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本发明涉及一种基板处理系统。根据本发明的一实施例的基板处理系统可以包括：第一腔室，同时搬入或搬出至少两个基板；基板对齐单元，布置于所述第一腔室内，使所述至少两个基板以预定的间隔隔开的方式对齐；多个第二腔室，处理在所述第一腔室得到对齐的所述至...
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