气体质量流量上下游温度分布二次差动测量方法、传感器、及流量计技术

本发明专利技术涉及一种气体质量流量上下游温度分布二次差动测量方法、传感器、及流量计。包括加温元件，对称设置在加温元件两侧的温度检测元件，即上游温度检测元件和下游温度检测元件，其特征在于所述的加温元件与恒功率源激励相连，上游温度检测元件和下游温度检测元件分别与差动运算电路的两个信号输入端相连，所述的差动运算电路的输出端连接有中央处理单元。具有如下优点：通过对上下游温度变化差值进行二次差动运算，保证对低速段线性度影响较小；气体质量流量的流速和输出电压的关系曲线的饱和点往后推，量程扩大，提高了量程范围和线性度；测量精度高，灵敏度高；采用ＭＥＭＳ技术实现了低功耗、高频响，大幅降低芯片的热惯性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及质量流量检测领域，尤其是涉及一种气体质量流量上下游温度分布二次差动测量方法、传感器、及流量计。
技术介绍
热式气体质量流量测量是利用传热原理，即流动中的流体与热源流体中加热的物体或测量管外加热体之间热量交换关系来测量流量的技术。它主要分为风速计式anemometer和测热型calorimetric两种方式。风速计工作原理是建立在1914年提出的King’s Law理论基础上的，这种测量方式是以流体流动下加热丝的热耗散程度作为测量依据。测热型的测量原理则以探测流体流动过程中加热元件热源两侧的温度分布来探测流速大小。传统测热式原理中，通常采用热流体传感器包括加热器和温度传感器两部分，在加热丝上下游对称分布一对或数对铂质温度敏感丝，且为了提高单元器件之间的隔热性，加热丝与温度敏感丝之间采用微桥式悬空结构。从结构而言，这种传感器的抗冲击强度很弱，被测介质要求纯净、无颗粒杂质，而且不能承受较大的瞬时流动冲击。传统测热式原理是通过测量上下游一对温度传感器的温度差值，从而确定流体流速。但是该温度差值随着流速的增大会出现饱和点，并继而下跌，如图1所示，曲线由一个上升阶段，一个饱和点本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体质量流量上下游温度分布二次差动测量方法，其特征在于：　　　　ａ．在传感器的加温元件上施加恒功率源激励，通过对称设置在加温元件两侧的温度检测元件分别测量无气流状态下加温元件上、下游的温度分布；　　　　ｂ．当气体流过传感器时，上游温度检测元件测定所在区域温度分布变化并且输出产生上游温度差值信号，下游温度检测元件测定所在区域温度分布变化并且输出产生下游温度差值信号；　　　　ｃ．用上游温度差值信号减去下游温度差值信号，从而得出上、下游温度分布二次差动信号，通过二次差动信号和流动气流质量流量的对应关系测量出流经传感器的气流质量流量。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毛巨林，赵文宏，金耀青，
申请(专利权)人：浙江麦姆龙仪表有限公司，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]