流量测定装置制造方法及图纸

一种流量测定装置，在被测定流体流动的流路（４）的壁面设有流量传感器（２２），在流路传感器（２２）的下游侧设有具有极小剖面流路（１７）的部件，该部件与设有流量传感器（２２）的位置的流路（４）的剖面相比具有极小的剖面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及测定在流路内流过的流体的流量的流量测定装置。
技术介绍
现有的流量测定装置中，在形成于主体上的流路的壁面上部安装流量传感器，在该流量传感器的上游侧介由衬垫以一定间隔配置有整流用的多个网，同时，在流量传感器的下游侧也配置有网。流量传感器使其检测面面临流路配置，基于对应非测定流体的流速的电压计算流量并将其输出。在流量测定装置的流路中流过的流体理想的是，在流路剖面的任意位置流动的方向和大小相同的同样流动(稳定流)。但是，实际的流体未必是稳定流，在流路剖面的各位置，流动的方向和大小不同，产生偏差，或内有漩涡(非稳定流)。这是由于，连接于流量测定装置上游侧或下游侧的配管的弯曲，或泵的排出状态造成的波动及速度发布的偏差、流体的粘度、密度等各种原因。为减少这样的流体的紊流，在特公平6-43907号公报中提案有在整流用金属网的后方流路中设置节流部的流量测定装置。参照图22的概略图说明设有这样的节流部的流量测定装置，其在流路101的上游侧介由衬垫102设有多个整流用网103，在该网103的后方朝向设有流量传感器104的流路101形成节流部105，流量传感器104的下游侧形成扩大部106，在该扩大部106上设有网107。但是，如专利文献1的流量测定装置，即使在流量传感器104的上游侧设有多个整流用网103和节流部105，也不能充分发挥其功能，流动不能完全被整流化。例如，由于在连接于该流量测定装置上游侧的配管上有箭头107所示的弯曲等，故当流入速度分布紊乱的流体时，该紊乱不能被整流用金属网103和节流部104抑制，而继续流到下游侧，在流量传感器104的位置，在流路的上方流动变缓，在下方变快。其结果是，流量传感器104输出比平均流量小的流量。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这种问题点而构成的，其目的在于提供一种流量测定装置，其抑制流路剖面的流速的紊乱，高精度地进行可靠性高的流量测定。本专利技术提供流量测定装置，包括被测定流体流过的流路；设于该流路壁面的流量传感器；配置于该流量传感器的下游侧，具有极小剖面流路的部件。在此，极小剖面流路是指与设有流量传感器的位置的流路的剖面相比，具有极小的剖面的流路。例如，具有极小剖面流路的部件可构成具有作为极小剖面流路而贯通的孔的有孔板。可在具有所述极小剖面流路的部件的上游侧设置网。根据本专利技术，在被测定流体流动的流路的壁面设有流量传感器，且在该流量传感器的下游侧设有具有极小剖面流路的部件，因此，具有抑制流路剖面的流速的紊乱，可高精度地进行可靠性高的流量测定的效果。附图说明图1是本专利技术的流量测定装置的立体图；图2是图1的流量测定装置的剖面图；图3是图2的流量测定装置的流路的概略图；图4a、图4b及图4c是表示用于确认本专利技术效果的第一试验结果的输出电压相对于流量的变化的图表；图5a、图5b及图5c是表示用于确认本专利技术效果的第二试验结果的输出电压相对于流量的图表；图6a、图6b及图6c是表示用于确认本专利技术效果的第三试验结果的输出电压相对于流量的图表；图7a、图7b、图7c、图7d及图7e是表示用于确认本专利技术效果的第四试验结果的输出电压相对于流量的图表；图8a、图8b及图8c是在用于确认本专利技术效果的第五试验中使用的有效板的正面图；图9是表示第五试验结果的输出电压相对于流量的图表；图10a、图10b及图10c是在用于确认本专利技术效果的第六试验中使用的有效板的正面图；图11是表示第六试验结果的输出电压相对于流量的图表；图12a及图12b是在用于确认本专利技术效果的第七试验中使用的有效板的正面图及侧面图；图13是表示第七试验结果的输出电压相对于流量的图表；图14a、图14