基板处理系统技术方案

本发明专利技术涉及一种基板处理系统。根据本发明专利技术的一实施例的基板处理系统可以包括：第一腔室，同时搬入或搬出至少两个基板；基板对齐单元，布置于所述第一腔室内，使所述至少两个基板以预定的间隔隔开的方式对齐；多个第二腔室，处理在所述第一腔室得到对齐的所述至少两个基板；以及基板搬送单元，将对齐的所述至少两个基板从所述第一腔室搬送至所述第二腔室，或从所述第二腔室搬送至所述第一腔室。

【技术实现步骤摘要】
基板处理系统本申请是申请日为2018年4月13日、申请号为201810328229.6、题为“基板处理系统及基板搬送方法”的专利申请的分案申请。
本专利技术涉及一种基板处理系统。
技术介绍
显示装置的制造工艺包括彼此不同的多个单位工序，其中各个单位工序通常在彼此不同的空间内进行。因此，在利用基板制造显示装置的情况下，基板被移动至彼此隔离的各个空间而进行单位工序。在如上所述进行各个单位工序的各个工序腔室(ProcessingChamber)可以投入一个大型基板，并对大型基板执行沉积工序等。最近，随着制造的显示装置的尺寸的多样化，投入到沉积工序的基板的尺寸也变得多样化。例如，可以使用相当于大型基板一半尺寸的基板来替代以往的大型基板。然而，若将这种一半尺寸的基板投入到工序腔室，则会不必要地剩下工序腔室的空间，或者需要进行如制造针对一半尺寸的基板的新的工序腔室等的设计变更。
技术实现思路
本专利技术提供一种利用以往的用于大型基板的工序腔室而能够在一个工序腔室中处理多个基板的多个基板处理系统。并本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板处理系统，包括：/n第一腔室，同时搬入或搬出至少两个基板；/n基板对齐单元，布置于所述第一腔室内，使所述至少两个基板以预定的间隔隔开的方式对齐；/n多个第二腔室，处理在所述第一腔室得到对齐的所述至少两个基板；以及/n基板搬送单元，将对齐的所述至少两个基板从所述第一腔室搬送至所述第二腔室，/n其中，所述基板对齐单元包括：/n基板支撑台，支撑沿第一方向相互隔开布置的所述至少两个基板中的第一基板及第二基板；/n第一边角支撑部，支撑所述第一基板的边角；/n第二边角支撑部，支撑所述第二基板的边角；以及/n间隔扩张部，能够沿第二方向移动，且插入所述第一基板与所述第二基板之间的空间，通过旋转而能...

【技术特征摘要】
20170413 KR 10-2017-00479791.一种基板处理系统，包括：
第一腔室，同时搬入或搬出至少两个基板；
基板对齐单元，布置于所述第一腔室内，使所述至少两个基板以预定的间隔隔开的方式对齐；
多个第二腔室，处理在所述第一腔室得到对齐的所述至少两个基板；以及
基板搬送单元，将对齐的所述至少两个基板从所述第一腔室搬送至所述第二腔室，
其中，所述基板对齐单元包括：
基板支撑台，支撑沿第一方向相互隔开布置的所述至少两个基板中的第一基板及第二基板；
第一边角支撑部，支撑所述第一基板的边角；
第二边角支撑部，支撑所述第二基板的边角；以及
间隔扩张部，能够沿第二方向移动，且插入所述第一基板与所述第二基板之间的空间，通过旋转而能够将所述第一基板的一侧面和所述第二基板的一侧面全部推动，
所述第一方向是与所述第一基板或所述第二基板的多个侧面中的一个侧面平行的方向，
所述第二方向是在水平面上与所述第一方向交叉并与不平行于所述一个侧面的另一侧面平行的方向。


2.如权利要求1所述的基板处理系统，其中，
所述第一边角支撑部及所述第一边角支撑部具有与所述第一基板及所述第二基板的所述边角分别对应的形状。


3.如权利要求1所述的基板处理系统，其中，
所述基板搬送单元包括：
第一支撑杆，支撑所述至少两个基板；以及
第一驱动部，结合于所述第一支撑杆，且移动所述第一支撑杆。


4.如权利要求1所述的基板处理系统，其中，还包括：
盒子，保管搬送到所述第一腔室的所述至少两个基板；以及
搬送部，将所述至少两个基板从所述盒子搬送到所述第一腔室。


5.如权利要求4所述的基板处理系统，其中，
所述搬送部包括：
多个第二支撑杆，支撑相互平行布置的所述至少两个基板，且沿一方向延伸；以及
第二驱动部，结合于所述多个第二支撑杆，且移动所述第二支撑杆。


6.如权利要求5所述的基板处理系统，其中，
所述多个第二支撑杆为两个以上。


7.如权利要求5所述的基板处理系统，其中，
所述多个第二支撑杆的长度大于所述至少两个基板的总长度。


8.如权利要求1所述的基板处理系统，其中，
所述第一腔室与所述多个第二腔室沿环形状的虚拟线排列。


9.如权利要求1所述的基板处理系统，其中，所述基板对齐单元还包括：基板侧面支撑台，邻近于所述间隔扩张部，并且能够分别与所述第一基板的侧面或所述第二基板的侧面接触。


10.如权利要求9所述的基板处理系统，其中，
所述基板对齐单元还包括：主体，形成有所述间隔扩张部及所述基板侧面支撑台。


11.如权利要求10所述的基板处理系统，其中，
所述间隔扩张部从所述主体凸出，从而具有能够将所述第一基板的一侧面和所述第二基板的一侧面全部推动的结构。


12.如权利要求1所述的基板处理系统，其中，
所述第一边角支撑部或所述第二边角支撑部与连杆部件以及连接于所述连杆部件的驱动部连接而操作。


13.如权利要求1所述的基板处理系统，其中，还包括：
基板支撑台，放置所述第一基板及所述第二基板，
其中，所述基板支撑台包括：阻挡部，位于所述第一基板及所述第二基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志皇，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR