【技术实现步骤摘要】
本技术属于容积、流量、质量流量或液位的测量
，具体涉及到依靠光、电或流体方法而运转指示的通过测量压力的液面指示仪。目前在生活和生产中使用的液位传感器多数是按照电学原理设计的，其种类有压阻型液位传感器和电容型液位传感器。压阻型液位传感器因封装不严造成的附加应力，影响到该传感器的传感精度，在其结构中选用的力敏电阻随温度变化呈指数关系变化，大大地降低了这种液位传感器的精度。电容型液位传感器受杂散电容影响大，使仪器的测量精度受到了很大的影响。上述两种类型的液位传感器的主要缺点是精度不高，动态范围小，而且不能用作易燃易爆液体的液位传感器，也不能用作强腐蚀液体的液位传感器。本技术的目的在于克服上述液位传感器的缺点，提供一种测量精度高、动态范围大、线性关系好、可靠性好、抗电磁干扰强、不受溶液透射率影响、可用作易燃易爆液体以及强腐蚀液体的法布里-珀罗腔液位传感器。为达到上述目的，本技术采用的解决方案是它包括在其中心位置加工或制作有相互联通的三个腔室的壳体。设置在壳体内上端加工或制作有通孔的保护盖。设置在壳体内中间一个腔室上端面上的外应力片、下端面上将中间腔室与下腔室分...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高应俊，阮驰，崔崧，刘志麟，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，陕西敏通科贸有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：
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