b、图14c及图14d是表示有孔板的孔的配置的其它形态的立体图；图15a、图15b及图15c是表示有孔板的孔的形状的其它形态的立体图；图16a、图16b及图16c是表示有孔板的外形和孔的形状及配置的其它形态的立体图；图17a及图17b是表示使用了以两张为一组的有孔板的其它形态的剖面图；图18a、图18b、图18c及图18d是表示有孔板的孔的轴向剖面形状的其它形态的剖面图；图19a、图19b、及图19c是表示有孔板的面形状的其它形态的剖面图；图20是表示具有极小剖面流路的部件的其它形态的侧面图；图21是表示具有极小剖面流路的部件的其它形态的立体图；图22是现有的流量测定装置的流路的概略图。具体实施例方式下面，参照附图说明本专利技术的实施例。图1是本专利技术的流量测定装置的分解立体图，图2是其剖面图。基座1是由树脂或金属等构成的长方体，在两端面一体突设有六边螺母状的连接部2、3。在基座1的内部形成有贯通纵向的流路4。流路4的剖面在本实施例中为圆形，但不限于此，可采用矩形等任意形状。上述基座1的流路4形成有位于中央的主流路部5、在该主流路5的上游侧比主流路5的直径大的整流部6、比该整流部6的直径更大的铆接部7、比该铆接部7的直径更大的入口开口部8，在所述主流路5的下游侧还形成有比主流路部5的直径大的整流部9、比该整流部9的直径更大的铆接部10、比该铆接部10的直径更大的出口开口部11。在上游侧的整流部6上顺序收纳有四组网状的整流器12和环状的衬垫13。位于最上游侧的衬垫13的端部与整流部6和铆接部7的分界的端面14共面，通过按压该端面14，使该端面14的局部变形，将衬垫13固定。在下游侧的整流部9上收纳网形状的整流器12和环状的衬垫13，同时，在该衬垫13的下游侧收纳有具有比主流路部5的剖面小的极小剖面流路的部件15和环状的衬垫13。位于最下游侧的衬垫13的端面与上游侧相同，与整流部9和铆接部10的分界的端面共面，通过按压该端面16，使该端面16的局部变形，将衬垫13固定。具有上述极小剖面流路的部件15由在中心形成有比主流路部5的直径极小的圆形孔17的板构成(下面将具有该极小剖面流路的部件称为有孔板15)。该有孔板15在本实施例中与基座1分体，但也可以与基座1构成一体。衬垫13的固定不限于铆接，可采用使用粘接剂的固定、使用其它部件的螺丝固定、及其它任意的固定结构。各衬垫13的内径与主流路部5同径。因此，基座1的流路4从上游侧的铆接部7到下游侧的铆接部10，除有孔板15之外，为相同直径。在基座1的外面形成有凹部18并且在该凹部18的底部形成窗口19，在该窗口19的周围形成有圆形的台阶部20。介由设于台阶部20上的O环21在凹部18上利用螺丝23安装有流量传感器22。O环21防止主流路部5中流动的流体泄漏到流量传感器22的外侧。流量传感器22是将具有引线24的传感器芯片25固定于支承板26上的传感器，该传感器芯片25的检测面介由窗口19面临主流路部5。在流量传感器22的上方利用螺丝28安装有基板27。上述流量传感器22的引线24贯通基板27，通过焊接等与基板27上的电路电连接。在基板27上安装连接器29，可介由该连接器29向外部输出信号。在基板27的上方，将盖30安装在基座1上。在盖30上形成有上述连接器29露出的孔31。下面，说明上述结构构成的流量测定装置的动作。流入图2的基座1的入口开口部8的气体通过上游侧网状的四个整流器12被整流，然后，流动向主流路部5，通过下游侧网状的整流器12和有孔板15，从基座1的出口开口部11流出。在主流路部5中流动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流量测定装置，其特征在于，包括：被测定流体流动的流路；设于该流路壁面的流量传感器；配置于该流量传感器的下游侧，具有极小剖面流路的部件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤原敏光，野添悟史，栗林秀成，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]