【技术实现步骤摘要】
真空离子镀膜设备的组合式转架屏蔽罩
本技术属于真空离子镀膜设备部件,特别涉及一种真空离子镀膜设备的组合式转架屏蔽罩。
技术介绍
屏蔽罩是真空离子镀膜设备部件,其作用是防止转架转动系统被镀上膜层,现有的转架屏蔽罩均为整体式的,其存在的问题是当要把屏蔽罩拆下来时需要连同转架支撑杆和顶盘一起拆掉,费时费力,维护不方便。
技术实现思路
本技术在于克服上述技术不足,提供一种真空离子镀膜设备的组合式转架屏蔽罩。本技术解决技术问题所采用的技术方案是:采用组合式屏蔽罩,将屏蔽罩平均分割成与支撑杆数量相等的份数,并在支撑杆的位置留出比支撑杆直径略大的避让孔,这样在不拆支撑杆和顶盘的情况下就可完成转架屏蔽罩的拆装,维护方便,省时省力。附图说明以下结合附图,以实施例具体说明。图1为本技术实施例的主体图。图2为罩体的主体图。图中:1-罩体;1-1螺纹孔;1-2支撑杆避让孔;2-连接片;3-连接螺钉;4-支撑杆;5-转架;6-顶盘;7-螺母。具体实施方式实施例,参照附图,一种真空离子镀膜设备的组合式转架屏蔽罩,包括罩体1,其特征是罩体1平均分割成与支撑杆4数量相等的份数,在支撑杆4的位置留有比支撑杆4直径略大的支撑杆避让孔1-2,罩体1可用连接片2和连接螺钉3连接固定成为一个整体。该技术的使用方法是:将罩体1上的支撑杆避让孔1-2套在支撑杆4上,操作时将罩体1倾斜放入,对正后在摆正,将连接螺钉3穿过连接片2上的孔并拧入螺纹孔1- ...
【技术保护点】
1.一种真空离子镀膜设备的组合式转架屏蔽罩,包括罩体(1),其特征是罩体(1)平均分割成与支撑杆(4)数量相等的份数,在支撑杆(4)的位置留有比支撑杆(4)直径略大的支撑杆避让孔(1-2),罩体(1)可用连接片(2)和连接螺钉(3)连接固定成为一个整体。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空离子镀膜设备的组合式转架屏蔽罩,包括罩体(1),其特征是罩体(1)平均分割成与支撑杆(4)数量相等的份数,在支撑杆...
【专利技术属性】
技术研发人员:高琳,孙英斌,白春阳,
申请(专利权)人:大连金泰正新科技有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁;21
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