装置，其特征在于：所述吸附头的直径略大于所述玻璃晶圆的直径，所述吸附口的直径略小于所述玻璃晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：雅各布·基布斯加德，彼得·克罗内·尼尔森，西蒙·博·延森，米加·索博尔，唐嘉乐，托马斯·艾博，
申请(专利权)人：瑞声通讯科技常州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32